本实用新型专利技术公开了一种掩膜版观察辅助装置，包括用于夹持掩膜版的夹持装置，夹持装置包括安装底板、升降支撑座和两夹持臂，升降支撑座置于安装底板上方并连接有升降机构，两夹持臂分别设置在升降支撑座两侧并分别连接有移动驱动机构，升降机构包括平行设置的升降电缸和升降导杆，升降导杆与升降支撑座的底面固接并竖直向下穿过安装底板，升降支撑座的底面中心位置设置有连接孔，升降电缸的电缸推杆向上穿过安装底板并延伸至连接孔内且与连接孔转动连接；安装底板上连接有旋转装置，旋转装置带动夹持装置和被夹持的掩膜版旋转；本实用新型专利技术的掩膜版观察辅助装置，解决现有技术中掩膜版在观察时，观察角度差，观察动作难等问题。观察动作难等问题。观察动作难等问题。
【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版观察辅助装置
[0001]本技术属于掩膜版加工用设备领域，更具体的说涉及一种掩膜版观察辅助装置。
技术介绍
[0002]掩膜版(Photomask)也称光罩或MASK，是一种用于微电子制造过程中的图形转移工具或模版，通过曝光、显影以及蚀刻等工序，在玻璃铬版上制作需要的微观图形，主要应用于微电子平版印刷。
[0003]在整个掩膜版的制作流程大致分为铬版清洗，光刻胶涂布，烘烤，膜厚测量，光刻，显影，蚀刻，脱膜清洗，镜面清洗，缺陷检查，CD测量，TP测量，缺陷修补等环节。掩膜版的整个制作过程多是在自动化的无尘设备内部进行，操作者一般是站立于设备外部，通过设备上的玻璃门窗进行观察，即使是在对掩膜版进行检查时，也是将观察辅助设备安装与无尘设备内部，然后通过设备上的玻璃门窗对辅助设备安装的掩膜版进行观察。因自动化的无尘设备内部布局和设计，以及为了适应更多的掩膜版型号的加工，观察辅助设备安装高度、位置以及夹持在其上的掩膜版并不利于观察，操作者观察时，往往是需要半蹲、弯腰或站立在辅助的凳子、台面和梯子上进行观察，观察视野差，危险系数高。特别是对掩膜版的底部或底边沿位置难以观察到。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种掩膜版观察辅助装置，解决现有技术中掩膜版在观察时，观察角度差，观察动作难等问题。
[0005]本技术技术方案一种掩膜版观察辅助装置，包括用于夹持掩膜版的夹持装置，所述夹持装置包括安装底板、升降支撑座和两夹持臂，所述升降支撑座置于所述安装底板上方并连接有升降机构，两所述夹持臂分别设置在所述升降支撑座两侧并分别连接有移动驱动机构，
[0006]所述升降机构包括平行设置的升降电缸和升降导杆，所述升降导杆与所述升降支撑座的底面固接并竖直向下穿过所述安装底板，所述升降支撑座的底面中心位置设置有连接孔，所述升降电缸的电缸推杆向上穿过所述安装底板并延伸至所述连接孔内且与所述连接孔转动连接；
[0007]所述安装底板上连接有旋转装置，所述旋转装置带动夹持装置和被夹持的掩膜版旋转。
[0008]优选地，所述升降导杆设置有两，且分别置于所述连接孔两侧，所述安装底板上设置有两与升降导杆相适应的导孔和一第一避让孔，所述升降导杆直径与所述导孔直径相适应并由所述导孔穿过，所述升降电缸的电缸推杆直径小于所述第一避让孔直径并由所述第一避让孔穿过。
[0009]优选地，所述连接孔内设置有连接轴承，所述升降电缸的电缸推杆与所述连接轴
承连接。
[0010]优选地，所述移动驱动机构包括均安装于所述安装底板上且呈平行状设置的水平导杆和螺杆，所述螺杆一端连接夹紧电机，所述夹持臂的底部套接在所述水平导杆和螺杆上。
[0011]优选地，两夹持臂相对的侧面上分别均布有夹爪，所述夹爪上设置有夹持槽，两所述夹持臂上的夹持槽相对设置，两所述夹持臂上还分别设置有第二传感器和第三传感器。
[0012]优选地，所述升降支撑座的上表面上设置有支撑轮组，所述支撑轮组包括两橡胶凹轮，所述橡胶凹轮的轮面中线与夹持槽中线在同一竖直平面内；两橡胶凹轮之间还设置有第一传感器。
[0013]优选地，所述旋转装置包括包括旋转电机、由所述旋转电机带动的主动轮和与所述主动轮啮合的从动轮，所述从动轮与所述安装底板的底面固接，所述从动轮设置有第二避让孔，所述第二避让孔与所述从动轮同轴设置，所述升降电缸的电缸推杆由所述第二避让孔穿过。
[0014]优选地，掩膜版观察辅助装置还包括电控柜，所述旋转电机和所述升降电缸均安装于所述电控柜内，所述主动轮和所述从动轮均为齿轮且均安装与所述电控柜的顶面上，旋转电机的电机轴和升降电缸的电缸推杆由电控柜的顶面穿出。
[0015]本技术技术方案一种掩膜版观察辅助装置的有益效果是：工作时，首先将升降支撑座上升一定距离，使其远离安装底板，然后将掩膜版置于掩膜版观察辅助装置，此时掩膜版的底部或底边沿距离安装底板较远，便于对掩膜版的底部和底边沿进行观察。本技术方案中，升降支撑座能够连续上升，可以根据掩膜版尺寸上升至不同高位，更进一步便于对掩膜版进行观察，特别是将小尺寸的掩膜版上升至较高的位置观察，使得观察工作更简单，确保获得高质量掩膜版。
附图说明
[0016]图1为本技术技术方案一种掩膜版观察辅助装置结构示意图。
[0017]图2为图1中局部放大图。
[0018]图3为本技术技术方案一种掩膜版观察辅助装置工作示意图。
[0019]图4为图1中夹持臂和支撑轮组的右视图。
具体实施方式
[0020]为便于本领域技术人员理解本技术技术方案，现结合具体实施例和说明书附图对本技术技术方案做进一步的说明。
[0021]如图1所示，本技术技术方案一种掩膜版观察辅助装置，包括用于夹持掩膜版的夹持装置，夹持装置包括安装底板1、升降支撑座21和两夹持臂3。升降支撑座21置于安装底板1上方并连接有升降机构5，两夹持臂3分别设置在升降支撑座21两侧并分别连接有移动驱动机构4。升降机构5包括平行设置的升降电缸51和升降导杆52，升降导杆52与升降支撑座21的底面固接并竖直向下穿过安装底板1。升降支撑座21的底面中心位置设置有连接孔24，升降电缸51的电缸推杆511向上穿过安装底板1并延伸至连接孔24内且与连接孔24转动连接。
[0022]基于上述技术方案，通过控制升降电缸51工作，升降电缸51带动升降支撑座21向上移动，使得升降支撑座21远离安装底板1，将掩膜版置于升降支撑座21上，同时通过两夹持臂3对掩膜版进行夹紧，被夹紧的掩膜版底面和底边沿远离安装底板1，便于对掩膜版的观察，特别是便于对掩膜版底边沿和底面的观察，可以实现对掩膜版底边沿和底面的直视观察，不需要弯腰或站立于高处向下观察，观察检查效果更好，确保了检查的准确性。同时也降低了掩膜版观察检查的工作强度，避免了登高的危险性。
[0023]基于上述技术方案，根据待夹持的掩膜版的尺寸，控制升降电缸51带动升降支撑座21向上移动至不同的高度。若是掩膜版尺寸小，则升降支撑座21向上移动距离较大，使得升降支撑座21处于较高的位置，在小尺寸掩膜版夹持后，小尺寸掩膜版位于较高位置，便于对掩膜版的观察。若是掩膜版尺寸大，则升降支撑座21向上移动距离较小，升降支撑座21实现了升高但是处于较低的位置，在大尺寸掩膜版夹持后，能够确保大尺寸掩膜版夹持的稳定性，同时也确保大尺寸掩膜版的底面和底边沿远离安装底板，避免安装底板或其他部件对掩膜版底面和底边沿位置造成直接遮挡或光线遮挡，即便于对大尺寸掩膜版的底面和底边沿进行观察。
[0024]基于上述技术方案，设置与升降电缸51平行的升降导杆52，升降导杆52与升降支撑座21固接，实现在升降支撑座21升降时保持平稳。同时，升降导杆52与升降支撑座21固接且穿过安装底板，安装底板1上连接有旋转装置6，旋转装置6带动夹持装置和被夹持的掩膜版旋转。即旋转装置6工作，带动安装底板旋转，安装底板通过穿过其上本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种掩膜版观察辅助装置，其特征在于，包括用于夹持掩膜版的夹持装置，所述夹持装置包括安装底板、升降支撑座和两夹持臂，所述升降支撑座置于所述安装底板上方并连接有升降机构，两所述夹持臂分别设置在所述升降支撑座两侧并分别连接有移动驱动机构，所述升降机构包括平行设置的升降电缸和升降导杆，所述升降导杆与所述升降支撑座的底面固接并竖直向下穿过所述安装底板，所述升降支撑座的底面中心位置设置有连接孔，所述升降电缸的电缸推杆向上穿过所述安装底板并延伸至所述连接孔内且与所述连接孔转动连接；所述安装底板上连接有旋转装置，所述旋转装置带动夹持装置和被夹持的掩膜版旋转。2.根据权利要求1所述的一种掩膜版观察辅助装置，其特征在于，所述升降导杆设置有两，且分别置于所述连接孔两侧，所述安装底板上设置有两与升降导杆相适应的导孔和一第一避让孔，所述升降导杆直径与所述导孔直径相适应并由所述导孔穿过，所述升降电缸的电缸推杆直径小于所述第一避让孔直径并由所述第一避让孔穿过。3.根据权利要求1所述的一种掩膜版观察辅助装置，其特征在于，所述连接孔内设置有连接轴承，所述升降电缸的电缸推杆与所述连接轴承连接。4.根据权利要求1所述的一种掩膜版观察辅助装置，其特征在于，所述移动驱动机构包括均安装于所述安...
【专利技术属性】
技术研发人员：李桂，魏晖，李伟，张华超，叶小稳，葛翔，
申请(专利权)人：合肥清溢光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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