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南京大学专利技术
南京大学共有17164项专利
一种改善蓝宝石衬底上GaN厚膜完整性的方法技术
改善蓝宝石衬底上GaN厚膜完整性的方法,采用HVPE工艺,包括下述步骤:1)采用的衬底是蓝宝石或Si,2)将上述衬底经过清洗、吹干后,放入HVPE生长系统中,先生长低温GaN缓冲层,缓冲层生长温度550-750℃,生长时间30-300s...
高分辨率深能级瞬态谱仪的设置方法及仪器技术
属于半导体深能级谱的测量仪器,已有的谱仪测得的谱分辨率低.本发明提出了高分辨率组合率窗系列,设计了多种方案的高分辨率组合率窗讯号处理仪,以及用此处理仪而得到的高分辨率深能级瞬态(电容)谱仪等多种高分辨率深能级谱仪.本发明仪器所得实验谱线...
一种获得半导体异质结与超晶格材料的方法及设备技术
本发明涉及在半导体基质材料上获得原子级晶格材料的方法及专用生长设备。在一透明室内注入气相材料,并维持10+[-2]托以下的真空条件,采用灯加热使气相材料反应在基底表面反应淀积,反应淀积温度在气相材料、热解温度或其它临界反应温度之上,重复...
可见光致发光的硅量子点制备方法技术
本发明涉及制备光致可见发光的硅量子材料及其应用。本发明用玻璃做衬底材料,由硅烷(SiH↓[4])和氨气(NH↓[3])做气体源;利用等离子体化学气相淀积(PECVD)技术,制备出各种厚度的a-Si:H/a-SiN↓[x]:H多层膜。尔后...
一种获得低表面分凝硅/锗硅异质结构的外延生长方法技术
一种掺杂或不掺杂的CVD外延生长低表面分凝硅/锗硅异质结构的方法,包括生长量子阱、超晶格和其它由异质结构组成的多层结构,其特征是在生长过程中,采用氢气稀释生长源气,氢气流量为生长源气总流量的2-40倍。本方法可以得明显低表面分凝的硅/锗...
声学超晶格材料的制备和超高频声学器件制造技术
本发明属新材料和新技术领域,在衬底材料上生长压电材料,选择压电材料(包括LiNbO↓[3]、LiTaO↓[3]、PbTiO↓[3]、BaTiO↓[3]、Li↓[3]BO↓[7]、SiO↓[2]、ZnO、PZT、TeO↓[2]、Bi↓[1...
高强度导电性聚噻吩薄膜、薄膜二极管及其制备方法技术
高强度导电性聚噻吩、聚噻吩二极管及其在非贵金属基质上的制备方法,属于导电高分子领域。将噻吩溶于重蒸过的三氟化硼乙醚中,加入微量水,Ag/AgCl为参比电极,工作电极和对电极都可为下述金属或合金的一种或两种(不锈钢、铝、锌、铅、镍、铂、金...
一种用SiGe/Si异质结构制备硅量子线的方法技术
一种利用SiGe/Si异质结构制备硅量子线的方法,其特征是在硅单晶上生长Si/SiGe/Si异质薄膜,光刻和反应离子刻蚀形成沟槽;采用选择化学腐蚀去除SiGe层并形成硅线,通过低温热氧化过程对硅线进行细化和光滑达到最终所希望的尺寸,同时...
高强度巨磁阻导电聚合膜及其制备方法技术
高强度巨磁阻导电聚合物复合膜及其制备方法,采用三电极电化学电解池,分别以不锈钢片和铝合金片作工作电极,在工作电极上电化学聚合聚吡咯膜或聚(3-甲基吡咯)膜。再以包裹着上述聚合物膜的电极为工作电极,在硫酸铜、氯化钴、氯化镍的混合电解质溶液...
一种采用低电场诱导控制湿化学法制备的薄膜取向的方法技术
一种采用低电场诱导控制湿化学法制备的铋系和铅系薄膜取向的方法,通过在湿化学法制备薄膜的后续热处理工艺中,对湿膜热分解转变成无定型态的干膜,在后续的高温退火结晶过程中,引入直流低电场,来实现对薄膜的取向控制。本发明用低电场诱导几种不同的薄...
锗/硅复合纳米晶粒浮栅结构MOSFET存储器制造技术
锗/硅复合纳米晶粒浮栅结构MOSFET存储器,即金属-氧化物-半导体存储器,以锗/硅复合纳米晶粒镶嵌在二氧化硅中浮栅存储器结构,本发明提出了一种采用锗/硅复合纳米晶粒替代硅纳米晶粒作为NOSFET存储器,即电荷存储单元,使其在较快的擦写...
具有巨磁电阻效应的锌铁氧体材料及其制备方法技术
具有巨磁电阻效应的锌铁氧体材料及其制备方法是一种以锌、铁为基本原材料构成的巨磁电阻效应材料的方法,该材料为Zn↓[x]Fe↓[3-x]O↓[4],其中X的取值范围是0.05≤x≤0.95,其制备方法是采用溶胶-凝胶制备多晶Zn↓[x]F...
一种控制氮化镓(GaN)极性的方法技术
一种控制氮化镓(GaN)极性的方法,尤其是在蓝宝石表面生长氮化镓时控制氮化镓(GaN)极性的生长方法,在蓝宝石衬底上生长氮化镓,生长系统的生长温度:低温区,850-900℃,高温区在1050-1100℃范围内;将HCl(源HCl)/氮气...
一种基于Ⅲ族氮化物异质结构极化效应的高响应光电探测器制造技术
基于Ⅲ族氮化物异质结构极化效应的高响应光导型探测器,在硅衬底或兰宝石衬底材料上生长下述应变异质结构的材料:以AlN为缓冲层并外延生长GaN,然后在GaN层上生长Al↓[x]Ga↓[1-x]N/GaN/Al↓[y]Ga↓[1-y]N应变异...
高Tc铁电薄膜取向控制生长方法及铁电存储器原型器件技术
高T↓[C]铁电薄膜取向控制生长方法及铁电存储器原型器件,利用脉冲激光沉积方法(PLD)在衬底上生长高T↓[C]铁电薄膜,生长的铁电薄膜主要为Bi↓[3]TiNbO↓[9](BTN)和Bi↓[3]TiTaO↓[9](BTT),在薄膜的生...
获得大面积高质量GaN自支撑衬底的方法技术
获得大面积高质量GaN自支撑衬底的方法,首先在蓝宝石衬底上横向外延获得低位错密度GaN薄膜;然后在ELO GaN薄膜上进行氢化物气相外延,获得大面积、低位错密度的GaN厚膜;采用激光扫描辐照剥离技术,将GaN厚膜从蓝宝石衬底上剥离下来...
AI*Ga*N/GaN异质结的铁电体/半导体存贮器的制法制造技术
基于Al↓[x]Ga↓[1-x]N/GaN异质结的铁电体/半导体存贮器结构及其制法,在蓝宝石衬底上首先用MOCVD技术生长Al↓[x]Ga↓[1-x]N/GaN调制掺杂异质结构,然后在Al↓[x]Ga↓[1-x]N上用PLD技术生长PZ...
离子注入法制备AlN基稀释磁性半导体材料的方法技术
离子注入法制备AlN基稀释磁性半导体薄膜材料的方法,将磁性离子如Mn及Fe、Co或Ni等注入AlN半导体薄膜中,即用离子注入的方法以150~250keV的能量注入磁性离子,然后在850-900℃、NH↓[3]气氛条件下退火处理。DMS离...
激光剥离制备自支撑氮化镓衬底的方法技术
激光剥离制备自支撑氮化镓衬底的方法,采用准分子激光器:激光波长所对应的能量小于蓝宝石带隙能,但是大于GaN的带隙能,激光辐照透过蓝宝石衬底,辐照蓝宝石-氮化镓界面处的GaN,然后加热或弱酸腐蚀,将GaN和蓝宝石分离开来,得到GaN自支撑...
溶胶-凝胶法制备ZnO基稀释磁性半导体制造技术
溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备ZnO基稀释磁性半导体的方法:采用溶胶-凝胶法并结合掺杂铁磁性离子如Fe、Co或Mn、Ni等制备ZnO基稀释磁性半导体薄膜:先制备ZnO胶体溶液,将一定量分析纯醋酸锌和磁性金属盐,铁和锌的原子浓度比为1...
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