成膜设备及其维护方法技术

本申请公开了一种成膜设备及其维护方法，涉及成膜设备相关技术领域。其中，本申请提供的成膜设备包括操作箱、反应器、升降装置、连接通道和转运件，操作箱具有操作室，反应器安装在所述操作室内并包括盖体、箱体及位于所述盖体和所述箱体之间的反应室，所述盖体面向所述反应室的一侧可拆卸地连接有一顶板，升降装置与所述盖体相连，并可带动所述盖体在贴靠所述箱体的关闭状态或远离所述箱体的开盖状态间切换，维护箱具有维护室，连接通道连通所述操作室和所述维护室，转运件活动连接在所述维护室内，所述盖体处于开盖状态时，所述转运件可通过所述连接通道移动至所述反应室并可承载所述顶板，以带动所述顶板在所述反应室和所述维护室之间运动。维护室之间运动。维护室之间运动。

【技术实现步骤摘要】
成膜设备及其维护方法


[0001]本申请涉及成膜设备相关
，具体涉及一种成膜设备及其维护方法。

技术介绍

[0002]成膜设备利用薄膜沉积技术将稀释于载气中的金属有机化合物与V族或VI族元素的氢化物作为晶体生长的原材料，在被加热的外延衬底上进行分解并发生反应，反应后的生成物沉积在外延衬底上并形成薄膜，该晶体生长的过程通常在成膜设备内进行。
[0003]现有的成膜设备包括围合形成反应室的外壳及收纳该外壳的操作箱，所述反应室的顶部安装有一顶板，所述反应室的内部设有用于承载晶片的基座。对反应室内的顶板维护时，通常需要同时打开该反应室的外壳及上述操作箱，才能取出所述顶板。
[0004]然而，在该种维护方式下，反应室将直接与外部大气连通，外部的杂质气体等会直接进入反应室内，导致整个设备需要花费大量成本和时间去清洁才能再次投入正常使用。

技术实现思路

[0005]本申请提供一种成膜设备及其维护方法，以解决取出顶板的过程中，设备外部的颗粒物会进入该反应室内，导致反应室内的环境受到污染，造成维护成本上升的问题。
[0006]为达上述目的，一方面，本申请提供的一种成膜设备，包括：操作箱，具有操作室；反应器，安装在所述操作室内并包括盖体、箱体及位于所述盖体和所述箱体之间的反应室，所述盖体面向所述反应室的一侧可拆卸地连接有一顶板；升降装置，与所述盖体相连，并可带动所述盖体在贴靠所述箱体的关闭状态或远离所述箱体的开盖状态间切换；维护箱，具有维护室；连接通道，连通所述操作室和所述维护室；转运件，活动连接在所述维护室内，所述盖体处于开盖状态时，所述转运件可通过所述连接通道移动至所述反应室并可承载所述顶板，以带动所述顶板在所述反应室和所述维护室之间运动。
[0007]在本申请的一些实施例中，所述成膜设备还包括：隔挡件，设置在所述连接通道上，用于连通或断开所述连接通道，其中，所述操作室呈负压状态或其内填充有保护气体。
[0008]在本申请的一些实施例中，所述反应器还包括：基座，设置在所述箱体内且与所述顶板相对而设；基座驱动装置，所述基座可拆卸地连接在所述基座驱动装置上，所述基座驱动装置可带动所述基座朝靠近或远离所述顶板的方向运动。
[0009]在本申请的一些实施例中，所述顶板和所述盖体具有相互连接的对接位置和相互分开的分离位置，其中，所述顶板可在所述基座驱动装置的直接或间接地承托下进行升降
动作和/或旋转动作，以在所述对接位置和所述分离位置间切换。
[0010]在本申请的一些实施例中，还包括设置在所述盖体或所述顶板之一上的挂钩和设置在所述盖体或所述顶板另一上的挂扣；所述顶板通过所述升降动作和所述旋转动作使得所述挂钩和所述挂扣扣合或分离，以使得所述顶板和所述盖体在所述对接位置和所述分离位置间切换。
[0011]在本申请的一些实施例中，所述盖体呈圆形罩状结构且其敞口端朝向所述箱体，所述顶板设置在所述敞口端并与所述盖体的内壁螺纹连接；所述顶板通过所述旋转动作使所述顶板和所述盖体在所述对接位置和所述分离位置间切换。
[0012]在本申请的一些实施例中，所述转运件包括平行于所述顶板设置的转运板，所述转运板上设有开口朝向所述操作箱的避让槽，所述转运板位于所述避让槽两侧的两个侧板均活动连接在所述维护室内。
[0013]在本申请的一些实施例中，所述转运板上设有定位部，其中，当所述转运板承载所述顶板时，所述定位部限制所述顶板在所述转运板的承载面上的相对位置。
[0014]在本申请的一些实施例中，所述成膜设备还包括：过渡件，可与所述基座驱动装置配合以间接支撑所述顶板。
[0015]在本申请的一些实施例中，所述操作箱设有手套操作部，所述盖体处于所述开盖状态时，所述手套操作部可伸入所述盖体下方，并可通过所述手套操作部从所述盖体拆离所述顶板。
[0016]在具体使用时，本申请通过所述升降装置带动所述盖体朝远离所述箱体的方向运动以切换至开盖状态，即表明所述盖体和所述箱体分离且反应室被打开，所述转运件通过所述连接通道进入上述反应室内，再将所述顶板与所述盖体拆除以使所述顶板与所述盖体分离并被拆卸至转运件上，随后通过所述转运件承载所述顶板，并带动所述顶板从所述反应室移动至所述维护室内以对顶板进行维护。
[0017]由此，本申请上述设置具有以下有益效果：当所述盖体和所述箱体分离以将反应室打开进行顶板的维护操作时，不需要打开上述操作箱，该操作箱能够将反应室和设备的外部空气隔离，上述顶板通过转运件带动至维护室内，并在所述维护室进行更换或维护，即维护室被配置为顶板的维护空间，从而对顶板的拆装和维护进行物理分区，以避免设备外部空间内的颗粒物进入反应室内导致反应室受到污染，从而不需要对反应室进行深度清洁，从而降低设备的维护成本。
[0018]另一方面，本申请还提供了一种成膜设备的维护方法，其中，所述成膜设备包括操作箱、维护箱、升降装置和连接通道，所述连接通道连通所述操作箱的操作室和所述维护箱的维护室，所述操作室内安装有反应器，所述反应器包括盖体、箱体及位于所述盖体和所述箱体之间的反应室，所述盖体面向所述反应室的一侧可拆卸地连接有一顶板，所述升降装置与所述盖体相连，所述维护室内设有转运件，所述转运件可通过所述连接通道移动至所述反应室并承载所述顶板，所述成膜设备的维护方法具体包括：通过所述升降装置带动所述盖体朝远离所述箱体的方向运动，使所述盖体处于开盖状态以将所述反应室打开；拆卸所述顶板；
移动所述顶板至已位于所述盖体下方的所述转运件，其中，所述转运件通过所述连接通道从所述维护室移动至所述盖体下方；通过所述转运件带动所述顶板从所述反应室移动至所述维护室内；更换或维护所述顶板。
[0019]在本申请的一些实施例中，所述成膜设备还包括设置在所述连接通道上的隔挡件；在所述将所述转运件通过所述连接通道从所述维护室移动至所述盖体下方的步骤之前，还包括：控制隔挡件打开，以连通所述连接通道；在所述通过所述转运件带动所述顶板从所述反应室移动至所述维护室内的步骤之后，还包括：控制隔挡件关闭，以断开所述连接通道。
[0020]在本申请的一些实施例中，所述反应器包括设置在所述箱体内且与所述顶板相对而设的基座，以及与所述基座可拆卸地连接的基座驱动装置，所述拆卸所述顶板的步骤具体包括：所述基座驱动装置朝靠近所述顶板的方向运动，以直接或间接支撑所述顶板；所述基座驱动装置带动所述顶板升降和/或旋转，以从所述盖体拆离所述顶板；将所述转运件通过所述连接通道从所述维护室移动并定位在所述顶板下方；所述移动所述顶板至已位于所述盖体下方的所述转运件的步骤具体包括：所述基座驱动装置朝远离所述盖体的方向运动，带动所述顶板移动到所述转运件上后，继续做朝远离所述盖体的方向的运动，以使所述顶板留置到所述转运件上。
[0021]在本申请的一些实施例中，所述成膜设备还包括设置在所述维护室内的过渡件，所述基座驱动装置朝靠近所述顶板的方向运动，以直接或间接支撑所述顶板的步骤具体包括：通过所述转运件转移所述过渡本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种成膜设备，其特征在于，包括：操作箱，具有操作室；反应器，安装在所述操作室内并包括盖体、箱体及位于所述盖体和所述箱体之间的反应室，所述盖体面向所述反应室的一侧可拆卸地连接有一顶板；升降装置，与所述盖体相连，并可带动所述盖体在贴靠所述箱体的关闭状态或远离所述箱体的开盖状态间切换；维护箱，具有维护室；连接通道，连通所述操作室和所述维护室；转运件，活动连接在所述维护室内，所述盖体处于开盖状态时，所述转运件可通过所述连接通道移动至所述反应室并可承载所述顶板，以带动所述顶板在所述反应室和所述维护室之间运动。2.根据权利要求1所述的成膜设备，其特征在于，还包括：隔挡件，设置在所述连接通道上，用于连通或断开所述连接通道，其中，所述操作室呈负压状态或其内填充有保护气体。3.根据权利要求1所述的成膜设备，其特征在于，所述反应器还包括：基座，设置在所述箱体内且与所述顶板相对而设；基座驱动装置，所述基座可拆卸地连接在所述基座驱动装置上，所述基座驱动装置可带动所述基座朝靠近或远离所述顶板的方向运动。4.根据权利要求3所述的成膜设备，其特征在于，所述顶板和所述盖体具有相互连接的对接位置和相互分开的分离位置，其中，所述顶板可在所述基座驱动装置的直接或间接地承托下进行升降动作和/或旋转动作，以在所述对接位置和所述分离位置间切换。5.根据权利要求4所述的成膜设备，其特征在于，还包括设置在所述盖体或所述顶板之一上的挂钩和设置在所述盖体或所述顶板另一上的挂扣；所述顶板通过所述升降动作和所述旋转动作使得所述挂钩和所述挂扣扣合或分离，以使得所述顶板和所述盖体在所述对接位置和所述分离位置间切换。6.根据权利要求4所述的成膜设备，其特征在于，所述盖体呈圆形罩状结构且其敞口端朝向所述箱体，所述顶板设置在所述敞口端并与所述盖体的内壁螺纹连接；所述顶板通过所述旋转动作使所述顶板和所述盖体在所述对接位置和所述分离位置间切换。7.根据权利要求3所述的成膜设备，其特征在于，所述转运件包括平行于所述顶板设置的转运板，所述转运板上设有开口朝向所述操作箱的避让槽，所述转运板位于所述避让槽两侧的两个侧板均活动连接在所述维护室内。8.根据权利要求7所述的成膜设备，其特征在于，所述转运板上设有定位部，其中，当所述转运板承载所述顶板时，所述定位部限制所述顶板在所述转运板的承载面上的相对位置。9.根据权利要求3所述的成膜设备，其特征在于，还包括：过渡件，可与所述基座驱动装置配合以间接支撑所述顶板。10.根据权利要求1所述的成膜设备，其特征在于，所述操作箱设有手套操作部，所述盖体处于所述开盖状态时，所述手套操作部可伸入所述盖体下方，并可通过所述手套操作部
从所述盖体拆离所述顶板。11.一种成膜设备的维护方法，其特征在于，所述成膜设...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：无锡先为科技有限公司，
类型：发明
国别省市：