本实用新型公开了一种光刻机大理石机台自动清洁装置，包括清洁机构、X向移动装置、Y向移动装置和Z向移动装置，清洁机构与X向移动装置连接，X向移动装置包括X向横梁和安装于X向横梁上且独立控制的第一X向移动装置和第二X向移动装置；第一X向移动...

本实用新型公开了一种掩膜版自动仓储装置，包括暂存料架和取料机构，暂存料架包括料架本体和设置在料架本体上的若干放版工位；放版工位沿料架本体高度方向设置有若干层，沿料架本体长度方向设置有若干个，沿料架本体宽度方向设置有一层；放版工位上沿料架...

本实用新型公开了一种小尺寸掩膜版显影蚀刻一体化设备，包括与待显影蚀刻掩膜版尺寸相适应的显影蚀刻腔，显影蚀刻腔顶部设置有腔口，腔口上设置有腔盖；显影蚀刻腔内设置有若干喷嘴和用于放置待显影蚀刻掩膜版的升降托台，喷嘴后部连接有显影液罐、蚀刻液...

本实用新型公开了一种掩膜版观察辅助装置，包括用于夹持掩膜版的夹持装置，夹持装置包括安装底板、升降支撑座和两夹持臂，升降支撑座置于安装底板上方并连接有升降机构，两夹持臂分别设置在升降支撑座两侧并分别连接有移动驱动机构，升降机构包括平行设置...

本实用新型公开了一种实现掩膜版自动化上下料的存版装置，包括底盘和设置在底盘上的移动底盘，移动底盘沿底盘表面移动，移动底盘远离底盘的上表面为放版面，放版面上设置掩膜版支撑组件；掩膜版支撑组件包括相对设的两组侧支撑组件，两组侧支撑组件之间设...

本实用新型公开了一种可旋转掩膜版临时存储装置，包括底座、设置在底座上的旋转机构、设置在旋转机构上的矩形安装架，以及设置在矩形安装架四个侧面的四组存储机构。存储机构实现对掩膜版13的夹持存储，每组存储机构可以存储2个两个掩膜版，因此，一个...

本实用新型公开了一种大尺寸掩膜版搬运装置，包括用于放置掩膜版的机械臂、驱动机械臂升降的升降装置和带动机械臂行走的行走小车；行走小车包括门架和安装于门架一侧的导向臂；机械臂安装在门架上且置于导向臂上方；机械臂包括与升降装置连接的安装部和固...

本发明公开了一种废光刻胶再生装置，包括控制系统和装置主体，所述装置主体包括混合罐、与混合罐通过管道连接的废胶罐溶剂罐和溶剂罐，以及与所述混合罐通过管道连接且沿光刻胶流动方向依次设置的过滤组件和新胶罐。废胶液和溶剂在混合罐中实现混合，以达...

本实用新型公开了一种用于线宽测量机的掩膜版夹具，涉及掩膜版加工领域，包括夹座1，夹座1的顶部固定安装有用于定位连接掩膜版的载具2，载具2呈中空结构设置，载具2的内侧四角固定安装有若干限位角板5，且载具2内侧中心处固定安装有紧固件6，夹座...

本发明公开了一种掩膜版镀膜LCVD载气浓度调节与测量设备，包括载气气路D、调节气路C、工作气路B和测量气路E；载气气路D和调节气路C并接，工作气路B和测量气路E并接且均连接在载气气路D和调节气路C的输出端；所述测量气路E包括测量阀Z3和...

本发明涉及光刻胶厚度测量，具体涉及一种掩膜版光刻胶厚度测量装置及测量方法，包括用于测量待测样板光刻胶厚度的测量单元，以及主控单元，主控单元接收测量单元的检测数据，并对检测数据进行处理，得到待测样板的光刻胶厚度；主控单元利用来自表面光刻胶...

本实用新型公开了一种掩膜版薄膜膜盒上料治具，包括膜盒平台、设置在膜盒平台前侧的挡板和设置在膜盒平台后侧的可移动的固定组件，挡板和固定组件分别由膜盒的前端面和后端面对膜盒夹紧固定；固定组件包括设置在膜盒平台后侧的安装座、穿过安装座并朝向膜...

本实用新型公开了一种掩膜版薄膜贴膜机膜盒固定装置，包括膜盒放置台面和相对设置在膜盒放置台面上的前挡板组件和后推板组件，前挡板组件和后推板组件分别抵靠在膜盒的前端面和后端面上，夹紧膜盒；前挡板组件包括至少两前挡板和分别连接在前挡板上的滚珠...

本实用新型公开了一种匀胶铬版涂胶用治具存储装置，包括存储箱和相对设置的支撑机构与扶版机构，支撑机构和扶版机构分别由治具的底部和顶部对薄板状的治具进行固定，并保持薄板状的治具呈直立状态放置；本实用新型的匀胶铬版涂胶用治具存储装置，解决现有...

本实用新型公开了一种掩膜版拆膜装置，包括上层部件和下层部件，所述上层部件和所述下层部件贴合设置且通过固定件可拆卸固定；所述上层部件包括上层水平部和与所述上层水平部一体设置的折弯部，所述折弯部呈上翘设置且游离端设置为倒角，所述折弯部的厚度...

本实用新型公开了一种掩膜版远程检查装置，包括实现掩膜版直立固定的立版装置和朝向立版装置设置的可移动相机机构，立版装置包括可调版架和驱动可调版架旋转实现掩膜版翻面的翻面装置；可调版架包括置于直立状的掩膜版底部的版托以及分别置在直立状的掩膜...

本实用新型涉及掩膜版涂胶机设备技术领域，具体涉及一种涂胶机喷涂装置，包括喷嘴，所述喷嘴的外壁套设有沿其长度方向往复移动的活动座，所述活动座的两侧均通过卡接组件活动连接有支板，所述支板的下端设置有激光传感器。本实用新型中，通过在喷嘴的端部...

本实用新型公开了一种掩膜版检查搬运装置，包括支撑台主体、滚轮和把手，还包括设置在所述支撑台主体上的直线导轨、滑动设置在所述直线导轨上的夹持机构、用于驱动所述夹持机构在所述直线导轨上滑动的驱动机构，以及固定设置在所述支撑台主体上的用于支撑...

本发明公开了一种大尺寸掩膜版下料装盒对位夹具，包括固定在正面盒体内用于支撑掩膜版的支撑组件和用于固定所述支撑组件的的对位固定夹具，所述对位固定夹具对掩膜版进行限位；在膜盒内固定后的掩膜版，其中心与正面盒体中心和背面盒体中心三者共线；所述...

本发明涉及掩膜版检查机，具体涉及一种掩膜版检查机检查区域坐标设置方法，获取待检查掩膜版需要设置图形点位的坐标信息，并对图形点位中参考点的坐标信息进行处理；待检查掩膜版进入掩膜版检查机后，寻找设置的参考点，并记录相应的实际点位坐标信息；根...