探针卡制造技术

一种用于对是一半导体装置等的一被测物体进行电测试的探针卡；它包括一基体，设置在基体的一侧、用于建立与被测物体的电接触以及用于通过一插入件建立与基体的电接触的一接触件单元，用弹力支承接触件单元的一侧的支承结构，以及以垂直方向与接触件单元的另一侧接触、用于调节接触件单元的平行度的一平行度调节结构；其中，支承结构被构造成包括设置在基体一侧的一支承件，和以垂直方向插置在支承件的内侧部分形成的一凸缘部分和接触件单元的外侧部分形成的一凸缘部分之间的一螺旋弹簧。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及评价半导体装置等的电气特性的一探针卡。
技术介绍
近年来，用一探针卡在一晶片测试中同时测试多块芯片。图4所示的传统已知的一探针卡具有包括一接触件的一接触件单元300，该接触件建立了接受测试的一半导体装置和一基体的电接触，它是分开制造的。在这类探针卡中，通过一插入件200将基体100和接触件单元300进行电连接。一片簧450固定在基体100之下，使它的自由端向内突出。由片簧450从下方支承接触件单元300，该单元具有平行度调节结构500，用于调节所设置的接触件单元300的一平行度，以便与其上表面接触。平行度调节结构500包括用螺纹固定于一加固板650的一平行度调节螺钉520，该加固板固定在基体100之上，螺钉的前端通过形成在基体100上的一钻孔向下突出，以及一球530设置在平行度调节螺钉520的前端(向下)处，并与接触件单元300接触，其中通过改变平行度调节螺钉520的突出量调节接触件单元300的平行度。但是，在调节平行度时、在平行度调节螺钉520上过大地实施一调节行程的情况下，在传统探针卡中涉及接触件单元300的变形和断裂。尤其是，考虑到它的特性，支承接触件单元300的片簧450具有大的压力变化，从而在接触件单元300上施加了过大的力，因此由这力产生接触件单元300的变形或损坏。接触件单元300的变形或损坏引起接触件的不均匀高度的问题，从而造成对被测试物体的不良连续性。类似地，上述变形或损坏还造成对插入件200的不良连续性的问题。并且，在传统探针卡中，片簧450的一端固定于一片簧保持件460，该片簧保持件固定在基体100之下，片簧的向内突出的自由端支承接触件单元300。此外，加固板640和650分别固定在基体100之上的内侧和外侧处，外加固板640设置在片簧保持件460之上的位置处，内加固板650设置在离开外加固板640的向内的和簧片的自由端之上的位置处。上述平行度调节螺钉500用螺纹固定于这内加固板650。因此，片簧450施加的力向下作用在片簧保持件460上，同时向上作用在内加固板650上。由于如上所述将外加固板640设置在片簧保持件460之上的位置和将内加固板650设置在片簧的自由端之上的位置，所以由片簧450产生的力以不同的方法施加在基体100上，例如取决于位置的向上方向和向下方向，从而在基体100上发生由于片簧450的作用力所产生的变形。这变形可能引起电的不良连续性。并且，在高温测试中产生每个零件的温差，因此基于这温差所造成的各零件的变形量之中的差异产生整个基体的翘曲，由于这翘曲造成电的不良连续性的问题。利用具有对应于各零件的温差而被调节的热膨胀系数的一材料，以便防止翘曲的产生来解决这问题，但是实际上不可能通过最终调节材料的热膨胀系数完全防止翘曲的发生。
技术实现思路
以上述技术背景设计本专利技术，目标是提供能防止一构件、例如接触件单元等的变形和能够在一满意的连续性状态下进行测试的一探针卡。本专利技术的一探针卡是用于对是一半导体装置等的被测物体进行一电测试的一探针卡；它包括一基体，设置在基体的一侧、用于与被测物体建立一电接触以及用于通过一插入件与基体建立电接触的一接触件单元，用弹性力支承接触件单元的一侧的支承结构，以及在垂直方向与接触件单元的另一侧接触、用于调节接触件单元的平行度的平行度调节结构；其中支承结构被构造成包括设置在基体的一侧的一支承件和夹在设置于支承件的内侧部分处的一凸缘部分和设置在接触件单元的外侧部分处的一凸缘部分之间的、垂直方向的一螺旋弹簧。并且，较佳地采用在基体的外侧设置与基体接触的一第加固板的结构。在这情况下，更较佳地采用通过插入形成在基体上的一钻孔中的一垫圈将支承件连接到第一加固板的结构。并且，一较佳结构是在基体和第一加固板之间设置一导热片。类似地，可以在垫圈和第一加固板之间和在垫圈和支承件之间分别提供一导热片。并且，对于平行度调节结构可以使用一螺钉。尤其是，可以采用一结构，使该螺钉用螺纹固定于第一加固板，从而使它的前端通过形成在基体上的一孔与接触件单元接触。在这情况下，较佳地采用一结构，使一第二加固板连接于第一加固板，用于复盖形成在第一加固板上的孔，并将一螺钉用螺纹固定到第二加固板，以便使它的前端通过上述孔接触对应于接触件单元之上一位置的基体的一部分。而且，可较佳地采用在第一加固板和第二加固板之间提供一导热片的结构。附图简述附图说明图1是用于示出按照本专利技术的第一实施例的一探针卡的局部横剖视图。图2是示意地示出按照本专利技术的第二实施例的一探针卡的局部横剖视图。图3是示意地示出按照本专利技术的第三实施例的一探针卡的局部横剖视图。图4是示意地示出一传统探针卡的横剖视图。具体实施例方式以下将参照图1至3说明按照本专利技术的一探针卡的一实施例。图1是示意地示出按照本专利技术的第一实施例的一探针卡的局部剖视图，图2是示意地示出按照本专利技术的第二实施例的一探针卡的局部剖视图，以及图3是示意地示出按照本专利技术的第三实施例的一探针卡的局部横剖视图。第一实施例按照第一实施例的一探针卡用来执行是一半导体装置等的一被测物体的一电测试；该探针卡包括一基体100，设置在基体100之下、用来建立与被测物体的电接触的以及用于通过一插入件200建立与基体100的电接触的一接触件单元300，用于从下方用弹性力支承接触件单元300的支承结构400，用作为平行度调节结构的和从上方、以垂直方向接触接触件单元300、用于调节接触件单元300的平行度的一平行度调节螺钉500和与基体100的上部固定接触的一加固板600(对应于一第一加固板)。基体100具有在其表面上形成的一布线图等并可电连接到一测试仪(未示出)。该测试仪执行对被测物体的电特性的评价。加固板600是具有形成在它的上表面的一中部上的一圆孔610的一基底，并通过一紧固螺钉601与基体100接触和固定。紧固螺钉601使用具有一水平螺钉头的一螺钉，例如一截锥螺钉。因此，易于调节在基体100和加固板600之间的水平移动。加固板600的孔610具有一台阶部分和三个平行度调节螺钉500，螺钉以120度的间距全部用螺纹固定到对应于它的内底面的一盘状突出部分603。用于调节转动的一锁紧螺帽510用螺纹固定到平行度调节螺钉500，以防止意外转动。平行度调节螺钉500的前端通过形成在基体100上的一孔102与接触件单元300接触。将平行度调节螺钉500的引导端形成一曲面，从而不需要传统上所采用的一球体。接触件单元300包括一针单元310和一针单元保持件320，针单元310具有连接于一圆形基底的、与被测物体接触的多个接触件，以建立它们之间的电连接，针单元保持件320为环形，用于从下方支承针单元310的外周边部分。针单元保持件320在横剖面内有颠倒的L形，它的外侧部分形成为一环状凸缘部分321。插入件200是一中转终端块，用于在形成于接触件单元300的针单元310的上表面上的一布线图等和形成于基体100的下表面上的一布线图等之间提供一电连接，它包括一下探针201和一上探针202以及一基底203，下探针201具有与针单元310的侧面处的布线图等接触的一前端，上探针202具有与基体101的侧面处的布线图等接触的前端，基底203使各个上探针202和下探针201的另一端固定在其上以及具有在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于对是一半导体装置等的一被测物体进行电测试的探针卡；它包括一基体，设置在基体的一侧、用于建立与被测物体的电接触以及用于通过一插入件建立与基体的电接触的一接触件单元，用弹力支承接触件单元的一侧的支承结构，以及以垂直方向与接触件单元的另一侧接触、用于调节接触件单元的平行度的一平行度调节结构；其中，支承结构被构造成包括设置在基体一侧的一支承件，和以垂直方向插置在支承件的内侧部分形成的一凸缘部分和接触件单元的外侧部分形成的一凸缘部分之间的一螺旋弹簧。2.如权利要求1所要求的探针卡，其特征在于，与基体接触的一第一加固板设置在基体的另一侧处。3.如权利要求2所要求的探针卡，其特征在于，支承件通过插入形成在基体上的一钻孔内的一垫...

【专利技术属性】
技术研发人员：森亲臣，
申请(专利权)人：日本电子材料株式会社，
类型：发明
国别省市：