本发明公开了一种恒定磁力预载机构及其控制方法，包括有安装底座、设置在安装底座上的高精度运动平台和滑块组合、设置在所述滑块组合上的磁力装置、连接所述高精度运动平台和磁力装置的钢丝绳、设置在安装底座顶部的滚轮组合以及用于测量高精度运动平台拉...

本发明提供了一种具有修整功能的液压主轴，所述具有修整功能的液压主轴包括电机、由所述电机带动转动的铁芯、与所述铁芯连接的液压轴头、用以装夹工件的卡盘、用以连接所述卡盘和所述铁芯的中转法兰、固定在所述中转法兰上且环绕所述卡盘设置的修整套、修...

本发明公开了一种可垂直运动的精密气浮转台，包括有垂向运动模块以及设置在所述垂向运动模块上的气浮转台，所述垂直运动模块与气浮转台同轴设置；所述气浮转台包括有支撑旋转体、被所述支撑旋转体包围的气浮轴承以及设置在所述气道轴承中部的电机组件；所...

本发明公开了一种气浮导轨上置的转台组合，包括有气浮转台以及设置在所述气浮转台上的气浮导轨，所述气浮转台与气浮导轨同轴设置；所述气浮转台包括有支撑旋转体、被所述支撑旋转体包围的气浮轴承、设置在所述气浮轴承中部的电机组件以及设置在所述电机组...

本实用新型涉及一种气浮导轨及应用气浮导轨的晶圆检测气浮运动平台，包括导轨机构、在所述导轨机构上设置的溜板机构、驱动所述溜板机构在所述导轨机构上移动的驱动机构，所述导轨机构与所述溜板机构间设有气浮腔，所述溜板机构上设有若干个节流孔，所述节...

本发明涉及一种用于分体式圆时栅快速同心装置及方法，其中同心装置包括大理石平台、设置在所述大理石平台上的吸盘、设置在所述吸盘上的定心杆、与所述定心杆配套同心的卡盘，当动子和定子放入所述定心杆时，所述卡盘将所述动子和所述定子进行导向定位，所...

本发明涉及一种高精密单点金刚石车床的数字孪生构建方法及系统，其中，数字孪生构建方法包括：获取单点金刚石车床实体特征参数以及几何关系；建立数字孪生3D模型；建立机床力学模型；建立加工切削力模型；基于数字孪生3D模型、机床力学模型以及加工切...

本实用新型提供了一种不同距离磁力测量装置，用以测量磁铁在不同距离的磁力大小，所述不同距离磁力测量装置包括与所述磁铁连接的拉杆、与拉杆远离所述磁铁一端连接的拉力传感器、与所述拉力传感器连接的拉手、用以检测所述拉杆移动距离的光栅尺、用以读取...

本实用新型涉及一种磁力可控的气浮导轨结构，属于气浮导轨领域，包括底座、设置在所述底座上的气浮导轨、设置在所述气浮导轨上的气浮滑块以及设置在所述气浮滑块下方的磁力组件，所述磁力组件对所述气浮滑块提供可调的吸力。本实用新型能够按照不同的气浮...

本实用新型涉及一种高阻尼气浮主轴，属于气浮主轴领域，包括固定座、设置在所述固定座上的轴套以及在所述轴套内部转动的主轴，所述固定座上设有进气口，所述固定座与所述轴体上设有若干进气通道，所述轴套上设有节流孔，气体通过所述进气口、所述进气通道...

本发明涉及一种自动化节流塞出气状况检测装置及检测方法，通过控制模块、与所述控制模块连接的人机交互模块、受所述控制模块控制的执行模块、探测所述节流塞位置信息的第一传感器、探测所述节流塞出气信息的第二传感器。所述执行模块包括基台，固定在所述...

本发明提供一种照射角度可调的落射光源及影像测量仪，所述落射光源包括中心设置有通孔的底板，底板上设置有若干以通孔为中心周向均布的发光机构，发光机构包括调节组件和灯珠组件，灯珠组件包括灯板座、可转动的设置于灯板座上的灯板、安装在灯板上的灯珠...

本发明涉及一种气液混合高转速低阻尼的旋转机构，包括旋转部和固定部，在所述旋转部与所述固定部的旋转配合部分设有油气分离槽，当所述旋转部相对于所述固定部进行高速旋转时，所述油气分离槽将融合在液压油内的气体释放，并作用在旋转配合部分表面，本发...

本发明提供一种照射角度可调的落射光源及影像测量仪，落射光源包括设置有通孔的底板，底板上设置有若干以通孔为中心周向均布的发光机构，发光机构包括调节组件和灯珠组件，灯珠组件包括灯板座、可转动的设置于灯板座上的灯板、安装在灯板上的灯珠，调节组...

本发明涉及一种节流塞自动化装配装置及装配方法，用于气浮或者液压轴承中节流塞的装配，将所述节流塞装配至轴套组件中的节流孔中。包括控制模块、与所述控制模块连接的人机交互模块、受所述控制模块控制的执行模块、向所述控制模块中输入所述节流塞以及所...

本发明提供了一种精密加工设备的控制方法，该控制方法包括以下步骤：获取X轴对应的跟随误差信号E

本发明提供了一种镜片固定装置，用以吸附镜片进行加工，所述镜片固定装置包括夹持件、吸附件、抽真空装置，所述吸附件用以与所述镜片的凹面或者凸面连接，所述夹持件上开设有与连通所述抽真空装置和所述吸附件的连通孔，所述吸附件采用石墨材料制得。本发...

本发明公开了一种气浮转台,涉及精密仪器领域。包括转台、导气轴承、主轴、底座，底座顶端与导气轴承底端固定连接，主轴安装于导气轴承内部，主轴与导气轴承间隙配合形成腔体，主轴顶端与转台固定连接；还包括电机，电机滑动连接于底座内部，电机动力输出...

本发明公开了一种磨削加工机床，涉及机加工技术领域，包括基座；调节部，调节部包括立柱和横梁，立柱的一端与基座固定连接，另一端与横梁转动连接；磨削部，磨削部包括驱动电机和磨削头，驱动电机滑动连接于横梁上，驱动电机的输出端与磨削头连接；夹持部...

本发明公开了一种刚度可调的气浮导轨，涉及超精密机械技术领域。包括导轨和溜板，导轨包括凹腔和支撑部，支撑部设置于凹腔顶部两侧，溜板包括水平部和垂直部，水平部与支撑部相平行，水平部与支撑部之间具有第一气膜间隙，垂直部设置于水平部底侧，凹腔底...