高纯硅烷金属离子检测取样装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高纯硅烷金属离子检测取样装置，包括供气模块、取样模块、真空模块和控制模块；供气模块包括硅烷气瓶、氦气瓶、第一气动隔膜阀、第二气动隔膜阀；取样模块包括取样瓶组、第三气动隔膜阀；真空模块包括文丘里真空泵、第四气动隔膜阀；控制模块分别与第一气动隔膜阀、第二气动隔膜阀、第三气动隔膜阀和第四气动隔膜阀电性连接。本发明专利技术采用控制模块与气动隔膜阀电性连接，实现自动化控制，通过文丘里真空泵的配合实现自动吹扫，通过硅烷气瓶和氦气瓶实现自动吹扫和吸收取样，实现了全自动化取样吸收，避免了人为过程对人的伤害及对样品的污染。本装置自动取样、自动吹扫、自动吸收，从而标准化了取样吸收过程，保证了样品纯净度。

【技术实现步骤摘要】
高纯硅烷金属离子检测取样装置
本专利技术涉及硅烷样品吸收取样
，更具体的说是涉及一种高纯硅烷金属离子检测取样装置。
技术介绍
硅烷是一种无色、易与空气反应的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。硅烷的泄漏一般都会引起火灾，所以必须无泄漏。电子级多晶硅的深加工产品被广泛应用于半导体工业，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件和集成电路的基础材料，国际集成电路芯片及各类半导体器件95％以上是用硅材料制造的。在硅烷生产时因市场需求对部分产品纯度有极高的要求，电子级硅一般要求含Si>99.9999％以上，超高纯达到99.9999999％～99.999999999％。因此对产品品质保持也提出了更高的要求，对取样、分析提出更加严苛的纯净度要求。高纯气体的分析是一个复杂的过程，不仅需要高灵敏的检测器，还要考虑样品本身的特性及其背景，如吸附、取样及分析过程中的安全性、是否有空气混入、系统的密闭性、系统是否有死体积等环节。现有常规采样系统采用普通截止阀、活动PE管道、快速接头连接。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高纯硅烷金属离子检测取样装置，其特征在于，包括：供气模块、取样模块、真空模块和控制模块；/n所述供气模块包括硅烷气瓶(100)和氦气瓶(101)；所述硅烷气瓶(100)和氦气瓶(101)分别通过第一管路(102)和第二管路(103)并联；所述第一管路(102)上安装有第一气动隔膜阀(104)，所述第二管路(103)上安装有第二气动隔膜阀(105)；/n所述取样模块包括取样瓶组，所述取样瓶组的入口连通有进气管路(200)，所述进气管路(200)远离所述取样瓶组的一端与所述第一管路(102)和第二管路(103)的交点连通，所述进气管路(200)上安装有第三气动隔膜阀(201)；所述取样瓶组...

【技术特征摘要】
1.一种高纯硅烷金属离子检测取样装置，其特征在于，包括：供气模块、取样模块、真空模块和控制模块；
所述供气模块包括硅烷气瓶(100)和氦气瓶(101)；所述硅烷气瓶(100)和氦气瓶(101)分别通过第一管路(102)和第二管路(103)并联；所述第一管路(102)上安装有第一气动隔膜阀(104)，所述第二管路(103)上安装有第二气动隔膜阀(105)；
所述取样模块包括取样瓶组，所述取样瓶组的入口连通有进气管路(200)，所述进气管路(200)远离所述取样瓶组的一端与所述第一管路(102)和第二管路(103)的交点连通，所述进气管路(200)上安装有第三气动隔膜阀(201)；所述取样瓶组的出口连通有出气管路(202)；
所述真空模块包括文丘里真空泵(300)；所述文丘里真空泵(300)具有两个抽气口和一个排气口；两个所述抽气口分别连通第三管路(301)和第四管路(302)；所述第三管路(301)与所述进气管路(200)连通，且其上安装有第四气动隔膜阀(303)；所述第四管路(302)与所述出气管路(202)连通；
所述控制模块分别与所述第一气动隔膜阀(104)、第二气动隔膜阀(105)、第三气动隔膜阀(201)和第四气动隔膜阀(303)电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种高纯硅烷金属离子检测取样装置，其特征在于，所述取样瓶组包括依次连接在所述进气管路(200)和出气管路(202)之间的防倒吸瓶(203)、吸收瓶(204)和碱液吸收放空瓶(205)。


3.根据权利要求2所述的一种高纯硅烷金属离子检测取样装置，其特征在于，所述防倒吸瓶(203)内的出气管长于进气管；所述吸收瓶(204)的进气管长于出气管；所述碱液吸收放空瓶(205)的进气管长于出气管。


4.根据权利要求2所述的一种高纯硅烷金属离子检测取样装置，其特征在于，所述吸收瓶(204)内用于盛接含有硝酸溶液的PTFE。


5.根据权利要求1-4任一项所述的一种高纯硅烷金属离子检测取样装置，其特征在于，所述第一管路(102)上安装有第一止逆阀(106)，所述第一止逆阀(106)位于所述第一气动隔...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶刚义，许亮，
申请(专利权)人：内蒙古兴洋科技有限公司，
类型：发明
国别省市：内蒙古;15