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本发明公开了一种高纯硅烷金属离子检测取样装置，包括供气模块、取样模块、真空模块和控制模块；供气模块包括硅烷气瓶、氦气瓶、第一气动隔膜阀、第二气动隔膜阀；取样模块包括取样瓶组、第三气动隔膜阀；真空模块包括文丘里真空泵、第四气动隔膜阀；控制模块...
该专利属于内蒙古兴洋科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古兴洋科技有限公司授权不得商用。

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