一种气浮导轨上置的转台组合制造技术

本发明专利技术公开了一种气浮导轨上置的转台组合，包括有气浮转台以及设置在所述气浮转台上的气浮导轨，所述气浮转台与气浮导轨同轴设置；所述气浮转台包括有支撑旋转体、被所述支撑旋转体包围的气浮轴承、设置在所述气浮轴承中部的电机组件以及设置在所述电机组件中部的气电混合滑环；将电机设置在气浮转台的中部，可以增大气浮转台的气浮面，增加了气浮转台的承载力和刚度，同时也增加了气浮转台抗电机干扰的能力，从而进一步提升了气浮转台的精度；气浮导轨设置在气浮转台上，可以将气浮导轨的尺寸和重量做小，不会影响气浮转台自身的精度；同时转台组合可进行回转及直线运动，以完成对复杂曲面的加工。完成对复杂曲面的加工。完成对复杂曲面的加工。

【技术实现步骤摘要】
一种气浮导轨上置的转台组合


[0001]本专利技术属于气浮转台
，涉及一种气浮导轨上置的转台组合。

技术介绍

[0002]气浮转台是把主轴以及转动平台在空气中悬浮起来，并可以稳定地高精度地旋转，这种悬浮效果是通过导入压缩空气来实现的，泄压的缝隙极小，保证了主轴以及转动平台的悬浮，该结构具有高速度，高精确度，长寿命，摩擦因数小，无磨损，不需要润滑油，卓越的速度控制性能，无噪音等优点。正因为气浮转台有这么多的优点，现在越来越多高精度的应用领域在使用。气浮转台由于其具有上述优点，广泛的应用于半导体行业晶圆、硅片等方面的检测以及机械等领域的加工，是一种非常重要的回转部件。
[0003]一般的气浮转台，厚度较厚，且无法上置直线运动平台，因此，目前的气浮转台在机械加工方面无法完成较复杂曲面的加工要求。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于针对上述现有技术存在的问题，提供一种气浮导轨上置的转台组合，包括有气浮转台以及设置在所述气浮转台上的气浮导轨，所述气浮转台与气浮导轨同轴设置；所述气浮转台包括有支撑旋转体、被所述支撑旋转体包围的气浮轴承、设置在所述气浮轴承中部的电机组件以及设置在所述电机组件中部的气电混合滑环。
[0005]进一步具体的，所述电机组件包括有从外到内依次设置的电机转子、电机定子以及传动轴。
[0006]进一步具体的，在所述传动轴上设置有光栅。
[0007]进一步具体的，在所述气浮轴承上设置转台气道，所述转台气道包括有轴向转台气道以及径向转台气道，所述轴向转台气道平行于所述气浮轴承的轴线，所述轴向转台气道与所述径向转台气道连通。
[0008]进一步具体的，一条所述轴向转台气道上至少设置一条径向转台气道，一条所述径向转台气道上至少设置一条轴向转台气道。
[0009]进一步具体的，在所述转台气道靠近支撑旋转体的端部均设置有节流器。
[0010]进一步具体的，所述气浮导轨包括有导轨气浮块、包围在所述导轨气浮块外侧的导轨上溜板、导轨侧溜板和导轨下溜板、设置在所述导轨气浮块中部的直线电机。
[0011]进一步具体的，在所述导轨气浮块上设置有导轨气道，所述导轨气道包括有轴向导轨气道以及径向导轨气道，所述轴向导轨气道平行于所述导轨气浮块的轴线，所述轴向导轨气道垂直于所述导轨气浮块的轴线，所述轴向导轨气道与所述径向导轨气道连通。
[0012]进一步具体的，在所述轴向导轨气道靠近导轨上溜板和导轨下溜板的端部、径向导轨气道靠近导轨侧溜板的端部均设置有节流器。
[0013]进一步具体的，所述轴向导轨气道至少设置一条，所述径向导轨气道至少设置一条。
[0014]本专利技术一种气浮导轨上置的转台组合，可以实现如下技术效果：将所述电机设置在所述气浮转台的中部，可以增大所述气浮转台的气浮面，增加了气浮转台的承载力和刚度，同时也增加了气浮转台抗电机干扰的能力，所述气浮转台的整体厚度也相应的可以做到很小，从而进一步提升了所述气浮转台的精度；将气浮导轨设置在气浮转台上，对于小行程的导轨，本身重量和尺寸都可以做到很小，即使放置在所述气浮转台上对所述气浮转台自身的精度也毫无影响；且所述转台组合可以进行回转运动和直线运动，能够完成对复杂曲面的加工要求。
附图说明
[0015]图1是本专利技术的转台组合的结构示意图；
[0016]图2是本专利技术的气浮转台的结构示意图；
[0017]图3是本专利技术的图2中A处放大图；
[0018]图4是本专利技术的气浮导轨的结构示意图；
[0019]图5是本专利技术的图4中B处放大图。
[0020]图中：1、转台台面；111、气道；112、进气孔；113、安装底板；2、传动轴；3、气浮轴承；4、轴承外环；41、轴向转台气道；42、径向转台气道；43、节流器；5、止推板；6、外壳；7、过渡件；8、电机；9、光栅；10、导轨上溜板；11、导轨侧溜板；12、导轨下溜板；13、导轨气浮块；131、轴向导轨气道；132、径向导轨气道；14、直线电机；15、气电混合滑环；16、气浮转台；17、气浮导轨。
具体实施方式
[0021]为使本专利技术实施的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行更加详细的描述。在附图中，自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术保护范围的限制。下面结合附图对本专利技术的实施例进行详细说明。
[0023]一种气浮导轨上置的转台组合，如图1所示，包括有气浮转台16以及设置在所述气浮转台16上的气浮导轨17，所述气浮转台16与气浮导轨17同轴设置；因所述气浮导轨17设置在转台台面1上，在所述气浮转台16运作的过程中，所述气浮导轨17随着所述气浮转台16的转台台面1同步进行回转运动；在所述气浮转台16做回转运动时，所述气浮导轨17可以同时做直线运动，也可以不运作，但会由于气浮转台16进行着回转运动而同步旋转；在所述气浮导轨17做直线运动时，所述气浮转台16可以同时做回转运动，也可以不运作；所述气浮导轨17与气浮转台16可以单独运行，也可以同时运行，根据工作需要自行选择转台组合的运
行模式，所述转台组合的运行方式包括有仅进行回转运动、仅进行直线运动以及回转运动与直线运动同时运行；在所述气浮转台16的转台台面1带动所述气浮导轨17一起做回转运动时，所述气电混合滑环15的上部跟随所述气浮导轨17一起做回转运动。将所述气浮转台固定在机架上，所述气浮导轨设置在所述气浮转台上，在所述气浮导轨上设置刀具，可以完成对复杂曲面的加工需求，所述气浮转台的旋转角度可以根据需要自行设置，所述气浮导轨的位移量也可以根据需要自行设置。
[0024]如图1、图2、图3所示，所述气浮转台16包括有安装底板113、设置在安装底板113上面的支撑旋转体、被所述支撑旋转体包围的气浮轴承3、设置在所述气浮轴承3中部的电机组件以及设置在所述电机组件中部的气电混合滑环15，所述气电混合滑环15向所述气浮导轨17提供气源和电能；所述支撑旋转体与气浮轴承3不接触，所述支撑旋转体包括有止推板5、与所述止推板5平行设置的转台台面1以及设置在所述止推板5与转台台面1之间的轴承外环4，所述转台台面1、轴承外环4和止推板5包围所述气浮轴承3设置，在所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气浮导轨上置的转台组合，其特征在于：包括有气浮转台(16)以及设置在所述气浮转台(16)上的气浮导轨(17)，所述气浮转台(16)与气浮导轨(17)同轴设置；所述气浮转台(16)包括有支撑旋转体、被所述支撑旋转体包围的气浮轴承(3)、设置在所述气浮轴承(3)中部的电机组件以及设置在所述电机组件中部的气电混合滑环(15)，所述气电混合滑环(15)向所述气浮导轨(17)提供气源和电能。2.根据权利要求1所述的气浮导轨上置的转台组合，其特征在于：所述电机组件包括有从外到内依次设置的电机转子、电机定子以及传动轴(2)。3.根据权利要求2所述的气浮导轨上置的转台组合结构，其特征在于：在所述传动轴(2)上设置有光栅(9)。4.根据权利要求1所述的气浮导轨上置的转台组合，其特征在于：在所述气浮轴承(3)上设置转台气道，所述转台气道包括有轴向转台气道(41)以及径向转台气道(42)，所述轴向转台气道(41)平行于所述气浮轴承(3)的轴线，所述轴向转台气道(41)与所述径向转台气道(42)连通。5.根据权利要求4所述的气浮导轨上置的转台组合，其特征在于：一条所述轴向转台气道(41)上至少设置一条径向转台气道(42)，一条所述径向转台气道(42)上至少设置一条轴向转台气道(41)。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚林，王斌，牛增渊，丁辉，
申请(专利权)人：江苏集萃精凯高端装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：