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本实用新型涉及硅片外延技术领域，且公开了一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座，底座顶部固定连接有夹持机构。夹持机构包括方形筒，方形筒固定连接于底座顶部，方形筒左侧固定连接有第一电机，第一电机右端固定连接有转杆，转杆表面固定连接有锥齿轮，锥齿轮底...
该专利属于江苏艾匹克半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏艾匹克半导体设备有限公司授权不得商用。

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