本发明提供制造类似超级电容器的电子电池的方法。制造类似超级电容器的电子电池的步骤如下。在基板上形成第一集电器。在第一集电器上形成第一电极。由第一固态电解质和第一导电材料形成第一电极，其中第一导电材料使第一固态电解质中所包含的移动离子不可...

本发明公开了一种用于处理基材(1)的设备，该设备包含至少两个除气单元和至少一个处理单元，其中，一个第一除气单元包含具有加热所述基材(1)的装置的气锁器及处理监测传感器，所述气锁器连接于排空系统，一个第二除气单元包含用以加热所述基材的装置...

为了缩短由运输腔室(1)中的运输布置(5)所服务的真空处理腔室(13)的抽吸时间，真空处理腔室（13）分成工件处理隔室（13T）和抽吸隔室（13P），工件处理隔室（13T）和抽吸隔室（13P）彼此自由流动连通、并且布置成相对于服务真空处...

本发明涉及一种真空处理设备和用于制造的方法。真空处理设备包括：-多个处理腔室(18,19)，用于处理工件，特别地硅晶片；-转移腔室(15)，附连到处理腔室(18,19)上，处理腔室(18,19)经由相应开口与所述转移腔室(15)相连通、...

用于在处理气体中在基底（2）上沉积层（37、38、39）的设备（1、26）包括：夹盘（3），包括用于支撑基底（2）的第一表面（14）；夹具（4），用于将基底（2）固定到夹盘（3）的第一表面（14）；抽空的封闭箱（5），封闭夹盘（3）和夹...

一种具有双层抗反射涂层(ARC)的硅晶片基太阳能电池，该双层ARC结合了10-30nm厚的含氢钝化层(例如SiXNY：H)和Nb2O5顶层(或概括地讲NbXOY)，以使ARC的折射率与折射率为约1.5的覆层材料(例如玻璃或EVA、乙烯醋...

装配有主动冷却元件的蚀刻室。所述主动冷却元件优先吸附在蚀刻过程中从晶片的聚合物层释放的挥发性化合物，如果所述化合物再沉积在晶片上，则它们将起到污染物的作用，例如，在暴露的金属接触部分它们可能干扰金属接触层的后续沉积。在期望的实施方式中，...

一种磁控管溅射设备，包括基板支承件(2)，其在真空室(1)内保持基板(3)，基板(3)具有将被涂覆的面朝上的平面基板表面(4)。基板(3)可以是例如200mm直径的圆盘。在与中心平面(5)一定距离处，两个长方形的标靶(7a,7b)被对称...

将包含在真空室（11）中的加工室（12）的排气开口通过包括波纹管（03）的连接器连接到排气管道（13）上，上述波纹管（03）用其连接到排气管道（13）上的一端固定到外壳上，而其相对端包含用于连接到环绕排气开口的连接环（01）上的连接管（...

一种磁控管源包括一具有溅镀面及背面的靶材(39)。以驱动方式沿着该靶材(39)的背面移动一磁铁配置(30、32、19a、19b)。在该磁铁配置的一外环路(30)与一内环路(32)之间产生一隧道状磁控管磁场。在该整体配置的外及内环路(30...

一种用于物理气相沉积系统的标靶，包括顶部、底部及基部。所述基部主要是由待溅镀的标靶的表面所形成。第一内环及第二内环从基部延伸。每一个环都具有内侧和外侧，其中通过靠近标靶的磁铁配置，溅镀集中在外侧。

具有常规电化学电容器结构的超级电容器式电子电池，所述常规电化学电容器结构具有放置在所述常规电化学电容器结构内的第一纳米复合电极的。所述纳米复合电极显示分散在电解质基质中的纳米级导电颗粒，所述纳米级导电颗粒涂覆有设计和功能化的有机或有机金...

本发明涉及用阴极溅射制作方向层的方法及其实施装置。具体地，提供了一种用阴极溅射在衬底的平面衬底表面上制作带有恒定法向方向性的方向层的装置，所述装置具有真空腔，所述真空腔中放置有至少一个靶，而且所述真空腔包含有至少一个适于以如下方式来连接...

本发明提供了包含常规电化学电容器结构的改进的超级电容器式电子电池。第一纳米复合电极和第二电极以及电解质放置在所述常规电化学电容器结构内。电解质使所述纳米复合电极和所述第二电极分离。所述第一纳米复合电极具有在第一电解质基质中的第一导电核-...

本发明涉及一种用以沉积一防反射层(6)于一基材(1)上的方法，包括下列步骤。提供具有多个太阳能电池结构(2)的基材(1)，并将该基材布置于一真空腔室(11)内，该真空腔室具有一含硅固体(13)。在该固体(13)与接地电位(14)之间断开...

一种用于处理基材(1)的方法，基材放置于真空环境中时呈除气状态。此方法包括：置放此基材于真空中：通过加热此基材(1)至温度T1，并移除由此基材(1)所发出的气体污染物来进行除气处理，直到除气率被基材之污染物的扩散所决定，因而建立一实质稳...

本发明提供了包含与阳极接触的阳极集流器的电化电池。阴极集流器与阴极接触。固体电解质薄膜将所述阳极和所述阴极分离。

本发明提供制造类似超级电容器的电子电池的方法。制造类似超级电容器的电子电池的步骤如下。在基板上形成第一集电器。在第一集电器上形成第一电极。由第一固态电解质和第一导电材料形成第一电极，其中第一导电材料使第一固态电解质中所包含的移动离子不可...

本发明提供了一种用于车辆的电力系统。该电力系统包括连接至电池充电器的类似超级电容器的电子电池。电池充电器向类似超级电容器的电子电池提供能量。加热器操作地连接至类似超级电容器的电子电池以提供能量来加热类似超级电容器的电子电池，从而降低类似...

用于通过反应溅射来涂覆衬底(14)的设备(1)包括轴(8)；关于所述轴(8)成对称布置的至少两个目标(11，12)，以及连接到目标(11，12)的电源，其中目标能交替地作为阴极和阳极工作。该方法为制造涂覆的衬底(14)的方法，其通过在包...