本实用新型专利技术公开了一种掩膜版擦胶用支撑装置，包括基座、设置在所述基座上且由下至上依次设置的安装板、定位板和支撑件；所述定位板上设置有定位标记，所述支撑件可拆卸设置在所述定位板上，且所述支撑件用于对掩膜版的四个角支撑固定。通过设置在定位板上的定位标记可以准确找到支撑件的固定位置，以确保支撑件可以对不同尺寸的掩膜版进行支撑固定。定位板为PP板，安装板为铝板。铝板使定位板固定更加稳固，PP板具有耐腐蚀性，避免胶料腐蚀定位板，延长定位板的使用寿命。延长定位板的使用寿命。延长定位板的使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版擦胶用支撑装置
[0001]本技术涉及掩膜版加工
，更具体地说，涉及一种掩膜版擦胶用支撑装置。
技术介绍
[0002]在掩膜版制作过程中光刻胶的涂布是一道非常重要的工序，将光刻胶涂布在金属铬层上，经过黄光工艺中的曝光、显影后留下的光刻胶对底层起保护作用，然后通过主要成分硝酸铈铵、高氯酸、去离子水对没有留下光刻胶的地方进行蚀刻，从而完成将掩膜版Mask图形转移到样品上的一个图形转移过程，因此，对光刻胶的涂布要求比较高。
[0003]目前，在制作掩膜版黄光工艺中用到的光刻胶涂胶方式主要有Spin旋转涂布和Slit涂布主要2种方式，Spin涂胶机由于自身设备工艺的特点，在Spin台板高速旋转时，光刻胶均匀散布整张基板，同时在MASK基板的侧面和边缘镜面也会涂布到光刻胶，这样就会在后面的生产工序造成环境以及设备的污染和导致基板在光刻时水平度不好造成产品精度偏差，甚至产生产品报废的风险。因此，需要对涂胶后的掩膜版的侧面进行擦胶处理，擦胶处理时需要通过专门的支撑装置对掩膜版进行支撑固定。但是现有技术中在对掩膜版进行支撑固定时，掩膜版的固定和拆卸难度大，且支撑装置尺寸调节困难，无法做到根据掩膜版尺寸进行随意切换，使用灵活性差。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种掩膜版擦胶用支撑装置，用以解决上述
技术介绍
中存在的技术问题。
[0005]本技术技术方案一种掩膜版擦胶用支撑装置，包括基座、设置在所述基座上且由下至上依次设置的安装板、定位板和支撑件；所述定位板上设置有定位标记，所述支撑件可拆卸设置在所述定位板上，且所述支撑件用于对掩膜版的四个角支撑固定。
[0006]在一个优选地实施例中，所述定位标记包括贯穿设置在所述定位板上的若干个定位孔，若干个所述定位孔对称设置为四组。
[0007]在一个优选地实施例中，所述支撑件包括四个垫块组件，所述垫块组件包括下垫块和与所述下垫块可拆卸固定的设有L型侧挡板的上垫块，每一个所述垫块组件用于支撑掩膜版的一个角。
[0008]在一个优选地实施例中，所述下垫块和所述上垫块上均设置有第一固定孔，所述下垫块与所述上垫块通过第一固定孔固定。
[0009]在一个优选地实施例中，所述下垫块上设置有第二固定孔，所述第二固定孔内固定有定位销，所述定位销伸出所述第二固定孔，所述垫块组件与所述定位板固定时，所述定位销插入所述定位孔内。
[0010]在一个优选地实施例中，所述基座底部设置有四个支撑脚，所述支撑脚上设置有滚轮组件。
[0011]在一个优选地实施例中，所述定位板为PP板，所述安装板为铝板。
[0012]在一个优选地实施例中，所述下垫块为不锈钢材质，所述上垫块铁氟龙材质。
[0013]本技术技术方案的有益效果是：
[0014]1.通过设置在定位板上的定位标记可以准确找到支撑件的固定位置，以确保支撑件可以对不同尺寸的掩膜版进行支撑固定。定位板为PP板，安装板为铝板。铝板使定位板固定更加稳固，PP板具有耐腐蚀性，避免胶料腐蚀定位板，延长定位板的使用寿命。
[0015]2.垫块组件与定位板之间采用插接固定方式，便于垫块组件的固定和拆卸，下垫块底部采用三个定位销设计，保证垫块组件固定的牢固性。
[0016]3.上垫块上的L型侧挡板用于对掩膜版进行限位，四个垫块组件相互配合，保证掩膜版可以稳定固定。
附图说明
[0017]图1为本技术结构拆解图，
[0018]图2为本技术定位板俯视图，
[0019]图3为本技术垫块组件结构拆解图，
[0020]图4为本技术垫块组件结构示意图。
[0021]附图标记说明：1基座、11支撑脚、12滚轮组件、2安装板、3定位板、31定位孔、4垫块组件、41下垫块、42上垫块、43L型侧挡板、44第一固定孔、45第二固定孔、46定位销。
具体实施方式
[0022]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。本技术的实施例是为了示例和描述方便起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本技术限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本技术的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本技术从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
[0023]参照图1
‑
图4，本技术技术方案一种掩膜版擦胶用支撑装置，包括基座1、设置在基座1上且由下至上依次设置的安装板2、定位板3和支撑件。定位板3上设置有定位标记，支撑件可拆卸设置在定位板3上，且支撑件用于对掩膜版的四个角支撑固定。
[0024]安装板2固定在基座1上，定位板3固定在安装板2上，通过设置在定位板3上的定位标记可以准确找到支撑件的固定位置，以确保支撑件可以对不同尺寸的掩膜版进行支撑固定。定位板3为PP板，安装板2为铝板，铝板使定位板3固定更加稳固，PP板具有耐腐蚀性，避免胶料腐蚀定位板3，延长定位板3的使用寿命。
[0025]定位标记包括贯穿设置在定位板3上的若干个定位孔31，若干个定位孔31对称设置为四组。支撑件包括四个垫块组件4，垫块组件4包括下垫块41和与下垫块41可拆卸固定的设有L型侧挡板43的上垫块42，每一个垫块组件4用于支撑掩膜版的一个角。
[0026]每一组定位孔31用于一个垫块组件4定位固定，垫块组件4通过选择与不同位置上的定位孔31固定，进而实现垫块组件4的位置改变。上垫块42上的L型侧挡板43用于对掩膜版进行限位，四个垫块组件4相互配合，保证掩膜版可以稳定固定。
[0027]下垫块41和上垫块42上均设置有第一固定孔44，下垫块41与上垫块42通过第一固
定孔44固定。固定时，上垫块42上的第一固定孔44和下垫块41上的第一固定孔44对应，然后通过螺栓等固定件实现上垫块42与下垫块41的固定。下垫块41为不锈钢材质，上垫块42铁氟龙材质。下垫块41实现与定位板3的连接，上垫块42用于对掩膜版支撑，铁氟龙材质具有防腐性，避免胶料对上垫块42造成腐蚀。
[0028]下垫块41上设置有第二固定孔45，第二固定孔45内固定有定位销46，定位销46伸出第二固定孔45，垫块组件4与定位板3固定时，定位销46插入定位孔31内。垫块组件4与定位板3之间采用插接固定方式，便于垫块组件4的固定和拆卸，下垫块41底部采用三个定位销46设计，保证垫块组件4固定的牢固性。
[0029]基座1底部设置有四个支撑脚11，支撑脚11上设置有滚轮组件12。通过设置滚轮组件12便于整个装置进行移动。
[0030]显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本技术保护的范围。本技术中未具体描述和解释说明的结构、装置以及本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种掩膜版擦胶用支撑装置，其特征在于：包括基座、设置在所述基座上且由下至上依次设置的安装板、定位板和支撑件；所述定位板上设置有定位标记，所述支撑件可拆卸设置在所述定位板上，且所述支撑件用于对掩膜版的四个角支撑固定。2.根据权利要求1所述的一种掩膜版擦胶用支撑装置，其特征在于：所述定位标记包括贯穿设置在所述定位板上的若干个定位孔，若干个所述定位孔对称设置为四组。3.根据权利要求2所述的一种掩膜版擦胶用支撑装置，其特征在于：所述支撑件包括四个垫块组件，所述垫块组件包括下垫块和与所述下垫块可拆卸固定的设有L型侧挡板的上垫块，每一个所述垫块组件用于支撑掩膜版的一个角。4.根据权利要求3所述的一种掩膜版擦胶用支撑装置，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏晖，左立波，龚清华，马晓辉，李伟，蔡航，
申请(专利权)人：合肥清溢光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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