本实用新型涉及掩膜版涂胶机设备技术领域，具体涉及一种涂胶机喷涂装置，包括喷嘴，所述喷嘴的外壁套设有沿其长度方向往复移动的活动座，所述活动座的两侧均通过卡接组件活动连接有支板，所述支板的下端设置有激光传感器。本实用新型中，通过在喷嘴的端部...

本实用新型公开了一种掩膜版检查搬运装置，包括支撑台主体、滚轮和把手，还包括设置在所述支撑台主体上的直线导轨、滑动设置在所述直线导轨上的夹持机构、用于驱动所述夹持机构在所述直线导轨上滑动的驱动机构，以及固定设置在所述支撑台主体上的用于支撑...

本发明公开了一种大尺寸掩膜版下料装盒对位夹具，包括固定在正面盒体内用于支撑掩膜版的支撑组件和用于固定所述支撑组件的的对位固定夹具，所述对位固定夹具对掩膜版进行限位；在膜盒内固定后的掩膜版，其中心与正面盒体中心和背面盒体中心三者共线；所述...

本发明涉及掩膜版检查机，具体涉及一种掩膜版检查机检查区域坐标设置方法，获取待检查掩膜版需要设置图形点位的坐标信息，并对图形点位中参考点的坐标信息进行处理；待检查掩膜版进入掩膜版检查机后，寻找设置的参考点，并记录相应的实际点位坐标信息；根...

本发明涉及掩膜版光刻曝光，具体涉及一种掩膜版图形关键尺寸精度优化方法，设计具有不同图形缝隙面积占比ε的图形，并进行曝光量δ设计；采用固定的湿法制程工艺和CD测量系统，并计算关键尺寸偏差，建立曝光量δ与图形缝隙面积占比ε的关键尺寸偏差模型...

本实用新型涉及半导体光刻掩膜版制造技术领域，具体涉及一种用于掩膜版撬膜的放版装置，包括承重框架，所述承重框架呈凹型结构，其侧边以及中部均设置有导轨，所述导轨上滑动设置有支撑件，多个所述支撑件根据所处位置的不同其形状结构也有相应的变化。本...

本实用新型公开了一种掩膜版的下版中转装置，包括中转平台和置于中转平台上且呈中心对称状设置的前支撑组件、后支撑组件、左支撑组件和右支撑组件，前支撑组件和后支撑组件相对设置且做同步向相或相离运动，左支撑组件和右支撑组件相对设置且做同步向相或...

本实用新型涉及光刻掩膜版制造技术领域，具体涉及一种掩膜版灯检及翻面装置，包括基座，所述基座的顶面设置有可360

本实用新型公开了一种掩膜版涂胶装置，包括连接有旋转装置的涂胶平台，所述涂胶平台上设置有用于放置待涂胶掩膜版且连接有升降装置的升降板，所述升降板上方设置有可升降的涂胶盖板；在涂胶时，所述涂胶盖板下降至所述涂胶平台上并覆盖在待涂胶掩膜版上方...

本实用新型公开了一种用于掩模版制程相邻区域转运装置，包括转运仓，转运仓包括一呈罩状的转运仓壳体和置于转运仓壳体内的掩膜版放置区，转运仓壳体顶部设置有向转运仓壳体内吹入洁净空气的风淋系统，转运仓壳体的侧面上设置有进版仓门和出版仓门，进版仓...

本实用新型公开了一种测试板夹具，包括底板和盖板，所述底板中心位置设置有用于放置板材的夹持槽，所述夹持槽内设置有支撑件，所述夹持槽一侧设置有夹持件，所述夹持件活动设置且沿伸入或离开所述夹持槽方向运动；所述盖板盖合在所述底板上，且所述盖板中...

本实用新型公开了一种用于设备内部的清洁工具，包括一操作延长杆和清洁头；清洁头包括一用于夹紧被清洁件的夹爪和与夹爪连接的夹紧操作机构，夹爪包括相对设置的第一夹板和第二夹板，第一夹板和第二夹板上靠近夹紧操作机构端分别穿过有第一安装轴和第二安...

本实用新型公开了一种掩膜版擦胶用支撑装置，包括基座、设置在所述基座上且由下至上依次设置的安装板、定位板和支撑件；所述定位板上设置有定位标记，所述支撑件可拆卸设置在所述定位板上，且所述支撑件用于对掩膜版的四个角支撑固定。通过设置在定位板上...

本发明公开了一种小尺寸测试版脱膜方法，包括首先利用光照射测试版具有光刻胶的表面，光刻胶吸收光发生光解，使得光刻胶易溶于显影液；然后利用显影液冲洗被光照射后的测试版表面，将测试版表面发生光解的光刻胶冲洗溶解至无光刻胶残留；最后，用纯水冲洗...

本发明公开了一种掩膜版的上版装置，包括一呈倾斜状的支撑主体，支撑主体上设置有下支撑组件、左支撑组件和右支撑组件，下支撑组件、左支撑组件和右支撑组件形成一倾斜支撑面，掩膜板置于倾斜支撑面上且掩膜板中心与倾斜支撑面的中心重合，实现对掩膜板支...

本发明提出一种掩膜版缺陷点排序方法及基于该排序方法的掩膜版缺陷点修补方法，排序方法为，将掩膜版分区处理，分区间的扫描顺序为，从某一边角分区开始，S形逐个依序扫描；每个分区内的扫描顺序为，最先扫描距离上一分区最近的缺陷点，然后依次扫描与上...

本实用新型公开了一种无尘室用便携式吸尘器，包括集尘室和吸尘管，所述集尘室一侧设置有集尘口，所述集尘室远离集尘口一侧设置有排气口，所述吸尘管与集尘口可拆卸固定，所述集尘室内沿集尘口到排气口方向依次设置有用于灰尘降尘的降尘装置、用于灰尘吸入...

本实用新型公开了一种掩膜版批量临时存储装置，包括横截面呈U型框状结构的存储架，所述存储架上呈上下位置设置有若干存储层，所述存储层包括分别设置在所述存储架两相对的内侧面上的固定导梁，两所述固定导梁上设置有移动架，所述移动架沿所述固定导梁轴...

本实用新型公开了一种污水处理用排水槽，属于污水处理技术领域，包括水槽，所述水槽的一端安装排污管，所述排污管通过抽水泵排水，所述水槽的内部通过阻流板划分两个相互连通的区域，所述抽水泵安装在其中一个区域内，另一个区域安装有计量槽，所述计量槽...

本实用新型公开了一种无油压缩机冷却装置，属于空气压缩技术领域，包括连接在空气压缩机气体管路上的风水冷装置，所述风水冷装置通过循环水管与冷却水箱管道连接；所述风水冷装置包括带有进出水管和进出气管的壳体，所述进出水管与所述循环水管管道连接，...