一种硅烷的自动充装系统及控制方法技术方案

本发明专利技术公开了一种硅烷的自动充装系统及控制方法，系统包括充装瓶和充装自动控制部；充装自动控制部包括充装瓶连接管路、硅烷充气管路和功能控制管路；功能控制管路上并联有放空管路、抽真空管路和在线分析管路；控制方法包括置换模式、充装模式和检漏模式；本发明专利技术采用全自动控制的气动阀，通过自动在线控制和数据采集监测，能够实现硅烷充装瓶的钝化、在线检漏、完全置换、充装前分析、充装硅烷、充装后分析及不合格充装瓶处理过程全自动化运行等操作，直接避免员工由于误操作造成的损失，填补了硅烷系统智能充装的空白，在保证硅烷充装效率的同时，最大限度地减少了人为干预和可能出现的操作误差、确保员工及生产安全，避免事故的发生。故的发生。故的发生。

【技术实现步骤摘要】
一种硅烷的自动充装系统及控制方法


[0001]本专利技术涉及电子芯片及半导体工业
，更具体的说是涉及一种硅烷的自动充装系统及控制方法。

技术介绍

[0002]目前，硅烷广泛应用在电子芯片及半导体工业中，属于化工原材料。因此市场对硅烷产品纯度标准有极高的要求，在此基础上就对相应的充装设备及充装工艺提出了更为严苛的要求。
[0003]高纯度硅烷充装的要求是严格密封，避免和空气、水分相接触，为此，硅烷充装装置在使用前要用惰性气体置换里面的空气并进行抽真空的动作，这样反复进行置换和抽真空，彻底清除系统中的空气和水分，才可以进行洁净充装及分析。
[0004]但是，传统的充装工艺及充装设备，可满足硅烷Y瓶钝化、在线检漏、置换、充装前分析、充装硅烷、充装后分析、及不合格Y瓶处理的手动操作，由于员工手动干预，或不能完全按照操作规程进行操作，无法精确置换时间，导致充装系统内有杂质，充装的硅烷纯度不能达到要求，造成直接经济损失；另外如何检测硅烷充装系统是否存在漏点也是一大难题，现阶段只能依靠员工手持便携式检测仪去现场检测，无法保证员工安全，甚本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅烷的自动充装系统，其特征在于，包括：充装瓶(1)和充装自动控制部；所述充装瓶(1)连接有称重器(2)；所述充装自动控制部包括充装瓶连接管路(3)、硅烷充气管路(4)和功能控制管路(5)；所述充装瓶连接管路(3)与所述充装瓶(1)的充装口连通，且其上安装有硅烷充装气动阀(31)；所述硅烷充气管路(4)与所述充装瓶连接管路(3)连通，且其上依次安装有硅烷进口气动阀(41)和充装压力表(42)；所述功能控制管路(5)与所述充装瓶连接管路(3)和所述硅烷充气管路(4)连通形成三通管路；所述功能控制管路(5)上并联有放空管路(6)、抽真空管路(7)和在线分析管路(8)；所述放空管路(6)上安装有放空气动阀(61)；所述抽真空管路(7)上依次安装有抽真空气动总阀(71)和真空压力表(72)，所述抽真空管路(7)上具有检漏支路(73)，所述检漏支路(73)位于所述抽真空气动总阀(71)和真空压力表(72)之间，所述检漏支路(73)上依次安装有检漏气动阀(74)和检漏绝压表(75)；所述在线分析管路(8)上安装有在线分析气动阀(81)。2.根据权利要求1所述的一种硅烷的自动充装系统，其特征在于，所述功能控制管路(5)还并联有氦气保护管路(9)；所述氦气保护管路(9)上安装有氦气气动阀(91)。3.根据权利要求1所述的一种硅烷的自动充装系统，其特征在于，所述放空管路(6)上还具有氮气保护支路(62)；所述氮气保护支路(62)位于所述放空气动阀(61)远离所述功能控制管路(5)的一侧。4.根据权利要求1所述的一种硅烷的自动充装系统，其特征在于，所述充装瓶连接管路(3)与所述充装瓶(1)之间通过连接气动阀(32)连接。5.根据权利要求1所述的一种硅烷的自动充装系统，其特征在于，所述功能控制管路(5)上安装有远传温度计(51)；所述远传温度计(51)位于所述功能控制管路(5)靠近所述充装瓶连接管路(3)的一端。6.根据权利要求1所述的一种硅烷的自动充装系统，其特征在于，所述抽真空管路(7)的末端分为并联的第一抽真空管路(76)和第二抽真空管路(77)；所述第一抽真空管路(76)上安装有第一抽真空气动分阀(78)；所述第二抽真空管路(77)上安装有第二抽真空气动分阀(79)。7.一种应用权利要求1
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6任一项所述的硅烷的自动充装系统的控制方法，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张鑫，陶刚义，
申请(专利权)人：内蒙古兴洋科技有限公司，
类型：发明
国别省市：