本发明提供了一种内部杂质浓度较低的高纯度石英坩埚及其制造方法。通过高纯度石英玻璃坩埚的制造方法制造出这样一种坩埚：从内侧表面开始１ｍｍ深度以内所含的Ｎａ和Ｌｉ每一种的含量至少小于０．０５ｐｐｍ，其中，在通过电弧等离子体加热位于中空的旋转...

为了提供一种二氧化硅玻璃坩埚，其中当在高温下使用所述坩埚来拉制硅单晶时不存在出现凹陷和皱缩的问题。用来拉制硅单晶的二氧化硅玻璃坩埚，其中坩埚壁部分的至少一个外表面上布有长度小于２００μｍ、宽度小于３０μｍ和深度从大于３μｍ到小于３０μｍ...

本发明通过在除坩埚底部的坩埚直体部分形成在石英玻璃层内部夹有含铝等结晶促进成分的层的结构，在硅单晶提拉时，可促进该部分的结晶，高温下的坩埚强度提高，因此，不会发生坩埚直体部分的变形或内倒。从而可以提高硅单晶的结晶速率。另外，结晶促进层被...

一种石英玻璃坩埚的表面改质方法，其特征是将含有金属盐和烷氧硅烷低聚物的部分水解物的混合液（以下称为硅溶胶液）涂布在坩埚表面上，将其烧成，形成在氧化硅质基体中含有来自上述金属盐的结晶化促进剂的透明涂层。

本发明提出了一种生产石英玻璃坩埚的工艺和装置，可产生稳定的环状电弧，适合于用来生产优质的具有大开口直径的坩埚。在生产石英玻璃坩埚的生产工艺和装置中，通过位于模具旋转轴线周围的电极的电弧放电对模具中的石英粉末加热熔化。本发明的特征是利用了...

本发明提供二氧化硅颗粒的纯化方法，该纯化方法是使二氧化硅颗粒形成流动状态、在高温下使纯化用气体与流动状态的二氧化硅颗粒接触，除去二氧化硅颗粒的杂质成分的纯化方法，其中，使流动状态的二氧化硅颗粒位于磁场区域内，优选使流动状态的二氧化硅颗粒...