一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构，包括顶盖本体，所述顶盖本体内设有安装机构，所述安装机构包括活动安装于顶盖本体内的连接杆，所述连接杆外周壁固定连接有第一连接块和第二连接块，所述第一连接块和第二连接块内均开设有限位孔，所述第一连接块和第二连接块上表面螺纹连接有插接至顶盖本体内的限位杆，所述顶盖本体下表面卡接有保护板。该一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构，通过设置连接杆、第一连接块、第二连接、限位孔、限位杆和保护板，从而可以通过限位杆让顶盖本体与保护板进行连接，多个保护板与顶盖本体连接，从而方便对损坏的保护板进行更换，通过设置卡接杆和限位槽，从而可以让多个保护板之间连接。从而可以让多个保护板之间连接。从而可以让多个保护板之间连接。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构


[0001]本技术涉及碳化硅外延炉反应室
，具体为一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构。

技术介绍

[0002]随着碳化硅半导体技术的进步，产业应用对碳化硅功率器件性能的要求越来越高，成本要求越来越低，大功率电力电子器件对碳化硅晶体和外延材料提出更高的要求和需求，提高备件利用率，降低生产成本成为碳化硅晶体发展的当务之急。
[0003]根据中国专利公开号：CN 215800051 U，名字为：一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构，技术方案为：多个卡接板释放了应力，进一步降低了保护板开裂的问题，提高了使用寿命，而且保护板发生开裂后，可以仅对发生开裂的对应的卡接板进行拆卸更换，降低了维修成本；多个卡接板与顶盖本体卡接相连后通过锥形垫片压紧保护板后，通过螺纹套筒和预紧螺母与顶盖本体相连，使保护板的安装更加牢固稳定。
[0004]上述专利是针对保护板的安装更加牢固稳定所做出的改进，本申请提供了另一种解决方案。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构，具备保护板的安装更加牢固稳定的优点，解决了保护板的安装不够牢固稳定的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构，包括顶盖本体，所述顶盖本体内设有安装机构；
[0007]所述安装机构包括活动安装于顶盖本体内的连接杆，所述连接杆外周壁固定连接有第一连接块和第二连接块，所述第一连接块和第二连接块内均开设有限位孔，所述第一连接块和第二连接块上表面螺纹连接有插接至顶盖本体内的限位杆，所述顶盖本体下表面卡接有保护板，所述顶盖本体内开设有通孔，所述顶盖本体内固定连接有螺纹套筒，所述保护板外周壁固定连接有卡接杆，所述保护板内开设有限位槽。
[0008]进一步，所述限位槽与卡接杆相适配，所述保护板的数量大于两个。
[0009]进一步，所述保护板的数量大于两个，多个所述保护板与顶盖本体直径相等。
[0010]进一步，所述通孔位于螺纹套筒内，所述限位孔与限位杆螺纹连接。
[0011]进一步，所述限位杆的高度大于第一连接块与限位孔之间的最近距离，所述通孔贯穿保护板。
[0012]进一步，所述螺纹套筒贯穿保护板，所述限位杆插接至保护板内。
[0013]进一步，所述卡接杆的数量大于两个，所述限位槽的数量等于卡接杆的数量。
[0014]进一步，所述保护板为扇形。
[0015]与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：
[0016]该一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构，通过设置连接杆、第一连接块、第二连接、
限位孔、限位杆和保护板，从而可以通过限位杆让顶盖本体与保护板进行连接，多个保护板与顶盖本体连接，从而方便对损坏的保护板进行更换，通过设置卡接杆和限位槽，从而可以让多个保护板之间连接，从而解决了保护板的安装不够牢固稳定的问题。
附图说明
[0017]图1为本技术结构示意图；
[0018]图2为本技术保护板结构俯视图；
[0019]图3为本技术顶盖本体结构俯视图。
[0020]图中：1、顶盖本体；2、安装机构；3、连接杆；4、第一连接块；5、第二连接块；6、限位孔；7、限位杆；8、保护板；9、通孔；10、螺纹套筒；11、卡接杆；12、限位槽。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例一，请参阅图1
‑
3，本实施例中的一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构，包括顶盖本体1，顶盖本体1内设有安装机构2，安装机构2包括活动安装于顶盖本体1内的连接杆3，连接杆3外周壁固定连接有第一连接块4和第二连接块5，第一连接块4和第二连接块5内均开设有限位孔6，第一连接块4和第二连接块5上表面螺纹连接有插接至顶盖本体1内的限位杆7，顶盖本体1下表面卡接有保护板8，顶盖本体1内开设有通孔9，顶盖本体1内固定连接有螺纹套筒10，保护板8外周壁固定连接有卡接杆11，保护板8内开设有限位槽12。
[0023]需要说明的是，为了通过卡接杆11进入到限位槽12内，从而让多个保护板8之间固定连接，限位槽12与卡接杆11相适配，保护板8的数量大于两个。
[0024]需要说明的是，为了方便对损坏的保护板8进行维修，保护板8的数量大于两个，为了通过多个保护板8对顶盖本体1进行保护，多个保护板8与顶盖本体1直径相等。
[0025]需要说明的是，为了让气管通过通孔9进入到反应室内部进行反应，为了通过螺纹套筒10对气管进行限位，通孔9位于螺纹套筒10内，限位孔6与限位杆7螺纹连接。
[0026]需要说明的是，为了限位杆7能够插入保护板8内使保护板8对顶盖本体1进行固定，限位杆7的高度大于第一连接块4与限位孔6之间的最近距离，通孔9贯穿保护板8。
[0027]需要说明的是，为了增加限位效果，螺纹套筒10贯穿保护板8，限位杆7插接至保护板8内。
[0028]可以理解的是，为了增加限位效果，卡接杆11的数量大于两个，限位槽12的数量等于卡接杆11的数量。
[0029]上述实施例的工作原理为：
[0030]当使用者需要拆卸损坏的保护板8时，使用者打开顶盖本体1，随后取下限位杆7，将损坏的保护板8外周壁的卡接杆11离开正常的保护板8内的限位槽12，随后取出损坏的保护板8，进而完成整个操作流程。
[0031]实施例二，请参阅图1，在实施例一的基础上，为了方便拆卸，保护板8为扇形。
[0032]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
[0033]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构，包括顶盖本体(1)，其特征在于：所述顶盖本体(1)内设有安装机构(2)；所述安装机构(2)包括活动安装于顶盖本体(1)内的连接杆(3)，所述连接杆(3)外周壁固定连接有第一连接块(4)和第二连接块(5)，所述第一连接块(4)和第二连接块(5)内均开设有限位孔(6)，所述第一连接块(4)和第二连接块(5)上表面螺纹连接有插接至顶盖本体(1)内的限位杆(7)，所述顶盖本体(1)下表面卡接有保护板(8)，所述顶盖本体(1)内开设有通孔(9)，所述顶盖本体(1)内固定连接有螺纹套筒(10)，所述保护板(8)外周壁固定连接有卡接杆(11)，所述保护板(8)内开设有限位槽(12)。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构，其特征在于：所述限位...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈恒文，程宣林，金修领，郝小峰，刘彤辉，高月华，
申请(专利权)人：江苏艾匹克半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：