一种提高硅外延生长速率的设备制造技术

本实用新型专利技术涉及气象外延炉技术领域，且公开了一种提高硅外延生长速率的设备，包括气象外延炉，气象外延炉左右两侧固定连接有移动机构，气象外延炉左右两侧位于移动机构外圈位置固定连接有防护机构，移动机构包括固定块，固定块固定连接于气象外延炉左右两侧，固定块远离气象外延炉一侧固定连接有机箱，机箱内固定连接有电机，电机底部固定连接有螺纹转轴，螺纹转轴外圈螺纹连接有伸缩螺筒。该提高硅外延生长速率的设备，通过设置的移动机构，使工作人员可以独自对气象外延炉进行移动工作，无需使用装卸设备进行辅助，增加了气象外延炉在移动时的便捷性，降低了气象外延炉移动时工作人员的工作强度。员的工作强度。员的工作强度。

【技术实现步骤摘要】
一种提高硅外延生长速率的设备


[0001]本技术涉及气象外延炉
，具体为一种提高硅外延生长速率的设备。

技术介绍

[0002]气象外延炉是利用硅的气态化合物，在加热的硅片表面与氢发生反应或自身发生热分解还原生成硅，并以单晶的形态淀积在硅片表面，或在高掺杂硅衬底上生长外延层以提高器件设计的灵活性和器件的性能。
[0003]现有的气象外延炉在需要进行移动时需要多名工作人员进行配合，同时还需要使用中型装卸设备进行辅助，气象外延炉在移动时消耗的人力与物力大，同时移动效率低下，工作强度大。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种提高硅外延生长速率的设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种提高硅外延生长速率的设备，包括气象外延炉，所述气象外延炉左右两侧固定连接有移动机构，所述气象外延炉左右两侧位于移动机构外圈位置固定连接有防护机构。
[0006]所述移动机构包括固定块，所述固定块固定连接于气象外延炉左右两侧，所述固定块远离气象外延炉一侧固定连接有机箱，所述机箱内固定连接有电机，所述电机底部固定连接有螺纹转轴，所述螺纹转轴外圈螺纹连接有伸缩螺筒，所述伸缩螺筒外圈底部滑动连接有定位环，所述定位环靠近气象外延炉一侧固定连接有连接块，所述连接块固定连接于气象外延炉左右两侧，所述定位环靠近气象外延炉一侧顶部固定连接有凸块，所述凸块顶部固定连接有限位滑杆。
[0007]优选的，所述限位滑杆外圈滑动连接有限位环，所述限位环固定连接于伸缩螺筒靠近气象外延炉一侧顶部，所述限位滑杆固定连接于机箱底部，限位环通过限位滑杆对伸缩螺筒进行限位，使伸缩螺筒无法旋转只能随螺纹转轴旋转而上下移动。
[0008]优选的，所述伸缩螺筒底部固定连接有凸杆，所述凸杆外圈固定连接有轴承，所述轴承外圈固定连接有移动轮，移动轮通过有轴承与凸杆转动连接。
[0009]优选的，所述防护机构包括凸环，所述凸环固定连接于气象外延炉左右两侧，所述凸环位于固定块上方，所述凸环远离气象外延炉一侧设置有定位板，所述定位板底部固定连接有防护外壳，所述防护外壳顶部位于凸环下方位置固定连接有定位块，定位板对防护外壳进行限位，使防护外壳在安装后无法进行左右位移。
[0010]优选的，所述定位块卡接于凸环底部内，所述凸环内滑动连接有滑块，所述滑块远离气象外延炉一侧固定连接有卡杆，凸环通过卡杆对防护外壳进行限位，使防护外壳在安装完毕后无法进行上下位移。
[0011]优选的，所述卡杆向远离气象外延炉的方向移动贯穿凸环卡接于定位板内，所述
凸环内对应滑块位置开设有移动滑槽，所述滑块靠近气象外延炉一侧固定连接有压缩弹簧，压缩弹簧使滑块始终保持向远离气象外延炉方向移动的力，增加了防护外壳在安装后的结构稳定性。
[0012]优选的，所述滑块顶部固定连接有连接杆，所述凸环顶部对应连接杆位置开设有连接滑槽，所述连接滑槽顶部固定连接有移块，移块通过连接杆带动滑块移动。
[0013]与现有技术相比，本技术提供了一种提高硅外延生长速率的设备，具备以下有益效果：
[0014]1、该提高硅外延生长速率的设备，通过设置的移动机构，使工作人员可以独自对气象外延炉进行移动工作，无需使用装卸设备进行辅助，增加了气象外延炉在移动时的便捷性，降低了气象外延炉移动时工作人员的工作强度。
[0015]2、该提高硅外延生长速率的设备，通过设置的防护机构，在需要对防护外壳进行安装和拆卸时工作人员只需推动移块即可完成大部分工作，拆卸和安装速度快，便于工作人员进行操作，防护外壳在安装时对移动机构的结构进行保护，使移动机构结构不会与外部物体发生碰撞，防止了移动机构结构的受损，增加了移动机构结构的使用寿命。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图：
[0017]图1为本技术正面示意图；
[0018]图2为本技术正面剖视图；
[0019]图3为移动机构部分结构剖视图；
[0020]图4为图2中A处结构放大示意图。
[0021]图中：1、移动机构；11、固定块；12、机箱；13、电机；14、螺纹转轴；15、伸缩螺筒；1501、限位环；16、定位环；1601、凸块；1602、连接块；17、限位滑杆；18、凸杆；1801、轴承；19、移动轮；2、防护机构；21、凸环；22、防护外壳；2201、定位板；2202、定位块；23、卡杆；24、滑块；25、移动滑槽；26、压缩弹簧；27、连接杆；28、连接滑槽；29、移块；3、气象外延炉。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种提高硅外延生长速率的设备，包括气象外延炉3，气象外延炉3左右两侧固定连接有移动机构1，气象外延炉3左右两侧位于移动机构1外圈位置固定连接有防护机构2。
[0025]移动机构1包括固定块11，固定块11固定连接于气象外延炉3左右两侧，固定块11远离气象外延炉3一侧固定连接有机箱12，机箱12内固定连接有电机13，电机13底部固定连接有螺纹转轴14，螺纹转轴14外圈螺纹连接有伸缩螺筒15，伸缩螺筒15外圈底部滑动连接有定位环16，定位环16靠近气象外延炉3一侧固定连接有连接块1602，连接块1602固定连接于气象外延炉3左右两侧，定位环16靠近气象外延炉3一侧顶部固定连接有凸块1601，凸块1601顶部固定连接有限位滑杆17，限位滑杆17外圈滑动连接有限位环1501，限位环1501固定连接于伸缩螺筒15靠近气象外延炉3一侧顶部，限位滑杆17固定连接于机箱12底部，限位环1501通过限位滑杆17对伸缩螺筒15进行限位，使伸缩螺筒15无法旋转只能随螺纹转轴14旋转而上下移动，伸缩螺筒15底部固定连接有凸杆18，凸杆18外圈固定连接有轴承1801，轴承1801外圈固定连接有移动轮19，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提高硅外延生长速率的设备，包括气象外延炉(3)，其特征在于：所述气象外延炉(3)左右两侧固定连接有移动机构(1)，所述气象外延炉(3)左右两侧位于移动机构(1)外圈位置固定连接有防护机构(2)；所述移动机构(1)包括固定块(11)，所述固定块(11)固定连接于气象外延炉(3)左右两侧，所述固定块(11)远离气象外延炉(3)一侧固定连接有机箱(12)，所述机箱(12)内固定连接有电机(13)，所述电机(13)底部固定连接有螺纹转轴(14)，所述螺纹转轴(14)外圈螺纹连接有伸缩螺筒(15)，所述伸缩螺筒(15)外圈底部滑动连接有定位环(16)，所述定位环(16)靠近气象外延炉(3)一侧固定连接有连接块(1602)，所述连接块(1602)固定连接于气象外延炉(3)左右两侧，所述定位环(16)靠近气象外延炉(3)一侧顶部固定连接有凸块(1601)，所述凸块(1601)顶部固定连接有限位滑杆(17)。2.根据权利要求1所述的一种提高硅外延生长速率的设备，其特征在于：所述限位滑杆(17)外圈滑动连接有限位环(1501)，所述限位环(1501)固定连接于伸缩螺筒(15)靠近气象外延炉(3)一侧顶部，所述限位滑杆(17)固定连接于机箱(12)底部。3.根据权利要求1所述的一种提高硅外延生长速率的设备，其特征在于：所述伸缩螺筒(15)底部固定连接有凸杆(18)，所述凸杆(18)外圈固定连接有轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈恒文，吉双平，刘彤辉，金修领，郝小峰，王伟康，高月华，程宣林，
申请(专利权)人：江苏艾匹克半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：