一种砷外延尾气用专用自动切换功能尾气管道制造技术

本实用新型专利技术涉及尾气处理技术领域，且公开了一种砷外延尾气用专用自动切换功能尾气管道，包括第一使用装置和第二使用装置，所述第一使用装置包括有第一连接管、第一常开气动阀，通过设置砷尾气管、手阀、砷尾气吸附式处理器、第一门阀、第一处理管、过压开关、差压计、第二处理管、第二门阀，其中第一门阀、第二门阀动作切换时由PLC设定先后顺序延时控制，已减少砷尾气吸附式处理器压力波动，取主设备AsH开启信号输入PLC控制第一门阀、第二门阀切换动作，实现AsH开启时尾气通过砷尾气吸附式处理器,实现AsH关闭时尾气通过砷尾气水洗式处理器，达到了管道精准自动切换、减少吸附剂的浪费的效果。费的效果。费的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种砷外延尾气用专用自动切换功能尾气管道


[0001]本技术涉及尾气处理
，具体为一种砷外延尾气用专用自动切换功能尾气管道。

技术介绍

[0002]砷，俗称砒，是一种类金属元素，砷单质以灰砷、黑砷和黄砷这三种同素异性体的形式存在。砷主要与铜、铅及其他金属形成合金；氧化砷、砷酸盐可作杀虫剂，木材防腐剂；高纯砷用于半导体和激光技术中。
[0003]含砷微粒的尾气包括砷蒸气、N2、H2及少量其他气体，如Si2H6等，目前在AsH3外延工艺过程中，含砷微粒的尾气进入砷尾气处理器中，由于砷尾气排放管道不能精准自动切换，导致砷尾气处理器中砷吸附剂的浪费，缩短了吸附桶的更换周期。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供了一种砷外延尾气用专用自动切换功能尾气管道，达到便于使用的目的。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种砷外延尾气用专用自动切换功能尾气管道，包括第一使用装置和第二使用装置，所述第一使用装置包括有第一连接管、第一常开气动阀、第二连接管、砷尾气水洗式处理器、第二常开气动阀、第三连接管、第四连接管、第五连接管、第三常开气动阀，所述第一连接管的一端与第一常开气动阀的一端连通设置，所述第一常开气动阀的另一端与第二连接管的一端连通设置，所述第二连接管的另一端与砷尾气水洗式处理器的一侧设置；
[0006]所述第二使用装置包括有砷尾气管、手阀、砷尾气吸附式处理器、第一门阀、第一处理管、过压开关、差压计、第二处理管、第二门阀，所述砷尾气管的一端与手阀设置。
[0007]优选的，所述第一连接管的分管端与第二常开气动阀的一端连通设置，所述第二常开气动阀的另一端与第三连接管的一端连通设置。
[0008]优选的，所述第三连接管的另一端与第四连接管的外壁连通设置，所述第五连接管的一端与第三连接管的外壁连通设置。
[0009]优选的，所述第五连接管的另一端与第三常开气动阀的一端连通设置，所述第三常开气动阀的另一端与另一个所述第五连接管的一端连通设置。
[0010]优选的，所述砷尾气管的另一端与砷尾气吸附式处理器的一侧设置，所述砷尾气吸附式处理器的另一侧与第四连接管的一端设置。
[0011]优选的，所述第四连接管的另一端与第一门阀的一端连通设置，所述第一门阀的另一端与第一处理管的一端连通设置，所述第一处理管的另一端与砷尾气水洗式处理器的另一侧设置。
[0012]优选的，所述过压开关、差压计分别设置在第四连接管上，所述第二处理管的一端与砷尾气管的外壁连通设置，所述第二处理管的另一端与第二门阀的一端连通设置，所述
第二门阀的另一端与第三连接管的分管端连通设置，第一门阀204、第二门阀209开启状态异常可以实现与主设备联动报警。
[0013]本技术提供了一种砷外延尾气用专用自动切换功能尾气管道。具备以下有益效果：
[0014](1)、本技术通过设置第一连接管、第一常开气动阀、第二连接管、砷尾气水洗式处理器、第二常开气动阀、第三连接管、第四连接管、第五连接管、第三常开气动阀，其中第三常开气动阀为过压保护常闭气动阀，设备超压后自动开启泄压，第一常开气动阀、第二常开气动阀与第三常开气动阀，动作全部都是由PLC自动控制，与主设备实现联动报警，AsH开启转关闭时，由PLC设定延时(60S)控制，保证腔体及管道内残余，AsH气体充分由砷尾气水洗式处理器处理，达到了管道精准自动切换、减少吸附剂的浪费的效果。
[0015](2)、本技术通过设置砷尾气管、手阀、砷尾气吸附式处理器、第一门阀、第一处理管、过压开关、差压计、第二处理管、第二门阀，其中第一门阀、第二门阀动作切换时由PLC设定先后顺序延时控制，已减少砷尾气吸附式处理器压力波动，取主设备AsH开启信号输入PLC控制第一门阀、第二门阀切换动作，实现AsH开启时尾气通过砷尾气吸附式处理器,实现AsH关闭时尾气通过砷尾气水洗式处理器，达到了管道精准自动切换、减少吸附剂的浪费的效果。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图中：1第一使用装置、2第二使用装置、101第一连接管、102第一常开气动阀、103第二连接管、104砷尾气水洗式处理器、105第二常开气动阀、106第三连接管、107第四连接管、108第五连接管、109第三常开气动阀、201砷尾气管、202手阀、203砷尾气吸附式处理器、204第一门阀、205第一处理管、206过压开关、207差压计、208第二处理管、209第二门阀。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0020]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0021]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固
定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0022]如图1所示，本技术提供一种技术方案：一种砷外延尾气用专用自动切换功能尾气管道，包括第一使用装置1和第二使用装置2，第一使用装置1包括有第一连接管101、第一常开气动阀102、第二连接管103、砷尾气水洗式处理器104、第二常开气动阀105、第三连接管106、第四连接管107、第五连接管108、第三常开气动阀109，第一连接管101的一端与第一常开气动阀102的一端连通设置，第一常开气动阀102的另一端与第二连接管103的一端连通设置，第二连接管103的另一端与砷尾气水洗式处理器104的一侧设置，第一连接管101的分管端与第二常开气动阀105的一端连通设置，第二常开气动阀105的另一端与第三连接管106的一端连通设置，第三连接管本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种砷外延尾气用专用自动切换功能尾气管道，包括第一使用装置(1)和第二使用装置(2)，其特征在于：所述第一使用装置(1)包括有第一连接管(101)、第一常开气动阀(102)、第二连接管(103)、砷尾气水洗式处理器(104)、第二常开气动阀(105)、第三连接管(106)、第四连接管(107)、第五连接管(108)、第三常开气动阀(109)，所述第一连接管(101)的一端与第一常开气动阀(102)的一端连通设置，所述第一常开气动阀(102)的另一端与第二连接管(103)的一端连通设置，所述第二连接管(103)的另一端与砷尾气水洗式处理器(104)的一侧设置；所述第二使用装置(2)包括有砷尾气管(201)、手阀(202)、砷尾气吸附式处理器(203)、第一门阀(204)、第一处理管(205)、过压开关(206)、差压计(207)、第二处理管(208)、第二门阀(209)，所述砷尾气管(201)的一端与手阀(202)设置。2.根据权利要求1所述的一种砷外延尾气用专用自动切换功能尾气管道，其特征在于：所述第一连接管(101)的分管端与第二常开气动阀(105)的一端连通设置，所述第二常开气动阀(105)的另一端与第三连接管(106)的一端连通设置。3.根据权利要求1所述的一种砷外延尾气用专用自动切换功能尾气管道，其特征在于：所述第三连接管(106)的另一端与第四连接管(107)的外壁...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈恒文，吉双平，刘彤辉，金修领，郝小峰，王伟康，程宣林，
申请(专利权)人：江苏艾匹克半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：