探针(20)利用由具有导电性的第一金属构成的低电阻构件(L)和由电阻率比低电阻构件(L)高的、具有导电性的第二金属构成的高电阻构件(H)构成，在接触部(20c)和端子部(20t)之间，在与对检查对象(W)进行检查时的探针(20)的压曲方...

本发明的目的在于，通过抑制来自在层间布线上形成光透射性的绝缘膜的布线基板的反射光，能够容易地识别形成于探针上的对准标志。具备：布线基板(103)，形成有绝缘膜(304)以及电极焊盘(3)；和探针(5)，安装于电极焊盘(3)上，探针(5)...

本发明的目的在于提供一种探针卡修补方法，使用对准用的高反射贴片，来修补在对准记号或者其周边区域产生缺陷的探针卡。具备：探针(16)，与检查对象物接触；布线基板(14)，安装探针(16)；以及对准用的高反射贴片(4)，设置于布线基板(14...

目的在于，廉价地提供高温检查用的探针卡。具备：支承大量探针(15)的布线基板(130)；形成于布线基板(130)的发热覆膜(3)；和对发热覆膜(3)供给电流的一对电极端子(4)，发热覆膜(3)通过涂布在粘合剂中分散了微细碳粒子的发热涂层...

本发明的目的在于提供一种用于在探针卡的布线基板上形成对准符号的对准芯片。具备：基板(51)，具有粘贴面，该粘贴面经由粘接剂(54)粘贴于构成探针卡(10)的布线基板(14)的探针设置面(17)；以及对准符号(501)，包含在基板(51)...

本发明的目的在于，提供一种探针卡，将在引导板的引导孔插通的探针卡止在引导板以使得不会脱落，并且能以更窄间距配置。探针卡具备：2个以上的探针(200)；和具有分别插通探针(200)的2个以上的第1引导孔(14h)的第1引导板(14)，探针...

目的在于提供一种能够防止薄膜电阻体(30)的劣化的探针卡用多层布线基板。探针卡用多层布线基板(ST基板)(15)设置在探针卡(100)的外部端子(120)与探针(17)间的布线路径上，且在上表面形成有基底绝缘膜(41)，具备：薄膜电阻体...

提供一种抑制接触探针与引导板干涉所引起的削屑的产生的电接触构件。其具备接触部(2)、弹性变形部(4)及前端部(3)，接触部(2)具有由外侧的金属层(11、13)夹着中间的金属层(12)的层叠构造，且抵接于检查对象物，弹性变形部(4)在长...

本发明涉及用于探针卡的导板和制造用于探针卡的导板的方法。所述导板设置有以紧密节距间隔布置的微细通孔并能够获得改进的强度。用于探针防护件的导板(100)设置有：金属基底(110)；第一绝缘层(120)；以及金属层(130)。金属基底(11...

本发明提供一种探针卡盒，其能够容易地进行探针卡的操作处理且还能够应对小径化(小型化)了的探针卡。一种用于收纳探针卡的探针卡盒，其特征在于，包括：第1盒部件，其能够将上述探针卡载置在规定位置；第2盒部件，其能够与上述第1盒部件的上侧嵌合，...

提供一种抑制接触探针与引导板干涉所引起的削屑的产生的电接触构件。其具备接触部(2)、弹性变形部(4)及前端部(3)，接触部(2)具有由外侧的金属层(11、13)夹着中间的金属层(12)的层叠构造，且抵接于检查对象物，弹性变形部(4)在长...

【目的】本发明的目的是提供一种用于探针防护件的导板，其设置有以紧密节距间隔布置的微细通孔并能够获得改进的强度。【构造】用于探针防护件的导板(100)设置有：金属基底(110)；第一绝缘层(120)；以及金属层(130)。金属基底(110...

本发明涉及探针卡用导板。提供了一种通过增大贯通孔的缘部处的机械强度，能够应对贯通孔的微型化和节距减小的探针卡用导板。探针卡用导板（100）包括具有表面（110a、110b）和贯通孔（111）的硅基板（110）、贯通孔的缘部（113a、1...

解决了更换及安装探针时因发热产生的问题，提供一种容易操作、可在更狭窄间距配置的探针和探针卡、以及已安装探针的移除方法。本发明的探针（１）采用了在中间层的两侧配置有外层的３层结构，所述中间层包括：一安装部（３），其用于安装在探针卡电极上；...

对于安装在探针卡上的多个继电器，无须接触探针尖端便可自动地且连续地进行检查。探针卡包括：电路板、探针、连接到所述探针的继电器、继电器控制器、将所述继电器和所述探针连接到检查机的测量通道。所述检查机包括：ＤＣ电源、控制所述继电器控制器的控...

本发明旨在提供比以往装置更可自由设定多个采集、且对光学传感器相对微透镜发生偏移的光学设备，仍可正确进行检查的光学设备检查用装置。本发明配备有探卡单元和透镜单元的光学设备检查装置，所述探卡单元配备有主基板、导向板和探头，所述主基板和所述导...

一种用于在诸基片之间进行连接的装置，它设置有一连接件和一支承板，该连接件用于电气连接安装在一上方基片的后表面处的一上方电极和安装在一下方基片的前表面处的一下方电极，该支承板安置在上方基片和下方基片之间、用于可拆卸地支承连接件，其中，连接...

除去外界物质，不使探头端部变形，防止在探头端部粘结新的外界物质。一种对探头端部进行表面处理的片材，用其除去粘结在探头２１１的端部的外界物质，其包括具有附着在表面的细磨料砂的进行表面处理的薄薄膜１１０。在此薄薄膜１１０的下层设有弹性片材１...

一种用于对是一半导体装置等的一被测物体进行电测试的探针卡；它包括一基体，设置在基体的一侧、用于建立与被测物体的电接触以及用于通过一插入件建立与基体的电接触的一接触件单元，用弹力支承接触件单元的一侧的支承结构，以及以垂直方向与接触件单元的...

本发明涉及测量ＬＳＩ芯片等半导体器件的各种电气特性的测试插件，提供与半导体器件接触的测头的安装结构。具有如下特征的测试插件：它是备有安装着多个测头的测头安装衬底的测试插件，该测头由为安装到该测头安装衬底的插入部、支撑插入部并与该测头安装...