本技术涉及力传感器技术领域，公开一种接插件及力传感器。其中接插件包括绝缘固定座和导电件，绝缘固定座上设有安装槽和与安装槽连通的安装孔，安装孔贯穿绝缘固定座设置，安装槽设置在绝缘固定座的一端且用于放置芯片，导电件固定在安装孔内且其一端伸入...

本发明涉及机械臂技术领域，公开一种多维力检测结构，包括：外筒；内轴，其一端伸入外筒内；力检测组件，包括第一MEMS力传感器、第二MEMS力传感器、第三MEMS力传感器及第四MEMS力传感器，第一MEMS力传感器能够检测第一方向的作用力，...

本发明涉及机器人技术领域，公开一种机械臂，包括力矩测量组件，力矩测量组件包括第一力矩连接件、第二力矩连接件及第一力传感器组，第一力矩连接件上设有力矩测量腔室，第二力矩连接件的一端伸入力矩测量腔室内，第一力传感器组位于力矩测量腔室内且包括...

本技术涉及力传感器技术领域，公开一种耐高温力传感器，包括：金属座，设有液体槽和安装孔；金属波纹片和金属压环，金属波纹片位于金属座和金属压环之间，液体槽密封为液体腔；金属盖板，固定在金属波纹片上，金属盖板的底端设有与金属波纹片贴合的波纹凸...

本技术涉及力传感器技术领域，公开一种单孔密封式力传感器，包括密封座、密封凸台、密封膜、密封压环、受力件、压力芯片、绝缘座及导电件，密封凸台设置在密封座上且围成第一液压槽，密封膜设置在密封凸台上且形成第一液压腔，密封压环套设在密封座上且密...

本技术涉及力传感器技术领域，公开一种带塑料膜的力传感器，包括底座、塑料膜、设置在底座上的接插件以及固定在接插件上的压力芯片，塑料膜覆盖在底座上且两者形成液压腔，压力芯片用于检测液压腔内的液压，带塑料膜的力传感器还包括外圈固定件和顶部盖板...

本技术涉及力传感器技术领域，公开一种多孔密封式力传感器，包括：密封组件，包括安装座、第一密封凸台及第二密封凸台，形成第一液体槽和第二液体槽，第一密封凸台和第二密封凸台上分别设有第一连通孔和第二连通孔；密封膜，覆盖在第一液体槽和第二液体槽...

本技术涉及力传感器技术领域，公开一种力传感器，包括密封座、弹性密封件、绝缘座、导电件、压力芯片、抵压组件及受力块，密封座上设有密封槽、容纳槽及安装孔，安装孔与容纳槽连通，弹性密封件上设有密封凸起，弹性密封件覆盖在密封座上且密封凸起过盈装...

本技术涉及力传感器技术领域，公开一种带插销的力传感器，包括安装座、橡胶密封片、压环组件、插销、端盖、芯片座、连接件及压力芯片，安装座包括底座和液体凸台，液体凸台与底座围成液体槽，橡胶密封片罩设在液体凸台上，压环组件与橡胶密封片抵接，液体...

本发明涉及微机械结构技术领域，公开一种防过载冲击的微机械结构，包括：固定框；缓冲组件，包括变形壁、压阻区域及交换块组，变形壁固定在固定框上且两者围成隔离的阻尼腔和真空腔，至少部分变形壁沿第一方向和第二方向中的至少一个方向延伸，压阻区域形...

本发明涉及陀螺仪技术领域，公开一种单锚点MEMS陀螺仪，包括：中心锚点；中心连接组件，包括第一中心连接框和第二中心连接框，第一中心连接框位于中心锚点的外侧且两者相连，第二中心连接框位于第一中心连接框的外侧；四个质量块，沿第一方向分布的两...

本发明涉及三轴陀螺仪技术领域，公开一种集成式三轴陀螺仪，包括四个质量块，相邻两个质量块中的一个上设有抗冲击槽，另一个上设有抗冲击块；还包括两个驱动框，沿第二方向分布的质量块和与其正对的衬底形成的第一方向检测电极能够检测第一方向的角速度，...

本发明涉及三轴陀螺仪技术领域，公开一种抑制交叉轴耦合的三轴MEMS陀螺仪,包括驱动结构、第一方向检测结构、第二方向检测结构及第三方向检测结构，驱动结构包括驱动电极和驱动连接框，第一方向检测结构包括第一连接弹性件和第一质量块，第二方向检测...

本发明涉及气体传感器技术领域，公开一种MEMS气体传感器及其加工方法，加工方法包括：依次形成第二绝缘层、加热电极、第三绝缘层；在衬底上形成正对加热电极的散热腔；形成键合层；加工检测槽、容纳槽、第一连通通道和第二连通通道；在检测槽内形成敏...

本发明涉及力传感器技术领域，公开一种刹车力传感器，包括：固定环座，其上设有压力槽；硅橡胶环膜，覆盖在固定环座上，压力槽形成压力腔；接插件和压力芯片，压力芯片固定在接插件上，接插件包括绝缘座和导电件，导电件的一端伸出绝缘座，另一端与压力芯...

本发明涉及陀螺仪技术领域，公开一种带杠杆的陀螺仪，包括：四个质量块，沿第一方向和第二方向呈正交对称分布；驱动检测组件，位于沿第一方向分布的质量块的外侧，驱动检测组件包括驱动检测电极和驱动检测框，驱动检测电极的可动部分设置在驱动检测框上；...

本发明涉及单轴陀螺技术领域，公开一种

本发明涉及加速度传感器技术领域，公开一种MEMS全桥差分三轴加速度传感器及其加工方法，传感器包括：上部固定组件，包括上部电极板；中部电极组件，包括中心电极块和四个敏感组件，两个敏感组件沿X轴方向分布，且可动质量块与中心电极块和中部电极块...

本实用新型涉及传感器技术领域，公开一种气体与压阻式压力传感器，包括：基底，其上设有气体腔室和压力腔室；压敏电阻，形成在基底正对压力腔室的一侧；绝缘层，覆盖在压敏电阻上；若干个气敏检测单元，相邻两个气敏检测单元之间设有隔离槽，每个气敏检测...

本发明涉及气体传感器技术领域，公开一种气体传感器及其加工方法，加工方法包括步骤：在第一硅衬底上依次形成氧化层、第一氮化物层、粘附层及加热电极；在加热电极上形成第二氮化物层；在第二氮化物层上形成金层；去除部分金层、第二氮化物层、粘附层及第...