本实用新型提供一种镀膜真空室的抽气防护装置，包括防护挡板、具有防护网罩的防护罩和设于所述防护挡板与所述防护罩之间且用于调节所述防护罩与所述防护挡板之间的距离的调节组件。本实用新型采用上述结构，在进行真空抽气，镀膜真空室内的空气只能通过防...

本实用新型提供一种连续镀膜生产线用的基片架回转限位装置，包括设于回转架本体一侧的传送轮和设于所述传送轮顶部的磁导轨，所述磁导轨的两内侧设有磁性相同的磁铁，所述传送轮上设有供基片架本体卡入的卡环。本实用新型采用上述结构，基片架本体的顶部通...

本实用新型提供一种用于连续镀膜生产线上的基片架回转设备，包括侧部设有分别供基片架本体进入和送出的密封输入口和密封输出口的真空回转室、用于对真空回转室进行抽真空的抽气装置以及可转动地设于真空回转室内的回转驱动装置，密封输入口和密封输出口设...

本实用新型提供一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置，包括回转架、设于回转架侧部且用于驱动基片架本体送入或送出真空回转室的传送组件以及设于回转架的底部且用于驱动回转架转动180

本实用新型提供一种镀膜生产线用的基片架存储机构，包括存储架、设于存储架的前后侧且用于承托基片架的支撑组件、设于存储架的顶部且用于供基片架抵靠并对其进行导向的上挡边导向装置以及设于存储架的下部且可驱动基片架沿Z轴和Y轴运动的传送装置，支撑...

本实用新型提供一种用于真空镀膜的雾化装置，包括壳体和设于壳体内的雾化器本体，雾化器本体的两端分别设有通液接口和雾化喷头，通液接口用于通入供雾化器本体进行雾化的液态有机镀膜材料，雾化器本体上设有用于增压的增压接头。本发明先对液态有机镀膜材...

本发明提供一种连续镀膜生产线用的基片架回转驱动装置，包括回转架、设于回转架侧部且用于驱动基片架本体送入或送出真空回转室的传送组件以及设于回转架的底部且用于驱动回转架转动180

本发明提供一种用于连续镀膜生产线上的基片架回转设备，包括侧部设有分别供基片架本体进入和送出的密封输入口和密封输出口的真空回转室、用于对真空回转室进行抽真空的抽气装置以及可转动地设于真空回转室内的回转驱动装置，密封输入口和密封输出口设于真...

本发明提供一种用于真空镀膜的雾化装置，包括壳体和设于壳体内的雾化器本体，雾化器本体的两端分别设有通液接口和雾化喷头，通液接口用于通入供雾化器本体进行雾化的液态有机镀膜材料，雾化器本体上设有用于增压的增压接头。本发明先对液态有机镀膜材料的...

本实用新型属于自动运输线的技术领域，尤其涉及应用于自动生产线中重载设备上的自动平移机构。包括支架、设于支架上可与设备活动门固定连接的门载小车、设于所述支架与门载小车之间的导向结构以及设于支架上用于驱动所述小车沿导向结构往复运动的驱动机构...

本实用新型属于自动运输线的技术领域，尤其涉及应用于自动生产运输线上可翻转及自动传输的装置。包括支架、设于支架上的翻转架以及可驱动所述翻转架相对所述支架转动的翻转架驱动机构，所述支架上设有可与运输线上卧式运输的工件对接的第一输送机构、以及...

本申请涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种旋转镀膜机构及其应用的连续式镀膜生产线，旋转镀膜机构包括可装夹基板工件的基片架，基片架上设置有可随基片架滑动的滚筒组件、以及带动滚筒组件转动的传动机构，滚筒组件包括转动本体，转动本体上设有用于支撑圆筒...

本申请涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种单体气化装置及其应用的镀膜设备，单体气化装置包括箱体，箱体内设有用于封装液态单体气的单体容器以及用于对单体容器恒温加热的恒温加热系统，单体容器上还设有出气管，通过恒温加热系统对单体容器加热使液态单体气...

本申请涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种卷绕膜的张力阻断机构及其应用的卷绕镀膜设备，张力阻断机构包括支撑板，还包括设于支撑板上的压紧装置，压紧装置包括设于支撑板上的连接支架、张力调节装置以及转动设置在连接支架上并位于冷却辊上方的压辊，连接支...

本实用新型公开了均匀布气的布气装置及真空磁控溅射镀膜设备，包括磁控溅射靶和与所述磁控溅射靶配备布置的均匀布气的布气装置，所述均匀布气的布气装置包括中空的装置本体，所述装置本体上设有用于排出工艺气体的出气孔，所述出气孔上可分离地连接有用于...

本发明涉及真空卷绕镀膜张力控制的技术领域，尤其涉及一种基于高真空环境下卷绕镀膜机工艺过程张力控制系统，包括初始数据设置模块、张力数据采集模块、速度数据采集模块、均值计算模块、系数计算模块、磁粉输出量计算模块以及磁粉离合器控制模块，本发明...

本发明涉及真空卷绕镀膜张力控制的技术领域，尤其涉及一种基于高真空环境下卷绕镀膜机工艺过程张力控制方法，设置电极辊初始张力、薄膜走带线速度、电极辊直径以及磁粉离合器的初始输出量；检测过程张力和电极辊转动速度，计算电极辊前后张力在前一个测量...

本实用新型属于镀膜生产线上检测的技术领域，尤其涉及应用于膜面检测装置上的可调节角度光源机构。包括用于安装光源组件的固定架、设于所述固定架两侧且连接在膜面检测装置上的调节机构，所述调节机构包括可相对膜面检测装置转动以调节所述固定架角度的角...

本实用新型属于镀膜生产线上检测的技术领域，尤其涉及应用于镀膜收卷装置上的压辊机构。包括支撑辊、连接在支撑辊上的摆臂，所述摆臂活动连接在收卷装置的机架上，且压辊机构还包括设于机架上于驱动所述摆臂转动以带动支撑辊相对收卷装置的收卷辊运动的驱...