本发明公开了一种用于电子高纯气体的离心压缩方法，电子用高纯工艺气体经过压缩机主体的进气口进入压缩机主体内部，经过转子的高速旋转逐级经过级间隔板进入下一级叶轮通道逐级增压，并经由排气口排出；转子两端对称依次向外侧套设有一级轴封、二级轴封、...

本发明公开了一种用于电子高纯气体的离心压缩机，包括压缩机主体，压缩机主体具有进气口和排气口；压缩机主体的转子两端转动连接有支撑轴承；转子两端分别套设有轴密封机构，轴密封机构位于支撑轴承和压缩机主体的端头外侧壁之间；轴密封机构为多级串联的...

本发明公开了一种分离提纯六氯乙硅烷的系统，包括：汽化器、精馏塔一、轻组分储罐、精馏塔二、六氯乙硅烷储罐、冷凝器一和冷凝器二；其中，汽化器的气体出口与精馏塔一的入口连通；精馏塔一的顶端出口与六氯乙硅烷储罐的入口连通；精馏塔一的底端出口与精...

本发明公开了一种同时生产电子级硅烷和电子级一氯硅烷的系统，包括：氢化系统、歧化塔一、歧化塔二、硅烷分离提纯装置、一氯硅烷分离提纯装置、冷凝器一和冷凝器二；其中，冷凝器一固定在歧化塔一的顶端，并与歧化塔一连通；冷凝器二固定在歧化塔二的顶端...

本实用新型公开了一种洁净阀门清洗装置，用于对洁净阀体进行清洗；包括连接套管、清洗液主循环系统、水洗支路系统和吹扫支路系统；连接套管与洁净阀体的出口可拆卸连接，连接套管包括进液管和排液管；清洗液主循环系统的泵入端与进液管连通，回流端与排液...

本发明公开了一种电催化合成高纯乙硅烷的系统，包括：电催化反应器、缓冲罐、气体压缩装置、氢气分离装置和乙硅烷分离提纯装置；电催化反应器的出口与缓冲罐入口连通；气体压缩装置的两端分别与缓冲罐的出口和氢气分离装置的入口连通；氢气分离装置的顶端...

本发明公开了一种硅烷精确出料的控制系统及方法，系统包括硅烷塔，硅烷塔具有进料口和出料口；还包括纯度在线监测系统、出料流量反馈系统和出料流量控制系统；纯度在线监测系统安装在硅烷塔内部顶端，用于监测硅烷纯度，以判断是否出料；出料流量反馈系统...

本发明公开了一种生产硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷和六氯乙硅烷的系统，包括：原料合成系统、硅烷合成系统、一氯硅烷合成系统、二氯硅烷合成系统和六氯乙硅烷合成系统；其中，原料合成系统包括氢化系统、歧化塔一、歧化塔二、冷凝器一和冷凝器二；冷凝器一固...

本发明公开了一种电催化合成高纯乙硅烷的方法，过程包括：以甲硅烷为原料，经电催化，得到甲硅烷、氢气、乙硅烷、高硅烷的混合物；所得混合气体进入缓冲罐中混匀，然后在压缩装置中进行压缩，并进行气液分离，分离出氢气、甲硅烷冷凝回流液、高硅烷液体和...

本发明公开了一种硅烷的自动充装系统及控制方法，系统包括充装瓶和充装自动控制部；充装自动控制部包括充装瓶连接管路、硅烷充气管路和功能控制管路；功能控制管路上并联有放空管路、抽真空管路和在线分析管路；控制方法包括置换模式、充装模式和检漏模式...

本发明公开了一种高纯硅烷金属离子检测取样装置，包括供气模块、取样模块、真空模块和控制模块；供气模块包括硅烷气瓶、氦气瓶、第一气动隔膜阀、第二气动隔膜阀；取样模块包括取样瓶组、第三气动隔膜阀；真空模块包括文丘里真空泵、第四气动隔膜阀；控制...

本发明公开了一种氯硅烷歧化系统设备破损在线监测装置及方法，安装在主循环水管道上，装置包括引流副管、流通池、PH计和检测报警系统；引流副管两端均与主循环水管道连通，与主循环水管道形成并联结构；流通池数量为一个或多个，且串联在引流副管上；P...

本发明公开了同时生产电子级硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷的系统及方法，属于硅烷生产技术领域。系统包括物料合成设备、粗分离设备、硅烷分离提纯设备、一氯硅烷分离提纯设备和二氯硅烷分离提纯设备；以氢气、硅粉、四氯化硅为原料，通过催化合成、催化歧化、...

本发明公开了一种用于硅烷包装物多种洁净阀门清洁设备，用于对一个或并联的多个洁净阀体进行清洗；包括连接套管、清洗液主循环系统、水洗支路系统、分析纯无水乙醇支路系统和吹扫支路系统；本发明提供的阀门清洁设备可以单独对一个也可以同时对多个洁净阀...

本实用新型公开了一种饱和蒸气压测试装置，包括样品罐、U型等压管、样品缓冲回流罐和缓冲罐；样品罐连接第一真空绝压表；U型等压管一端通过管路连接于样品罐与第一阀门之间的管路上；另一端与样品缓冲回流罐连通；缓冲罐连接第三真空绝压表，缓冲罐还分...

本发明公开了一种用硅烷法CVD炉生产电子级多晶硅的装置，包括由上到下均为双层结构且可拆卸连接的封头罩、反应筒和底托；反应筒内部固定有反应基座，反应基座上开设有硅棒生长孔和废气回流孔；底托的内底面上固定有电极固定座，电极固定座上安装有电极...

本实用新型公开了一种四氯化硅氢化反应器，包括筒体、分布器、分布板、四氯硅烷进料管、氢气进料口、硅粉进料口、回料口、物料出口、放空口和旋风分离器。本实用新型公开的新型四氯化硅氢化反应器，通过内置的分布器、分布板与旋风分离器相互配合，使物料...

本实用新型公开了一种新型的四氯化硅氢化洗涤塔，包括筒体，以及固定于所述筒体内侧的填料层、液体分布层和塔盘层；填料层上面设置液体分布层，液体分布器上面设置塔盘层；本实用新型通过在四氯化硅氢化洗涤塔内安装填料吸收硅粉颗粒，并配合塔盘进一步吸...

本实用新型公开了一种氯硅烷歧化反应精馏塔，氯硅烷歧化反应精馏塔由下至上分为塔釜、下塔段、反应段、上塔段和塔顶；塔釜分别与再沸器、液位计、压力计和温度计连接；下塔段内设置多层填料段，下塔段上面设置进料口，进料口上面设置反应段；反应段上面通...

本实用新型提供了一种四氯硅烷氢化系统，其中包括硅粉预处理单元、四氯硅烷加压单元、四氯硅烷换热单元、氢气加压单元、氢气换热单元、汽化换热单元、氢化反应单元、除尘单元和冷凝分离单元，通过上述结构单元相互配合，具有操作简单方便、连续稳定、节能...