本发明涉及用于基质热处理的装置和方法，带有一个环形的热处理区域，该区域有一个转盘来接收基质保持件，其中基质保持件至少是两个接连被放置在热处理区域中，热处理区域仍以辐状径向围绕转盘中心布置。

在一种用于在真空中处理基片的基片处理系统中，由处理模块构成的两个直线组件一个堆叠在另一个上面，并通过至少一个提升模块来连接，该提升模块能够用于从第一组向第二组进行输送。沿穿过第一组和第二组处理模块的运行路径布置有直线同步马达。具有导轨（...

一种制造图像传感器设备（５）的方法，该图像传感器设备将辐射（１）的强度转换为取决于所述光强度的电流（ｉ１，ｉ２），其包括在真空沉积设备中的下述步骤：　　　　在介电的绝缘表面上沉积导电衬垫（７ａ，７ｂ）的矩阵作为背面电接触，　　　　等离子...

一种在具有输送室的真空处理设备中定位具有基准标记（６）的晶片（３）的方法，该输送室包含用于使晶片（３）在一个平面内运动到安置在该输送室旁的处理室的输送装置（２，２０，２１），和单个的传感器（１），其中所述传感器（１）安置在处理室前的输送...

一种复合的太阳能收集模块，包括封装在一侧的例如玻璃的透明衬底和另一侧的电绝缘膜之间的薄膜太阳能收集电池。在电绝缘膜上布置金属层，以提供保护使其免于可能损害该薄膜太阳能收集电池的大气物质的扩散的影响。确定绝缘和金属层的尺寸使得更大的收集电...

用于盘形的工件（２、３、４、５、７）的输送装置，包括可水平运动的输送臂和卡式盒（２０），其中所述输送臂具有两个布置在其上面的细长的用于接纳工件的支撑元件（２６、２７），所述卡式盒（２０）在两个对置的侧面上接纳工件（７），其中构造所述支撑...

本发明涉及一种装置，用于为在真空的环境中的板状的衬底（１０）除气，具有两个基本扁平的平行的体（１１，１２），所述体具有小于其纵向长度（１）的间隔（ｄ），并形成一个中间腔（２８），和所述衬底（１０）设置在所述体（１１，１２）之间，所述体中...

在不对称不平衡长程磁控管磁场图案上产生和使用一种磁控管源、一种磁控管处理室和一种制造具有真空等离子体处理过的表面的基片的方法，该不对称不平衡长程磁控管磁场图案沿着基片表面被扫动，用于提高真空等离子体处理过的基片表面处的离子密度。长程磁场...

在第一真空涂覆站（１０２）中用一个层面涂覆介电基片（１００），层面的材料具有电阻率（ρ），对于该电阻率有１０↑［－５］Ωｃｍ≤ρ≤１０↑［－１］Ωｃｍ，并且因此得出的面电阻处在以下的范围内：０＜Ｒ↓［Ｓ］≤１０↑［４］Ω↓［□］。然后所...

为了在溅射工作期间调节沿着磁控管源上的溅射面（３↓［Ｓ］）的溅射速率分布，相应地改变磁体装置（７↓［ａ］，７↓［ｂ］）的一部分（７↓［ａ１］，７↓［ｂ１］）在靶背面（３↓［Ｒ］）上的距离。

根据本发明的大尺寸基片ＰＥＣＶＯ处理的等离子体反应器，包括作为外室的真空处理室和带有电极喷头作为ＲＦ天线的至少一个内部反应器，所述内部反应器还包括反应器底部和反应器顶部，至少在等离子体反应器内基片处理期间密封式地连接，并至少在基片装载／...

本发明描述了一种用于清洗沉积室的方法，所述方法与大面积沉积是相容的。所述方法包括通过至少两个注射点且在用于反应性物质的等同路径上以均匀的方式将被活化的气体从远程等离子体源输送至所述室中的区域。一种相应的用于分布被活化的反应性气体的气体注...

利用恒定磁场（Ｈ↓［ｓ］）进行溅射。通过将调制磁场（Ｈｍ）叠加到所述恒定磁场（Ｈ↓［ｓ］），调制邻近负责该恒定磁场的磁极之一的该恒定磁场（Ｈ↓［ｓ］），由此最小化或略去经历再次沉积的溅射表面（３）的未被侵蚀区域。

在第一道工序中，在底层（３）上涂覆光刻胶，以产生光刻胶层（９）。在第二道工序中，对光刻胶层（９）进行与预先规定的表面结构化配合的掩膜曝光（１３）。在第三道工序中，借助于显影将部分光刻胶层（９）去除，从而获得具有光刻胶分区（２５）作为牺牲...

一种色轮，包括一个电动机和一个色环，其中色环（１）包括一个轴（２３）、一些过滤元件（１５、１５’、１５”）以及一个环形的过滤元件支架（３）。过滤元件刚性地固定在支架上，从而它们向内朝向该圆环的中心形成一个环形透明的面。色轮的旋转引起滤色...

本发明为汽车夜视系统。本发明涉及一种用于汽车的红外照明装置，例如探照灯，具有一个光束源和一个干涉滤光器，其中该装置可以沿着一根轴线发出白色光束和处于８００和１２００ｎｍ之间的波长范围内的特定强度的红外光束，其中该红外光束具有大于２５Ｗ／...

用于汽车的红外照明装置，例如探照灯，具有一个光束源和一个滤光器，其中该装置可以沿着一根轴线发出白色光束和处于８００和１２００ｎｍ之间的波长范围内的特定强度的红外光束，滤光器在一个第一角度下可以传递光束源的第一可见部分，并且该滤光器在一个...

一种用于投影仪的色轮具有盘形的支架，该支架能够围绕中心轴线旋转并具有数个安装在该支架上平的整体式的滤色扇形件。滤色扇形件在相对于旋转轴线的径向方向上对齐，并在支架的外围形成圆环形区域，该区域相对于支架中心呈同心布置，其中，滤色扇形件的周...

一种用于分析基板（４）上的有机吸附层（７）的方法包括如下步骤：提供基板（４），该基板表面的折射率等于或接近待分析有机吸附物的折射率。在基板（４）的表面上，敷设了层系统（５、６），该系统具有至少一个层（５）和有机吸附层（７），其中，层（５...

本发明涉及一种属于椭圆计一类的装置的有利的改进方案。在此，常规的椭圆计补充一个所谓的谐振平台，在这个谐振平台的表面上可激励多种模式。与现有技术已知的表面等离子体相反，本发明的模式是横向定位的。此外，该谐振平台不需要包括一层金属膜。这种装...