日本超精石英株式会社专利技术

日本超精石英株式会社共有66项专利

  • 本发明为石英玻璃坩埚的制造方法,其是对充填在模具内表面的石英粉成形体抽真空的同时进行电弧熔融的坩埚的制造方法,其特征在于,从石英粉成形体的缘端开始石英粉的熔融,其后,降下电弧电极或提起模具,从缘端加热熔融下侧部分,优选在从电弧熔融开始到...
  • 本发明的检测装置1具备原料供给单元2,用于以恒定量为单位连续供给石英粉原料;传送带运送单元3,用以运送由此原料供给单元2所连续供给的所述石英粉原料Q;第1发光单元4,发出规定波长的光;光扩散照射单元5,使所述第1发光单元4发出的光转换为...
  • 提供一种石英坩埚制造用模具,其可减少由于小直径薄化而需要通过切割来移除的不可避免的部分,且其可降低材料成本。用于通过在石英粉附着到旋转模具的内壁上的状态下将所述石英粉热熔化来制造石英坩埚的模具,其具有比所述模具的内直径小且比所述石英坩埚...
  • 本发明涉及碳素电极的制造方法及石英玻璃坩埚的制造方法。碳素电极的制造方法用于通过电弧放电对被熔融物进行熔融,其中,具有:摩擦处理工序,在电力供给之前,通过与所述被熔融物同种的摩擦体对所述碳素电极表面进行摩擦处理。
  • 本发明提供一种坩埚升降装置及坩埚取出方法,能容易地从铸模中取出石英玻璃坩埚等。该坩埚升降装置的特征在于,包括:紧密贴合在坩埚的开口部的盖部件;对由该盖部件密封的坩埚的内部空间进行减压的机构;以及所述盖部件的上下运动机构;与坩埚升降装置将...
  • 本发明涉及一种石英玻璃坩埚的制造方法,其是通过围绕模的旋转轴配设的电极的电弧放电,对在模中成形的石英粉成形体进行加热熔融,从而制造石英玻璃坩埚的方法,该方法包括:环状地配置电极的工序;在电弧加热中的至少固定时间,将所述电极前端与所述石英...
  • 本发明涉及电弧放电方法及装置、石英玻璃坩埚制造方法及装置,提供在300kVA~12000kVA的输出范围通过多根碳素电极利用电弧放电对非导电性对象物进行加热熔融的方法,其中,作为电弧放电开始时使上述碳素电极彼此接触的接触位置与前端的距离...
  • 本发明的石英玻璃坩埚的搬运装置包括:彼此相向的一对夹持单元,组装在框架所包括的一对臂部,且在坩埚的径方向上夹持石英玻璃坩埚的主体部,所述框架包括沿水平方向延伸的横梁,且所述一对臂部在相对于横梁的中心轴线方向正交的方向上从横梁突出且至少一...
  • 本发明提供一种使已包装坩埚的搬运无需依靠人手而由机械实现的适于已包装坩埚的搬运的起重机装置。本发明的起重机装置能够在配置着已包装的石英玻璃坩埚的吊起位置的上方与配置着捆包用集装箱的放下位置的上方之间的路径上来回移动,且设置成从该路径起在...
  • 本发明涉及一种硅单晶的制造方法及硅单晶提拉装置,进行硅熔融液的渗出监视及籽晶的触液检测,并且实现可耐长时间提拉的石英玻璃坩埚的强化及硅单晶的杂质浓度的降低。本发明的硅单晶的制造方法包括如下步骤:使安装在导线18的前端的籽晶与石英玻璃坩埚...
  • 本发明提供一种石英玻璃坩埚,其可以在短时间内熔融硅原料,且可以借由不透明石英玻璃层随时间经过的状态变化而使硅单晶的制造良率提高。本发明的石英玻璃坩埚包括:设置在外表面侧的含有多个气泡的不透明石英玻璃层11、及设置在内表面侧的实质上不含气...
  • 本发明通过提供一种避免坩埚原料粉末侵入到坩埚内表面的方法,至坩埚的实际的使用时期为止确实地避免异物侵入到石英玻璃坩埚内部,从而能够在不受污染的状态下操作坩埚。一种石英玻璃坩埚用塞,安装在石英玻璃坩埚的开口部,且包含与所述开口部的内周端密...
  • 一种表面改性的石英玻璃坩埚和用于使坩埚改性的方法,包括在坩埚的整个或部分内侧和/或外侧表面上的金属氧化物层,以及对其进行烘焙。至少坩埚的内表面涂覆有所述镁、钙、锶或钡的金属氧化物。坩埚的涂层不易磨损并可提供用坩埚拉制成的单晶硅的高无位错...
  • 本发明涉及一种石英玻璃坩埚及其制造方法。本发明所提供的石英玻璃坩埚圆形程度高,其用于半导体材料的单晶硅或太阳电池材料的多晶硅等的拉晶。其为用于硅晶的拉晶的石英玻璃坩埚,其特征为,至少在坩埚的壁部,坩埚内表面的圆度Sx和坩埚外表面的圆度S...
  • 本发明提供不进行内表面的全面磨削处理即可减少透明层中气泡量的硅单晶提拉用石英玻璃坩埚的新型制造方法。该方法包括下述步骤:通过对由石英原料粉形成的坩埚形状成型体从内表面向外表面方向减压、并使上述坩埚形状成型体旋转的同时进行电弧熔融形成内表...
  • 本发明提供一种石英玻璃坩埚,其即使在制造(提拉)大型化的硅单晶时,也可抑制熔融硅的局部温度偏差,制造(提拉)均匀的硅单晶。硅单晶提拉用石英玻璃坩埚,其从坩埚内表面侧至外表面侧至少具有透明层、半透明层和不透明层,其中,透明层气泡含有率小于...
  • 一种表面改性的石英玻璃坩埚和用于使坩埚改性的方法,包括在坩埚的整个或部分内侧和/或外侧表面上的金属氧化物层,以及对其进行烘焙。至少坩埚的内表面涂覆有所述镁、钙、锶或钡的金属氧化物。坩埚的涂层不易磨损并可提供用坩埚拉制成的单晶硅的高无位错...
  • 石英玻璃坩埚的重整方法,其中所述石英玻璃坩埚是以下述方式重整:由围绕转动轴线放置的电极产生的电弧放电在转动所述石英玻璃坩埚的同时来加热待熔化的坩埚内表面,该重整方法包括:    采用一种电极结构,其中彼此相邻的电极按固定的间隔依环形构型...
  • 一种增强石英玻璃物质的方法,该方法包括:    在石英玻璃物质表面上形成一个石英玻璃粉末层,和    在高温下使石英玻璃粉末结晶从而增强石英玻璃物质。
  • 一种用于石英玻璃与熔硅的反应性的评估工艺,所述工艺包括:    在真空炉中熔融所述石英玻璃的试样上的少量硅,和    测量所述熔硅的振动周期。