【技术实现步骤摘要】
本技术涉及力传感器,尤其涉及一种单孔密封式力传感器。
技术介绍
1、申请号为201910454627.7的测量固体间压力的力传感器通过测量液体的压力能够实现实时准确地测量固体压力,这种结构的力传感器具有较好的密封性,但是直径较大,无法安装在尺寸较小的器件上。此外,这种结构的力传感器受自身结构的限制,还无法适用于振动和冲击均比较大的环境。
技术实现思路
1、基于以上所述,本技术的目的在于提供一种单孔密封式力传感器,密封性好,适于振动和冲击均比较大的环境且能够安装在小型器件上。
2、为达上述目的,本技术采用以下技术方案:
3、一种单孔密封式力传感器,包括密封座、密封凸台、密封膜、密封压环、受力件、压力芯片、绝缘座及导电件,所述密封凸台设置在所述密封座上且两者围成第一液压槽,所述密封膜设置在所述密封凸台上且与所述第一液压槽形成第一液压腔,所述密封压环套设在所述密封座上且所述密封压环与所述密封膜贴合,所述密封膜、所述密封压环、所述密封凸台及所述密封座围成第二液压腔,所述密封凸台上设有连通所述第一液压腔和所述第二液压腔的连通孔,所述受力件固定在正对所述第一液压腔的所述密封膜上且所述受力件与所述密封压环间隔设置,所述绝缘座设置在所述密封座上,所述压力芯片设置在所述绝缘座上且能够检测所述第一液压腔内的液体的压力,所述导电件设置在所述绝缘座内,所述导电件的一端与所述压力芯片电连接,另一端伸出所述绝缘座。
4、作为一种单孔密封式力传感器的优选方案,所述密封座为密封
5、作为一种单孔密封式力传感器的优选方案,所述连通孔包括第一连通子孔和第二连通子孔,所述第一连通子孔设置在所述密封内凸台上且连通所述内环液压腔和所述第一液压腔,所述第二连通子孔设置在所述密封外凸台上且连通所述外环液压腔和所述第一液压腔。
6、作为一种单孔密封式力传感器的优选方案,所述密封内压环包括依次连接的抵接内压环、限位内压环和内套筒,所述抵接内压环、所述限位内压环及所述内套筒的内径依次减小,所述抵接内压环的下端面抵接在内圈的所述密封环膜上,所述限位内压环的下端面正对所述密封座的上端面设置,所述密封座套设在所述内套筒上。
7、作为一种单孔密封式力传感器的优选方案,所述密封外压环包括依次连接的抵接外压环、限位外压环和外套筒,所述抵接外压环、所述限位外压环及所述外套筒的内径依次减小,所述抵接外压环的下端面抵接在外圈的所述密封环膜上,所述限位外压环的下端面正对所述密封座的上端面设置,所述外套筒套设在所述密封座上。
8、作为一种单孔密封式力传感器的优选方案,所述受力件同时与所述密封内压环和所述密封外压环间隔设置。
9、作为一种单孔密封式力传感器的优选方案,所述密封座上设有与所述第一液压腔连通的充液孔,所述充液孔内设有堵头。
10、作为一种单孔密封式力传感器的优选方案,所述密封凸台与所述密封座一体成型设置。
11、作为一种单孔密封式力传感器的优选方案,所述密封座上设有与所述第一液压腔连通的固定孔,沿背离所述第一液压腔的方向,所述固定孔的直径逐渐减小,所述绝缘座包括绝缘固定座,所述绝缘固定座设置在所述固定孔内。
12、作为一种单孔密封式力传感器的优选方案,所述绝缘座还包括绝缘连接柱,所述绝缘连接柱的直径小于所述绝缘固定座小端的直径。
13、本技术的有益效果为:
14、本技术公开的单孔密封式力传感器,体积小,能够安装在小型器件上,当受力件受到外界环境的压力时,受力件推动密封膜向下发生轻微的凹陷,第一液压腔内的液体受迫有通过连通孔流向第二液压腔的趋势,第二液压腔内的液体挤压密封膜,液体对密封膜的压力增加,密封膜紧贴在密封压环上,形成自锁效果,密封膜与密封压环之间的密封性增加,由于压力芯片安装在绝缘座上,并通过设置在绝缘座内的导电件将压力芯片检测到的压力信号向外输出,导电件不易损坏,因此,该单孔密封式力传感器适于安装在振动和冲击均比较大的环境。
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1.一种单孔密封式力传感器,其特征在于,包括密封座、密封凸台、密封膜、密封压环、受力件、压力芯片、绝缘座及导电件,所述密封凸台设置在所述密封座上且两者围成第一液压槽,所述密封膜设置在所述密封凸台上且与所述第一液压槽形成第一液压腔,所述密封压环套设在所述密封座上且所述密封压环与所述密封膜贴合,所述密封膜、所述密封压环、所述密封凸台及所述密封座围成第二液压腔,所述密封凸台上设有连通所述第一液压腔和所述第二液压腔的连通孔,所述受力件固定在正对所述第一液压腔的所述密封膜上且所述受力件与所述密封压环间隔设置,所述绝缘座设置在所述密封座上,所述压力芯片设置在所述绝缘座上且能够检测所述第一液压腔内的液体的压力,所述导电件设置在所述绝缘座内,所述导电件的一端与所述压力芯片电连接,另一端伸出所述绝缘座。
2.根据权利要求1所述的单孔密封式力传感器,其特征在于,所述密封座为密封环座,所述密封膜为密封环膜,所述密封凸台包括密封内凸台和密封外凸台,所述密封外凸台位于所述密封内凸台的外侧,所述密封内凸台、所述密封外凸台及所述密封座围成所述第一液压槽,所述密封压环包括密封内压环和密封外压环,所述
3.根据权利要求2所述的单孔密封式力传感器,其特征在于,所述连通孔包括第一连通子孔和第二连通子孔,所述第一连通子孔设置在所述密封内凸台上且连通所述内环液压腔和所述第一液压腔,所述第二连通子孔设置在所述密封外凸台上且连通所述外环液压腔和所述第一液压腔。
4.根据权利要求2所述的单孔密封式力传感器,其特征在于,所述密封内压环包括依次连接的抵接内压环、限位内压环和内套筒,所述抵接内压环、所述限位内压环及所述内套筒的内径依次减小,所述抵接内压环的下端面抵接在内圈的所述密封环膜上,所述限位内压环的下端面正对所述密封座的上端面设置,所述密封座套设在所述内套筒上。
5.根据权利要求2所述的单孔密封式力传感器,其特征在于,所述密封外压环包括依次连接的抵接外压环、限位外压环和外套筒,所述抵接外压环、所述限位外压环及所述外套筒的内径依次减小,所述抵接外压环的下端面抵接在外圈的所述密封环膜上,所述限位外压环的下端面正对所述密封座的上端面设置,所述外套筒套设在所述密封座上。
6.根据权利要求2所述的单孔密封式力传感器,其特征在于,所述受力件同时与所述密封内压环和所述密封外压环间隔设置。
7.根据权利要求1所述的单孔密封式力传感器,其特征在于,所述密封座上设有与所述第一液压腔连通的充液孔,所述充液孔内设有堵头。
8.根据权利要求1所述的单孔密封式力传感器,其特征在于,所述密封凸台与所述密封座一体成型设置。
9.根据权利要求1所述的单孔密封式力传感器,其特征在于,所述密封座上设有与所述第一液压腔连通的固定孔,沿背离所述第一液压腔的方向,所述固定孔的直径逐渐减小,所述绝缘座包括绝缘固定座,所述绝缘固定座设置在所述固定孔内。
10.根据权利要求9所述的单孔密封式力传感器,其特征在于,所述绝缘座还包括绝缘连接柱,所述绝缘连接柱的直径小于所述绝缘固定座小端的直径。
...【技术特征摘要】
1.一种单孔密封式力传感器,其特征在于,包括密封座、密封凸台、密封膜、密封压环、受力件、压力芯片、绝缘座及导电件,所述密封凸台设置在所述密封座上且两者围成第一液压槽,所述密封膜设置在所述密封凸台上且与所述第一液压槽形成第一液压腔,所述密封压环套设在所述密封座上且所述密封压环与所述密封膜贴合,所述密封膜、所述密封压环、所述密封凸台及所述密封座围成第二液压腔,所述密封凸台上设有连通所述第一液压腔和所述第二液压腔的连通孔,所述受力件固定在正对所述第一液压腔的所述密封膜上且所述受力件与所述密封压环间隔设置,所述绝缘座设置在所述密封座上,所述压力芯片设置在所述绝缘座上且能够检测所述第一液压腔内的液体的压力,所述导电件设置在所述绝缘座内,所述导电件的一端与所述压力芯片电连接,另一端伸出所述绝缘座。
2.根据权利要求1所述的单孔密封式力传感器,其特征在于,所述密封座为密封环座,所述密封膜为密封环膜,所述密封凸台包括密封内凸台和密封外凸台,所述密封外凸台位于所述密封内凸台的外侧,所述密封内凸台、所述密封外凸台及所述密封座围成所述第一液压槽,所述密封压环包括密封内压环和密封外压环,所述密封内压环与所述密封内凸台对应,所述密封内压环、所述密封内凸台及所述密封座围成内环液压腔,所述密封外压环与所述密封外凸台对应,所述密封外压环、所述密封外凸台及所述密封座围成外环液压腔,所述内环液压腔和所述外环液压腔组成所述第二液压腔。
3.根据权利要求2所述的单孔密封式力传感器,其特征在于,所述连通孔包括第一连通子孔和第二连通子孔,所述第一连通子孔设置在所述密封内凸台上且连通所述内环液压腔和所述第一液压腔,所述第二连通子孔设置在所...
【专利技术属性】
技术研发人员:熊万里,柳俊文,史晓晶,朱彤童,
申请(专利权)人:南京元感微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:
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