【技术实现步骤摘要】
本技术涉及力传感器，尤其涉及一种耐高温力传感器。
技术介绍
1、力传感器能够将所要检测的压力信号转化为电信号，测量压力时一般采用应变片式力传感器或者封装后的力传感器。应变片式力传感器通过粘接在所要测量的器件的基底上进行测量，容易产生蠕变，会承受一部分压力导致测量不准，不适于长期测量。现有的封装后的力传感器受自身结构的限制，大量程的力传感器体积较大，无法安装在小型器件上，而小量程的力传感器虽然体积较小，但是无法适用于有较大量程需求的器件，此外，这种结构的力传感器所能承受的最高温度较低，无法适用于高温环境。
技术实现思路
1、基于以上所述，本技术的目的在于提供一种耐高温力传感器，能够在较高的环境温度下正常工作，不会产生蠕变，体积小，利于结构的小型化设置。
2、为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
3、一种耐高温力传感器，包括：
4、金属座，其上设有液体槽和与所述液体槽连通的安装孔；
5、金属波纹片和金属压环，所述金属波纹片位于所述金属座和所述金属压环之间，所述金属波纹片将所述液体槽密封为液体腔；
6、金属盖板，固定在所述金属波纹片上，所述金属盖板的底端设有与所述金属波纹片贴合的波纹凸起和波纹凹槽；
7、接插件，设置在所述安装孔内，所述接插件包括绝缘座和设置在所述绝缘座上的导电件，所述导电件的一端伸出所述绝缘座；
8、压力芯片，固定在所述接插件上，所述压力芯片的金属pad与所述导电件的另一端电连接，所述
9、作为一种耐高温力传感器的优选方案，所述金属座上设有与所述液体腔连通的注液孔，所述注液孔内设有密封塞。
10、作为一种耐高温力传感器的优选方案，所述波纹凸起为环形正弦函数凸起，所述波纹凹槽为环形正弦函数凹槽，所述环形正弦函数凸起和所述环形正弦函数凹槽组成环形正弦函数曲线结构，所述环形正弦函数曲线结构的个数为多个，多个所述环形正弦函数曲线结构同心分布。
11、作为一种耐高温力传感器的优选方案，所述金属座为环形座，所述金属压环包括金属内压环和金属外压环，所述金属外压环位于所述环形座的外圈，所述金属内压环位于所述环形座的内圈，所述金属内压环焊接在所述金属波纹片上。
12、作为一种耐高温力传感器的优选方案，所述环形座的内壁上设有定位槽，所述金属内压环的内圈设有与所述定位槽对应的定位凸台。
13、作为一种耐高温力传感器的优选方案，所述金属外压环焊接在所述金属波纹片上。
14、作为一种耐高温力传感器的优选方案，所述金属盖板粘接或者焊接在所述金属波纹片上。
15、作为一种耐高温力传感器的优选方案，所述金属盖板的中心设有贯穿设置的连通孔，所述连通孔包括第一连通子孔和第二连通子孔，所述第一连通子孔的直径等于所述环形座的内径，所述金属内压环伸入所述第二连通子孔内。
16、作为一种耐高温力传感器的优选方案，所述金属波纹片为环形膜，所述环形膜的外圈位于所述环形座的外圈和所述金属外压环之间，所述环形膜的内圈位于所述环形座的内圈和所述金属内压环之间。
17、作为一种耐高温力传感器的优选方案，所述绝缘座上设有安装槽，所述导电件的另一端伸入所述安装槽内，所述压力芯片固定在所述安装槽内。
18、本技术的有益效果为：本技术公开的耐高温力传感器，体积小，利于结构的小型化设置，由于金属座、金属波纹片、金属压环及金属盖板均由金属制成，具有较强的抗蠕变能力，金属座和金属压环之间的金属波纹片能够将液体槽密封为液体腔，检测压力时，作用在金属盖板上的作用力通过金属波纹片传递给液体腔内的液体，由于液体不可压缩，液体能够将压力作用在压力芯片上，实现对压力的检测，增设的压力芯片能承受较高的工作温度，利于压力的检测。
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1.一种耐高温力传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的耐高温力传感器，其特征在于，所述金属座上设有与所述液体腔连通的注液孔，所述注液孔内设有密封塞。
3.根据权利要求1所述的耐高温力传感器，其特征在于，所述波纹凸起为环形正弦函数凸起，所述波纹凹槽为环形正弦函数凹槽，所述环形正弦函数凸起和所述环形正弦函数凹槽组成环形正弦函数曲线结构，所述环形正弦函数曲线结构的个数为多个，多个所述环形正弦函数曲线结构同心分布。
4.根据权利要求1所述的耐高温力传感器，其特征在于，所述金属座为环形座，所述金属压环包括金属内压环和金属外压环，所述金属外压环位于所述环形座的外圈，所述金属内压环位于所述环形座的内圈，所述金属内压环焊接在所述金属波纹片上。
5.根据权利要求4所述的耐高温力传感器，其特征在于，所述环形座的内壁上设有定位槽，所述金属内压环的内圈设有与所述定位槽对应的定位凸台。
6.根据权利要求4所述的耐高温力传感器，其特征在于，所述金属外压环焊接在所述金属波纹片上。
7.根据权利要求4所述的耐高温力传感器，其特
8.根据权利要求4所述的耐高温力传感器，其特征在于，所述金属盖板的中心设有贯穿设置的连通孔，所述连通孔包括第一连通子孔和第二连通子孔，所述第一连通子孔的直径等于所述环形座的内径，所述金属内压环伸入所述第二连通子孔内。
9.根据权利要求4所述的耐高温力传感器，其特征在于，所述金属波纹片为环形膜，所述环形膜的外圈位于所述环形座的外圈和所述金属外压环之间，所述环形膜的内圈位于所述环形座的内圈和所述金属内压环之间。
10.根据权利要求1所述的耐高温力传感器，其特征在于，所述绝缘座上设有安装槽，所述导电件的另一端伸入所述安装槽内，所述压力芯片固定在所述安装槽内。
...【技术特征摘要】
1.一种耐高温力传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的耐高温力传感器，其特征在于，所述金属座上设有与所述液体腔连通的注液孔，所述注液孔内设有密封塞。
3.根据权利要求1所述的耐高温力传感器，其特征在于，所述波纹凸起为环形正弦函数凸起，所述波纹凹槽为环形正弦函数凹槽，所述环形正弦函数凸起和所述环形正弦函数凹槽组成环形正弦函数曲线结构，所述环形正弦函数曲线结构的个数为多个，多个所述环形正弦函数曲线结构同心分布。
4.根据权利要求1所述的耐高温力传感器，其特征在于，所述金属座为环形座，所述金属压环包括金属内压环和金属外压环，所述金属外压环位于所述环形座的外圈，所述金属内压环位于所述环形座的内圈，所述金属内压环焊接在所述金属波纹片上。
5.根据权利要求4所述的耐高温力传感器，其特征在于，所述环形座的内壁上设有定位槽，所述金属内压环的内圈设有与所述定位槽对应的...
【专利技术属性】
技术研发人员：张一鸣，柳俊文，史晓晶，熊万里，
申请(专利权)人：南京元感微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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