一种镀膜生产线用的基片架存储机构制造技术

技术编号:33313733 阅读:20 留言:0更新日期:2022-05-06 12:27
本实用新型专利技术提供一种镀膜生产线用的基片架存储机构,包括存储架、设于存储架的前后侧且用于承托基片架的支撑组件、设于存储架的顶部且用于供基片架抵靠并对其进行导向的上挡边导向装置以及设于存储架的下部且可驱动基片架沿Z轴和Y轴运动的传送装置,支撑组件上设有可供基片架的底侧卡入的卡槽,上挡边导向装置上设有可供基片架的顶侧抵靠并在基片架沿Y轴运动时对其进行导向的导向轮。传送装置可驱动基片架送入或送出存储架,上挡边导向装置的导向轮供基片架抵靠并对其进行导向,从而实现基片架的自动存储,本实用新型专利技术与镀膜生产线配合,可直接将基片架在生产线中运输,其结构简单,提高了整条镀膜生产线的自动化程度,节省人力,提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜生产线用的基片架存储机构


[0001]本技术涉及真空镀膜领域,尤其是一种镀膜生产线用的基片架存储机构。

技术介绍

[0002]在连续式镀膜生产线上,产品需要装载在基片架上,然后通过基片架在整条生产线中的传输,以完成产品所需膜层的制备,由于基片架在镀膜的过程中,表面会有膜层材料附着在基片架上,经过一段时间的使用,由于附着物的增加,会影响产品的成膜质量,因此基片架需要进行定期的喷砂清洗处理,以处理掉表面的附着物。基于镀膜连续式生产线,不能因为基片架的喷砂维护等工作造成产线停产,一般基片架数量的基本保证是根据产线的需求量,采用一用一备的方式,即在生产线上使用一套,另外会备用一套,作为替换使用。
[0003]目前大多数的厂家对于备用的基片架,会集中摆放在车间或者仓库,没有专用的存储机构,基片架之间叠放或者放置不当,会导致基片架变形或者损坏基片架上的部件,从而影响基片架的正常使用。有一些厂家会有简单的存储机构,但是没有和生产线联动起来,需要借用人工搬运至产线或者存储机构,其劳动量过大,且随着产品的不断增大,基片架随之增大,人工搬运难度过大,安全性差,且目前同类产品主要由磁导向做导向槽,当需要存储多片乃至小量基片架的时候,其需要相同的结构多排堆叠,导致整体结构显得复杂,性价比低,安装时间长,加工周期久,搬运劳动强度大,自动化程度不高。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是提供自动化程度高且可提高生产效率的一种镀膜生产线用的基片架存储机构。
[0005]本技术的目的是这样实现的:
[0006]一种镀膜生产线用的基片架存储机构,包括存储架、设于所述存储架的前后侧且用于承托基片架的支撑组件、设于所述存储架的顶部且用于供基片架抵靠并对其进行导向的上挡边导向装置以及设于所述存储架的下部且可驱动基片架沿Z轴和Y轴运动的传送装置,所述支撑组件上设有可供基片架的底侧卡入的卡槽,所述上挡边导向装置上设有可供基片架的顶侧抵靠并在基片架沿Y轴运动时对其进行导向的导向轮。
[0007]本技术采用上述结构,传送装置可驱动基片架送入或送出存储架,过程中,上挡边导向装置的导向轮供基片架抵靠并对其进行导向,从而实现基片架的自动存储,本技术与镀膜生产线配合,可直接将基片架在生产线中运输,其结构简单,提高了整条镀膜生产线的自动化程度,节省了人力,大大提高了生产的效率。
[0008]如上所述的一种镀膜生产线用的基片架存储机构,所述支撑组件包括若干个沿X轴方向设置于所述存储架的前后侧的支撑块,每一所述支撑块上均设有所述卡槽,从而供基片架底侧的导杆卡接。
[0009]如上所述的一种镀膜生产线用的基片架存储机构,所述上挡边导向装置包括上挡板和若干组设于所述上挡板底部的导轮组,每一所述导轮组均设有若干个沿Y轴设置的所
述导向轮,配合卡槽,使得结构紧凑的存储架可存储多个基片架。
[0010]如上所述的一种镀膜生产线用的基片架存储机构,还包括可驱动所述传送装置沿X轴运动的平移装置,从而驱动传送装置在多个支撑块之间移动。
[0011]如上所述的一种镀膜生产线用的基片架存储机构,所述传送装置包括底座和可升降地设于所述底座上的升降座,所述底座上设有可驱动所述升降座沿Z轴运动的升降驱动装置,所述升降座上设有可承托基片架并驱动其沿Y轴运动的搬运装置。升降驱动装置驱动升降座沿Z轴运动,使得基片架可自动离开或卡入卡槽内,搬运装置驱动基片架沿Y轴运动以送入或送出存储架。
[0012]如上所述的一种镀膜生产线用的基片架存储机构,所述搬运装置包括设于所述升降座的一侧且用于承托并传送基片架的摩擦传送轮和设于所述升降座另一侧且用于驱动所述摩擦传送轮转动的驱动件,驱动件驱动摩擦传送轮转动以带动基片架沿Y轴运动。
[0013]如上所述的一种镀膜生产线用的基片架存储机构,所述驱动件为同步带传送组件,其干净、噪音小、同步性优良。
[0014]如上所述的一种镀膜生产线用的基片架存储机构,所述支撑组件在所述卡槽相对应的位置处设有用于感应是否放置有基片架的传感器,所述传送装置上设有可与所述传感器相互感应的感应器,从而实现基片架和传送装置的位置自动检测。
[0015]如上所述的一种镀膜生产线用的基片架存储机构,所述导向轮呈锥形,所述导轮组的组数等于所述卡槽的数量的一半,所述卡槽与所述导轮组相错开,从而适用超薄大尺寸的基片架。
[0016]如上所述的一种镀膜生产线用的基片架存储机构,所述导向轮呈圆柱状,所述导轮组的组数比所述卡槽的数量的一半多一组,所述卡槽正对于相邻两组所述导轮组之间的中心位置,从而适用小尺寸的基片架。
【附图说明】
[0017]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细说明,其中:
[0018]图1为本技术适用大尺寸的基片架时的结构示意图;
[0019]图2为本技术的所述支撑组件的结构示意图;
[0020]图3为本技术适用大尺寸的基片架时的上挡边导向装置的结构示意图;
[0021]图4为本技术所述传送装置的结构示意图之一;
[0022]图5为本技术所述传送装置的结构示意图之二;
[0023]图6为本技术适用小尺寸的基片架时的结构示意图;
[0024]图7为本技术适用小尺寸的基片架时的上挡边导向装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0025]一种镀膜生产线用的基片架存储机构,包括存储架1、设于存储架1的前后侧且用于承托基片架10的支撑组件2、设于存储架1的顶部且用于供基片架10抵靠并对其进行导向的上挡边导向装置3以及设于存储架1的下部且可驱动基片架10沿Z轴和Y轴运动的传送装置4,支撑组件2上设有可供基片架10的底侧卡入的卡槽21,上挡边导向装置3上设有可供基片架10的顶侧抵靠并在基片架10沿Y轴运动时对其进行导向的导向轮31。
[0026]支撑组件2包括若干个沿X轴方向设置于存储架1的前后侧的支撑块22,每一所述支撑块22上均设有所述卡槽21。优选的,卡槽21的截面呈V型。
[0027]上挡边导向装置3包括上挡板32和若干组设于上挡板32底部的导轮组33,每一所述导轮组33均(可转动地)设有若干个沿Y轴设置的所述导向轮31,从而保证导向轮31对基片架10支撑的稳定性。
[0028]上述的一种镀膜生产线用的基片架存储机构,还包括可驱动传送装置4沿X轴运动的平移装置5。平移装置5主要由伺服电机驱动,其通过减速机带动丝杆传动副实现直线往复移动。平移装置5安装于传送装置4的底部,丝套固定板与传送装置4实现连接,伺服电机通电后驱动传送装置4沿X轴移动,从而实现基片架10能够在多个工位(卡槽21)精准存放。
[0029]传送装置4包括底座41和可升降地设于底座41上的升降座42,底座41上设有可驱动升降座42沿Z轴运动的升降驱动装置43,升降座42上设有可承托基片架10并驱动其沿Y轴运动的搬运装置44。升降本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜生产线用的基片架存储机构,其特征在于包括存储架(1)、设于所述存储架(1)的前后侧且用于承托基片架(10)的支撑组件(2)、设于所述存储架(1)的顶部且用于供基片架(10)抵靠并对其进行导向的上挡边导向装置(3)以及设于所述存储架(1)的下部且可驱动基片架(10)沿Z轴和Y轴运动的传送装置(4),所述支撑组件(2)上设有可供基片架(10)的底侧卡入的卡槽(21),所述上挡边导向装置(3)上设有可供基片架(10)的顶侧抵靠并在基片架(10)沿Y轴运动时对其进行导向的导向轮(31)。2.根据权利要求1所述的一种镀膜生产线用的基片架存储机构,其特征在于所述支撑组件(2)包括若干个沿X轴方向设置于所述存储架(1)的前后侧的支撑块(22),每一所述支撑块(22)上均设有所述卡槽(21)。3.根据权利要求2所述的一种镀膜生产线用的基片架存储机构,其特征在于所述上挡边导向装置(3)包括上挡板(32)和若干组设于所述上挡板(32)底部的导轮组(33),每一所述导轮组(33)均设有若干个沿Y轴设置的所述导向轮(31)。4.根据权利要求3所述的一种镀膜生产线用的基片架存储机构,其特征在于还包括可驱动所述传送装置(4)沿X轴运动的平移装置(5)。5.根据权利要求1至4任一项所述的一种镀膜生产线用的基片架存储机构,其特征在于所述传送装置(4)包括底座(41)和可升降地设于所述底座(41)上的升降座...

【专利技术属性】
技术研发人员:程海军李献伟
申请(专利权)人:洛阳生波尔真空装备有限公司
类型:新型
国别省市:

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