日本超精石英株式会社专利技术

日本超精石英株式会社共有66项专利

  • 提供适用于耐热强度高且长时间的提拉,并且能以低成本制造的坩埚及其制造方法。复合坩埚(10)具有以氧化铝和氧化硅作为主成分的莫来石所构成的坩埚本体(11)以及形成于坩埚本体(11)的内表面侧的透明氧化硅玻璃层(12),作为坩埚的基本材料使...
  • 提供一种在高温环境下强度高,且提拉结束后能简单取出的氧化硅玻璃坩埚。氧化硅玻璃坩埚(10)具有设置于坩埚外表面侧的氧化硅玻璃外层(13a)、设置于坩埚内表面侧的氧化硅玻璃内层(13c)、设置于氧化硅玻璃外层(13a)和氧化硅玻璃内层(1...
  • 在氧化硅玻璃坩埚的制造工程中,提供可防止内表面特性的降低的氧化硅玻璃坩埚的制造装置,以及氧化硅玻璃坩埚的制造方法。本发明的氧化硅玻璃坩埚的制造装置,具备限定氧化硅玻璃坩埚的外形的模具,具有多个电极以及电力供给单元的电弧放电单元,上述多个...
  • 本发明提供一种可正确预测氧化硅玻璃坩埚的结晶化容易性的氧化硅粉末的评价方法。本发明的氧化硅的评价方法包括:在1700℃~1900℃的熔化温度下熔化氧化硅粉末后使之冷却而制作被玻璃化的样品的样品制作工序,将所述样品在1400℃~1750℃...
  • 本发明提供一种相较于现有技术精度更高的温度分布计算方法,该温度分布计算方法利用边界条件来计算制造时的氧化硅粉末成形体内面的温度分布,该边界条件是将根据电弧放电的等离子辐射和电弧放电自身的热辐射考虑在内,并以实测温度进行补偿的边界条件。本...
  • 本发明提供一种设置有基准点的单晶硅拉晶用氧化硅玻璃坩埚,藉由该基准点能正确掌握氧化硅玻璃坩埚的缺陷位置,从而可用于特定单晶硅的缺陷发生部位以及查明缺陷发生原因。对于本发明的氧化硅玻璃坩埚,在其坩埚边缘部、内壁面以及外壁面之中的至少一处,...
  • 本发明提供一种氧化硅玻璃坩埚,在该氧化硅玻璃坩埚上设置有单晶硅拉晶时用于抑制液面振动的特殊区域,同时,在该氧化硅玻璃坩埚上形成有一能够正确掌握通过该特殊区域时的液面变动位置之标记部。在氧化硅玻璃坩埚的直筒部的内壁面上设置有防止熔融硅波动...
  • 本发明提供一种进行多次拉晶时能抑制氧化硅玻璃坩埚的压曲及沉入的氧化硅玻璃坩埚。本发明的氧化硅玻璃坩埚用于单晶硅拉晶,其内表面具有矿化剂,该矿化剂含有Ca、Sr、Ba、Ra、Ti、Zr、Cr、Mo、Fe、Co、Ni、Cu和Ag中的至少一种...
  • 本发明提供即使在硅锭的拉晶的时间极为长的情况下也能有效地抑制内倾及压曲的氧化硅玻璃坩埚。本发明提供的氧化硅玻璃坩埚用于单晶硅拉晶,所述坩埚的壁具有自该坩埚的内表面形成至外表面的气泡含有率不满0.5%的透明氧化硅玻璃层、气泡含有率是1%以...
  • 本发明提供一种进行多次拉晶时也能抑制硅锭结晶性的恶化的氧化硅玻璃坩埚。本发明的氧化硅玻璃坩埚用于单晶硅拉晶,该坩埚的壁具有自该坩埚的内表面形成至外表面的合成氧化硅玻璃层、天然氧化硅玻璃层、含杂质氧化硅玻璃层以及天然氧化硅玻璃层。
  • 本发明通过提供一种避免坩埚原料粉末侵入到坩埚内表面的方法,可靠地避免到坩埚的实际使用时期为止异物侵入到石英玻璃坩埚内部,从而能够在不受污染状态下使用处理坩埚。一种安装在石英玻璃坩埚(1)的开口部(2)上的盖(3),其具有紧密接合在所述开...
  • 本发明提供二氧化硅玻璃坩埚的制造装置以及制造方法,可以进行正确的烟尘产生量的测量,从而能防止内表面的特性的降低,同时也能实时地进行原料熔融状态的控制。上述装置用于制造二氧化硅玻璃坩埚50,即,将二氧化硅粉放入模具10内并形成二氧化硅粉层...
  • 本发明提供一种石英玻璃坩埚及其制造方法,该石英玻璃坩埚用于硅单晶的提拉中,内面层的均质性优异,且内面层的气泡含有率较低。在硅单晶的提拉中所使用的石英玻璃坩埚的制造方法中,当由合成石英粉形成内面层30时,由具有比形成该内面层30的内侧部分...
  • 本发明提供一种切割方法及装置,其不会于切割部位的缘部等处产生破损而可平滑地切割玻璃坩埚的边缘部等。玻璃坩埚的切割装置具备:相对于坩埚而朝横向设置的圆板状的切割刃(10);旋转切割刃(10)的旋转单元;使切割刃(10)于坩埚的周向上移动的...
  • 本发明提供一种石英玻璃坩埚及其制造方法,其可充分兼顾促进硅单晶提拉时的内表面的结晶化与维持坩埚的强度。石英玻璃坩埚10的特征在于:在至少直体部(10A)的自坩埚内表面起算的0.3mm~3mm的区域中所含的OH基浓度以及OH基浓度梯度越接...
  • 本发明提供一种单晶硅拉晶用石英坩埚,具有石英玻璃形成的外侧层与内侧层之两层结构,其特征在于:该内侧层由坩埚侧断面上看,至少由其硅熔液面的单晶硅拉晶开始位置至拉晶终止位置之间,形成有峰部与谷部的波状内面形状,而且,当由坩埚的开口上端至单晶...
  • 本发明提供一种石英玻璃坩埚,该石英玻璃坩埚的外表面层由天然石英玻璃形成,内面层由合成石英玻璃形成。直筒部具有朝向上方并向外侧展开的形状,优选的,向外侧展开部分的下端和上端的内径差是0.1%以上,并且,角部的合成石英玻璃内面层的层厚是角部...
  • 一种石英玻璃坩埚的制造方法,是基于旋转模塑法的制造石英玻璃坩埚的方法,其特征在于,将电极设置在相对于模中心线偏离的位置而进行电弧熔融,通过该偏心电弧,将坩埚的直体部、弯曲部以及底部的熔融中的玻璃温度的差控制在300℃以下,将该直体部以及...
  • 本发明提供弯曲部和底部未被过度加热,形状的成形性优异,并且内部气泡少的石英玻璃坩埚的制造方法。一种石英玻璃坩埚的制造方法,其是一边对充填于旋转模具中的石英粉成形体进行抽真空一边进行电弧熔融而制造石英玻璃坩埚的方法,其特征在于,在电弧熔融...
  • 本发明提供用于硅单晶提拉的石英玻璃坩埚,是将非晶质二氧化硅结晶化而成的结晶二氧化硅的面积抑制在坩埚面积的10%以下,将坩埚内表面的开气泡产生的凹部的密度限制在0.01~0.2count/mm↑[2]的石英玻璃坩埚,以及提供使用该石英坩埚...