本技术涉及一种单片外延炉温度控制器，包括单片外延炉本体、总控制器和固定安装于单片外延炉本体右侧壁上的安装箱，所述总控制器由控制面板和键盘组成，所述单片外延炉本体的外部设有收纳箱，所述收纳箱的外部设有安装结构，所述安装箱的内部设有延伸至其...

本实用新型涉及一种硅外延设备用温度均匀性测量机构，包括安装座和固定仓，所述固定仓的底部设置有测温探头，所述安装座上设置有检测组件，所述固定仓上设置有固定组件，所述固定组件包括与固定仓右侧转动连接的蜗杆，所述固定仓的内部转动连接有数量为两...

本发明涉及一种化学气相沉积气流调节装置；涉及化学气相沉积技术领域，包括外壳，该外壳的内部上端为负压仓，负压仓下方为冷却仓，外壳的下端为喷料口；外壳的内侧设有输送管，且输送管与外壳呈同心圆设置；输送管的下端外侧滑动连接有循环水仓，该循环水...

本实用新型涉及一种碳化硅外延炉生长单元，包括安装罩和碳化硅外延炉本体，所述安装罩的内顶壁转动安装有套筒，所述套筒的内壁螺纹安装有移动块，所述移动块的底部固定安装有延伸到套筒下方的支撑杆，所述支撑杆的底部固定安装有活动板，所述活动板的底部...

本实用新型涉及一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构，包括顶盖本体，所述顶盖本体内设有安装机构，所述安装机构包括活动安装于顶盖本体内的连接杆，所述连接杆外周壁固定连接有第一连接块和第二连接块，所述第一连接块和第二连接块内均开设有限位孔，所述第一...

本实用新型公开了一种碳化硅外延设备的石墨快拆结构，包括底座和快拆结构，所述底座顶部左右两侧均固定连接有垫座，所述垫座顶部接近底座中部的一侧固定连接有石墨件，所述快拆结构均装设于底座左右两侧；所述快拆结构包括基座，所述基座顶部左右两侧均固...

本实用新型公开了一种硅外延设备的反应室结构，包括底座和调节结构，所述底座顶部固定连接有设备箱，所述设备箱内部中部固定连接有竖隔板，所述设备箱右侧上部开设有气腔室，所述设备箱右侧下部开设有水腔室，所述设备箱内部左侧开设有反应腔室，所述调节...

本实用新型提供一种进气喷嘴结构，涉及喷嘴技术领域，包括外壳机构，所述外壳机构的内部固定安装有油过滤机构，所述外壳机构的底部固定连通有气体过滤机构。本实用新型中，在使用中，通过将连接管与内部的油气过滤罩进行连通，随后将油气通过连接管输送进...

本实用新型提供一种立式液相外延炉，涉及外延炉技术领域，包括外延炉机构，所述外延炉机构的顶部固定安装有密封机构，所述外延炉机构的外壁一侧固定安装有旋转机构。本实用新型中，第一电动伸缩杆在轴承的作用下，能够使其在固定板的内表壁之间进行转动，...

本实用新型提供一种单片式外延炉，涉及外延炉技术领域，包括外壳，所述外壳的上表面设置有升降组件，所述外壳的下表面设置有夹持组件；所述夹持组件包括矩形块，所述矩形块的下表面开设有安装槽，所述安装槽的内表面之间转动连接有双向丝杆，所述双向丝杆...

本实用新型涉及设备防护技术领域，且公开了一种气体流量控制装置，包括气体输送装置，气体输送装置底部固定块连接有下凸环，气体输送装置顶部固定连接有上凸环，上凸环顶部固定连接有电压控制器，电压控制器顶部固定连接有进气管，下凸环底部固定连接有出...

本实用新型涉及硅外延片生产技术领域，且公开了一种用于生产硅外延片的化学气相沉积装置，包括外壳，所述外壳左侧固定安装有惰性气体筒，所述外壳的内壁顶部固定安装有气相沉积机构，所述外壳底部固定安装有安装机构，所述外壳左侧设置有活动门，所述活动...

本实用新型涉及气象外延炉技术领域，且公开了一种提高硅外延生长速率的设备，包括气象外延炉，气象外延炉左右两侧固定连接有移动机构，气象外延炉左右两侧位于移动机构外圈位置固定连接有防护机构，移动机构包括固定块，固定块固定连接于气象外延炉左右两...

本实用新型涉及管道控制技术领域，且公开了一种用于气体流量控制的气路管道，包括第一管道，所述第一管道顶部中间固定连接有调节机构，所述调节机构右侧固定连接有第一支撑柱，所述第一支撑柱右侧顶部固定连接有第一固定环，所述第一管道顶部右侧固定连接...

本实用新型涉及硅片外延技术领域，且公开了一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座，底座顶部固定连接有夹持机构。夹持机构包括方形筒，方形筒固定连接于底座顶部，方形筒左侧固定连接有第一电机，第一电机右端固定连接有转杆，转杆表面固定连接有锥齿轮，锥齿...

本实用新型涉及砷外延尾气净化技术领域，且公开了一种砷外延尾气净化装置，包括进气管，所述进气管和出气管左右对称设置，所述进气管和出气管均为L型设置，所述进气管和出气管之间水平设置有滤气管，所述进气管和出气管底端均固定贯穿滤气管顶面设置；滤...

本实用新型涉及硅外延技术领域，且公开了一种用于硅外延工艺的气流控制装置，包括顶针，所述顶针的外部设置有调节机构，所述调节机构包括针筒、固定筒和弹簧，所述固定筒固定连接在针筒的表面，所述固定筒的表面开设有有喷射孔，所述固定筒的两侧设置有圆...

本实用新型涉及硅外延工艺技术领域，且公开了一种硅外延装备水温水流监控装置，包括传感器主体，所述传感器主体为数字流量和温度一体式传感器，所述传感器主体一侧水平设置有管道，所述传感器主体与管道之间设置有连接管。该硅外延装备水温水流监控装置，...

本实用新型涉及砷外延尾气处理技术领域，且公开了一种砷外延尾气湿式处理装置，包括箱体，所述箱体竖直设置，所述箱体顶端侧面设置有侧挂机构，所述箱体内部设置有湿处理机构，所述箱体底端左侧水平设置有进气管；湿处理机构包括固定板、滤板。该砷外延尾...

本实用新型涉及尾气处理技术领域，且公开了一种砷外延尾气用专用自动切换功能尾气管道，包括第一使用装置和第二使用装置，所述第一使用装置包括有第一连接管、第一常开气动阀，通过设置砷尾气管、手阀、砷尾气吸附式处理器、第一门阀、第一处理管、过压开...