一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片外延技术领域，且公开了一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座，底座顶部固定连接有夹持机构。夹持机构包括方形筒，方形筒固定连接于底座顶部，方形筒左侧固定连接有第一电机，第一电机右端固定连接有转杆，转杆表面固定连接有锥齿轮，锥齿轮底端啮合连接有锥齿圈，锥齿圈底部与底座顶部中间转动连接，转杆右端固定连接有丝杆，丝杆表面螺纹连接有螺纹筒，螺纹筒另一端固定连接有夹块，夹块底部固定连接有滑条，滑条底部固定连接有滑槽。该具有碳化硅涂层的硅片外延基座，通过设置的夹持机构，避免了硅片外延过程中可能出现的移动，并以此方便对硅片表面进行外延工艺的处理，此外还方便将处理后的硅片进行拿取操作。作。作。

【技术实现步骤摘要】
一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座


[0001]本技术涉及硅片外延
，具体为一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座。

技术介绍

[0002]硅是一种重要的半导体材料，硅片的外延是一种硅片表面加工工艺，在适合的晶体底层上的单个晶体半导体薄膜的生长就是外延生长，一般采用碳化硅涂层处理，具体是指采用物理或化学气相沉积、喷涂等方法在零件表面制备SIC涂层的方法，通常通过外延工艺处理后的硅片，其表面平整度高、洁净度高、微缺陷少、表面杂质少，因此电阻率更加均匀，在提升实际应用性的同时，也能保证产品的稳定性和可靠性，并因此得到广泛应用。
[0003]同时，在对硅片进行外延工艺加工处理时，由于硅片表面受到形状的限制，在外延过程中可能存在着硅片移动的现象，因此为了方便对硅片表面的加工，需要将硅片放置在基座上进行固定操作，因此需要设计一种硅片外延基座，从而对硅片进行固定。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部固定连接有夹持机构(2)，所述底座(1)底部固定连接有旋转机构(3)；所述夹持机构(2)包括方形筒(21)，所述方形筒(21)固定连接于底座(1)顶部，所述方形筒(21)左侧固定连接有第一电机(22)，所述第一电机(22)右端固定连接有转杆(23)，所述转杆(23)表面固定连接有锥齿轮(24)，所述锥齿轮(24)底端啮合连接有锥齿圈(25)，所述锥齿圈(25)底部与底座(1)顶部中间转动连接，所述转杆(23)右端固定连接有丝杆(26)，所述丝杆(26)表面螺纹连接有螺纹筒(27)，所述螺纹筒(27)另一端固定连接有夹块(28)，所述夹块(28)底部固定连接有滑条(29)，所述滑条(29)底部固定连接有滑槽(291)，所述底座(1)内底部开设有凹槽，所述滑槽(291)底部与凹槽内壁底部固定连接。2.根据权利要求1所述的一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座，其特征在于：所述方形筒(21)左侧开设有通孔，所述转杆(23)左端贯穿于方形筒(21)左侧开设的通孔。3.根据权利要求1所述的一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座，其特征在于：所述转杆(23)、锥齿轮(24)和丝杆(26)均有两个，所述转杆(23)和锥齿轮(24)均对称位于夹块(28)两侧，右边所述转杆(23)右端与方形筒(21)内壁右侧转动连接，两...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈恒文，吉双平，刘彤辉，金修领，郝小峰，王伟康，高月华，程宣林，
申请(专利权)人：江苏艾匹克半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：