【技术实现步骤摘要】
本技术涉及掩模版检测，尤其涉及一种自动化掩模检测系统。
技术介绍
1、掩模版是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。现有的掩模版检测产品通常配备一个独立的机械手传输单元，同时配备一个用于光学检测的载台，成本较高；同时，由于机械手涉及到与载台的交接，需要对机械手进行一个复杂的标定过程，从而保证机械手相对载台是直进直出运动，这对整机集成和检测效率有明显的影响。
2、为此，我们提出一种自动化掩模检测系统。
技术实现思路
1、本技术提供了一种自动化掩模检测系统，以降低检测成本，提高检测系统的集成效率和检测效率。
2、根据本技术的一方面，提供了一种自动化掩模检测系统，用于检测掩模版；所述自动化掩模检测系统包括：运动平台、导轨、机械手和检测装置；
3、所述导轨、所述机械手和所述检测装置均位于所述运动平台；所述机械手包括手叉和支撑底座；所述手叉用于夹取被检测的所述掩模版；
4、所述导轨包括沿第一方向延伸的第一导轨和沿第二方向延伸的第二导轨；所述第二导轨位于所述第一导轨上，且所述第二导轨能够沿所述第一方向移动；所述机械手位于所述第二导轨上，且所述机械手能够沿所述第二方向移动；其中，所述第一方向与所述第二方向相交；
5、所述自动化掩模检测系统还包括检测工位；所述机械手能够通过所述导轨，移动所述掩模版至所述检测工位；所述检测装置能够对位于所述检测工位的所述掩模版进行检测。
6、可选的，所述检测装置包括光学检测单元；
<...【技术保护点】
1.一种自动化掩模检测系统，其特征在于，用于检测掩模版；所述自动化掩模检测系统包括：运动平台、导轨、机械手和检测装置；
2.根据权利要求1所述的自动化掩模检测系统，其特征在于，所述检测装置包括光学检测单元；
3.根据权利要求1所述的自动化掩模检测系统，其特征在于，所述检测装置包括条码扫描单元；所述条码扫描单元包括扫描器和方向校正器；所述方向校正器包括转台和旋转轴；
4.根据权利要求1所述的自动化掩模检测系统，其特征在于，所述检测装置包括风刀吹扫单元；所述风刀吹扫单元包括出风口；
5.根据权利要求1所述的自动化掩模检测系统，其特征在于，所述支撑底座包括支撑旋转轴；所述支撑旋转轴用于带动所述手叉旋转。
6.根据权利要求5所述的自动化掩模检测系统，其特征在于，所述运动平台包括旋转工位和旋转到位传感器；所述旋转到位传感器位于所述旋转工位；
7.根据权利要求1所述的自动化掩模检测系统，其特征在于，所述支撑底座包括垂向轴；所述垂向轴用于带动所述手叉上/下移动。
8.根据权利要求7所述的自动化掩模检测系统，其特
9.根据权利要求8所述的自动化掩模检测系统，其特征在于，所述运动平台还包括物料工位和物料到位传感器；所述物料到位传感器位于所述物料工位；所述手叉能够在所述支撑底座位于所述物料工位时，夹取/松开所述掩模版；
10.根据权利要求9所述的自动化掩模检测系统，其特征在于，所述准备工位包括物料准备工位；所述准备到位传感器包括物料准备到位传感器；所述物料准备到位传感器位于所述物料准备工位；
...【技术特征摘要】
1.一种自动化掩模检测系统，其特征在于，用于检测掩模版；所述自动化掩模检测系统包括：运动平台、导轨、机械手和检测装置；
2.根据权利要求1所述的自动化掩模检测系统，其特征在于，所述检测装置包括光学检测单元；
3.根据权利要求1所述的自动化掩模检测系统，其特征在于，所述检测装置包括条码扫描单元；所述条码扫描单元包括扫描器和方向校正器；所述方向校正器包括转台和旋转轴；
4.根据权利要求1所述的自动化掩模检测系统，其特征在于，所述检测装置包括风刀吹扫单元；所述风刀吹扫单元包括出风口；
5.根据权利要求1所述的自动化掩模检测系统，其特征在于，所述支撑底座包括支撑旋转轴；所述支撑旋转轴用于带动所述手叉旋转。
6.根据权利要求5所述的自动化掩模检测系统，其特征在于，所述运动平台包括旋转工位和旋转到位传感器；所述旋转...
【专利技术属性】
技术研发人员：江汉，周昊，
申请(专利权)人：合肥御微半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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