玻璃坩埚的切割方法及切割装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种切割方法及装置，其不会于切割部位的缘部等处产生破损而可平滑地切割玻璃坩埚的边缘部等。玻璃坩埚的切割装置具备：相对于坩埚而朝横向设置的圆板状的切割刃（１０）；旋转切割刃（１０）的旋转单元；使切割刃（１０）于坩埚的周向上移动的切割刃移动单元；及坩埚（２０）的旋转单元。不使坩埚（２０）旋转而使旋转的切割刃（１０）接触于坩埚壁面并向壁厚方向推进而形成贯穿坩埚的壁部的切口，维持切割刃贯穿该壁部的状态，使切割刃（１０）于坩埚（２０）的周向上相对移动而切割坩埚（２０）的边缘部（２５）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种可平滑地切割玻璃坩埚的边缘部(开口缘部)的切割方法及装 置。更详细而言，本专利技术涉及一种切割方法及装置，其不会在切割部位的缘部等处产生破损 而可平滑地切割硅单晶的提拉中所用的石英玻璃坩埚等的边缘部等。
技术介绍
在硅单晶的提拉中，使用装入硅熔液的石英玻璃坩埚。该玻璃坩埚主要通过旋转 模塑法制造，其是通过使石英粉均勻地堆积在旋转的塑模的内表面并将其加热熔融而使之 玻璃化所制造。在该制造方法中，坩埚的开口缘部(边缘部)易于变得不整齐，因此在制造 后对边缘部进行切割而形成制品。先前，通过手工作业进行边缘部的切割，但随着坩埚的大 型化，边缘部的切割作业的负担增加，为了减轻该负担而谋求切割作业的机械化。作为玻璃坩埚的切割装置而已知一种边缘切割装置，其特征在于，其具有坩埚的 保持单元及边缘的切割单元；上述保持单元具有握持坩埚的自由开闭的臂及其旋转上下移 动单元；上述切割单元具备切割刃及其移动单元；较好的是进而具有坩埚的定心机构及所 切割的边缘的排出机构，连续进行自坩埚的定心起至边缘的切割、及边缘的排出的一连串 步骤(参考专利文献1)。上述边缘切割装置可以高精度机械地切割玻璃坩埚的边缘，对于大型玻璃坩埚亦 可在短时间内完成边缘的切割。此外，可使自定心起至所切割的边缘的排出的一连串动作 自动化，因此具有可大幅提高作业效率的优点。另一方面，当切割玻璃坩埚的边缘部时，如图6所示执行如下方法将旋转的切割 刃10推压于坩埚20的侧壁外表面21，一面旋转坩埚20，一面使切割刃10朝向坩埚的内侧 推进而切割壁部。根据上述切割方法，在坩埚的外表面21上形成有沿坩埚全周延伸的切割槽28，该 切割槽28朝向壁的厚度方向行进，切割结束部分成为坩埚内表面22，因此所切割的边缘部 26的重量集中在坩埚内表面22的较薄的切割面上，从而易于产生龟裂，该内表面的切割缘 部破损，如图7所示，易于在坩埚内表面上产生切割毛刺23及缺损部分24。将切割刃10推 压于坩埚内表面，使切割刃10朝向外表面推进而切割的情形亦相同。日本专利特开2001-226134号
技术实现思路
本专利技术解决先前的切割方法中的上述问题，其提供一种不会在切割部位的缘部等 处产生破损而可平滑地切割边缘部等的切割方法及切割装置。本专利技术涉及一种通过以下的构成而解决上述问题的切割方法及切割装置。 一种玻璃坩埚的切割方法，其特征在于通过切割刃而形成贯穿坩埚的壁部3的切口，维持切割刃贯穿该壁部的状态，使该切割刃在坩埚的周向上相对移动而使上述切 口延长至坩埚全周，由此切割坩埚的边缘部。如上述中记载的玻璃坩埚的切割方法，其中，不使坩埚旋转而使旋转的切 割刃接触坩埚壁面并向壁厚方向推进而形成贯穿坩埚壁部的切口，维持切割刃贯穿该壁部 的状态，使坩埚旋转，并使该切割刃在坩埚的周向上相对移动，或者通过切割刃的移动单元 而使该切割刃在坩埚的周向上移动而切割坩埚的边缘部。 一种玻璃坩埚的切割方法，其特征在于在坩埚的外表面或内表面的任一面 上形成延伸至坩埚全周的槽，自设置有该槽的相反侧的表面起以上述或上述的方 法切割坩埚的边缘部。 一种玻璃坩埚的切割方法，其特征在于在坩埚的外表面或内表面的任一面 上形成延伸至坩埚全周的槽，使切割刃自设置有该槽的相反侧的表面起朝向该槽前进而切 割坩埚的边缘部。 一种玻璃坩埚的切割装置，其特征在于，其具备相对于坩埚而朝横向设置的圆 板状的切割刃、该切割刃的旋转单元、使该切割刃在坩埚的周向上移动的切割刃移动单元、 及坩埚的旋转单元；且不使坩埚旋转而使旋转的切割刃接触坩埚壁面并向壁厚方向推进而 形成贯穿坩埚壁部的切口，维持切割刃贯穿该壁部的状态，使坩埚旋转，并使该切割刃在坩 埚的周向上相对移动而切割坩埚的边缘部。如上述的玻璃坩埚的切割装置，其包括朝上设置坩埚的支撑台；及设定 在坩埚上方的自由升降的保持单元；且通过保持单元而将所切割的边缘部吊起保持。如上述的玻璃坩埚的切割装置，其包括朝下设置坩埚的支撑台；设定在 坩埚上方的自由升降的保持单元；及自支撑台向上方延伸的臂；且通过保持单元而朝下保 持坩埚，此外，在通过上述臂保持边缘部的状态下切割边缘部，在切割后将坩埚在保持为朝 下的状态下搬出，其后搬出所切割的边缘部。本专利技术的切割方法通过切割刃形成贯穿坩埚的壁部的切口，维持切割刃贯穿该壁 部的状态，使该切割刃在坩埚的周向上相对移动而使上述切口延长至坩埚全周，因此切割 部分在壁部的整个厚度已被切割的状态下在坩埚的周向上延伸，从而，所切割的边缘部的 重量不会集中在即将切割的内表面上，而可确实地防止切割缘部的毛刺或缺损。本专利技术的切割方法中，具体而言，例如不使坩埚旋转而使旋转的切割刃接触坩埚 壁面并向壁厚方向推进而形成贯穿坩埚的壁部的切口，维持切割刃贯穿该壁部的状态，使 坩埚旋转，并使该切割刃在坩埚的周向上相对移动即可，或者通过切割刃的移动单元而使 该切割刃在坩埚的周向上移动即可，并不需要特别的切割单元，因此可容易地实施切割。此外，本专利技术的切割方法包括如下方法，即在坩埚的外表面或内表面的任一面上 形成延伸至坩埚全周的槽，使切割刃自设置有该槽的相反侧的表面朝向该槽前进而切割坩 埚的边缘部。根据该切割方法，使切割刃自设置有该槽的相反侧的表面朝向该槽前进，因此 切割结束部分成为槽的内侧，由此在坩埚表面上不会产生毛刺或缺损。在坩埚的外表面或内表面的任一面上形成延伸至坩埚全周的槽，设置自设置有该 槽的相反侧的表面起贯穿的切口，使该切口延长至坩埚全周而切割坩埚壁部，根据此方法， 则在形成贯穿的切口时及将贯穿的切口延长至坩埚全周时，均不会在坩埚表面产生毛刺或4缺损从而可平滑地切割边缘部。本专利技术的切割装置具备相对于坩埚而朝横向设置的圆板状的切割刃、该切割刃的 旋转单元、使该切割刃在坩埚的周向上移动的切割刃移动单元、及坩埚的旋转单元；不使坩 埚旋转而将旋转的切割刃接触坩埚壁面并向壁厚方向推进来形成贯穿坩埚的壁部的切口， 维持切割刃贯穿该壁部的状态，以使坩埚旋转、并使该切割刃在坩埚的周向上相对移动的 方式来控制切割刃及坩埚，由此，不会在切割缘部产生毛刺或缺损从而可平滑地切割边缘 部。此外，上述切割装置具有设定在坩埚上方的自由升降的保持单元，由此，可通过保 持单元而机械地进行坩埚的设置及切割后的取出。此外，可在切割中保持边缘部，因此可防 止在切割结束时边缘部碰撞切割面，可机械地进行所切割的边缘部的取出。附图说明图1是表示本专利技术的切割方法的说明图。图2是表示本专利技术的切割方法的说明图。图3是表示本专利技术的切割方法的说明图。图4是表示本专利技术的切割装置的构成例的示意图。图5是表示本专利技术的切割装置的其他构成例的示意图。图6是表示先前的切割方法的说明图。图7是表示先前的切割方法的说明图。10切割刃11支撑单元12支撑台13保持单元14臂15缓冲材16旋转轴17臂18缓冲材20坩埚21外表面22内表面23毛刺24缺损部分25边缘部27槽28切割槽30切口具体实施例方式以下，基于实施形态而具体说明本专利技术。图1 图3是表示本专利技术的玻璃坩埚的切割方法的概略的说明图。本专利技术的切割方法是如图1所示不使坩埚20旋转而使旋转的切割刃10接触坩 埚20的壁面(图示的例中为外表面21)，并使切割刃10向壁厚方向(朝向坩埚的内侧)推 进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤贤，
申请(专利权)人：日本超精石英株式会社，
类型：发明
国别省市：JP