一种测试板夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种测试板夹具，包括底板和盖板，所述底板中心位置设置有用于放置板材的夹持槽，所述夹持槽内设置有支撑件，所述夹持槽一侧设置有夹持件，所述夹持件活动设置且沿伸入或离开所述夹持槽方向运动；所述盖板盖合在所述底板上，且所述盖板中心位置设置有与板材对应的通槽。通过设置夹持槽提供了板材的放置位，利用支撑件对板材进行支撑，便于后续进行固定；通过夹持件对放置后的板材进行夹持固定，通过上述夹持方式，可以保证板材固定的牢固性和水平度，同时避免对板材造成损坏。同时避免对板材造成损坏。同时避免对板材造成损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种测试板夹具


[0001]本技术涉及掩膜版加工设备
，更具体地说，涉及一种测试板夹具。

技术介绍

[0002]G8.5代光掩膜板行业生产过程中，图形修补机(LCVD)能够正常检查的掩膜版尺寸在520*800mm到1400*1600mm，厚度在8
‑
13mm区域。由于行业的生产的特殊性，在产品生产前会采用小板进行工艺规格确认，通常采用6寸板进行工艺规格确认，6寸板尺寸为152.4*152.4mm，厚度在6.25mm左右。
[0003]实际使用过程中，由于尺寸的限定，6寸板的尺寸较小无法直接载入图形修补机进行修补工作，因而需要借用借用夹具进行夹持。目前光掩膜行业所采用的传统夹具主要有三点不适合修补机使用。第一，传统夹具大多数都是水平放置，此类放置方式不适合检查机的放板检查方式；第二，传统夹具采取外框限位固定的方式，没有对夹具中间板材采取有效的固定措施；第三，夹具到设备里后，设备需要测量板材和夹具的水平，高低差距不能大于1500um，现有夹具固定时板材与夹具之间的水平度差距大，易出现板材倾斜的情况。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种测试板夹具，板材可以在倾斜状态下放入夹具中，固定牢固，且固定后的板材水平度高，用以解决上述
技术介绍
中存在的技术问题。
[0005]本技术技术方案一种测试板夹具，包括底板和盖板，所述底板中心位置设置有用于放置板材的夹持槽，所述夹持槽内设置有支撑件，所述夹持槽一侧设置有夹持件，所述夹持件活动设置且沿伸入或离开所述夹持槽方向运动；所述盖板盖合在所述底板上，且所述盖板中心位置设置有与板材对应的通槽。
[0006]在一个优选地实施例中，所述支撑件包括对称设置在所述夹持槽两侧支撑台，所述支撑台包括竖直设置的连接板和垂直于所述连接板设置的支撑板，所述连接板与所述夹持槽的内壁贴合固定。
[0007]在一个优选地实施例中，所述夹持槽一侧设置有一侧设有缺口的缺口槽，所述缺口槽内设置有滑槽，所述夹持件设置在所述滑槽内，所述夹持件包括滑动夹板、第一螺栓和第二螺栓，所述滑动夹板上设置有螺纹孔，所述第一螺栓和所述第二螺栓均一侧位于所述螺纹孔内、一侧位于所述滑槽外。
[0008]在一个优选地实施例中，所述滑动夹板朝向所述夹持槽，且所述滑动夹板上设置有一水平部，所述水平部压在板材上表面。
[0009]在一个优选地实施例中，所述夹持槽两侧连通设置有第一凹槽，所述底板两侧设置有第二凹槽，且所述第二凹槽延伸至所述底板外，所述第一凹槽和所述第二凹槽均对称设置。
[0010]在一个优选地实施例中，所述底板边缘周向设置有隔挡板，且所述底板上嵌设有若干个磁块，所述盖板与所述底板磁吸固定。
[0011]在一个优选地实施例中，所述通槽的横截面积小于所述盖板的横截面积，且所述盖板盖住板材的四周。
[0012]本技术技术方案的有益效果是：
[0013]1.通过设置夹持槽提供了板材的放置位，利用支撑件对板材进行支撑，便于后续进行固定；通过夹持件对放置后的板材进行夹持固定，通过上述夹持方式，可以保证板材固定的牢固性和水平度，同时避免对板材造成损坏。
[0014]2.通过盖板的盖合保证了夹具的整体性，盖合后仅有板材漏出，保证夹具表面的水平度，避免了其它部件对测试的影响，提升测试结果的准确性。
[0015]3.通过设置第一凹槽和第二凹槽，在板材和盖板外形成缺口，方便板材和盖板的取放。
附图说明
[0016]图1为本技术结构拆解图，
[0017]图2为本技术图1中A处放大图，
[0018]图3为本技术盖板与底板盖合图。
[0019]附图标记说明：1底板、11隔挡板、2盖板、21通槽、3夹持槽、4支撑台、41连接板、42支撑板、5缺口槽、6滑槽、7夹持件、71滑动夹板、72第一螺栓、73第二螺栓、8第一凹槽、9第二凹槽、10磁块。
具体实施方式
[0020]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。本技术的实施例是为了示例和描述方便起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本技术限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本技术的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本技术从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
[0021]参照图1
‑
图3，本技术技术方案一种测试板夹具，为了保证夹具可以放入修补机中，夹具的整体尺寸设置为520*800mm。夹具包括底板1和盖板2，盖板2盖合在底板1上，且盖板2中心位置设置有与板材对应的通槽21。底板1中心位置设置有用于放置板材的夹持槽3，夹持槽3内设置有支撑件，夹持槽3一侧设置有夹持件7，夹持件7活动设置且沿伸入或离开夹持槽3方向运动。
[0022]夹板时，先将板材放置到夹持槽3中，并通过夹持槽3内的支撑件进行支撑，然后再移动活动设置在夹持槽3一侧的夹持件7对板材进行夹持固定；板材夹持固定完成后，将盖板2盖在底板1上，并通过通槽21处将板材漏出，至此完成板材的固定。
[0023]通过设置夹持槽3提供了板材的放置位，利用支撑件对板材进行支撑，便于后续进行固定；通过夹持件7对放置后的板材进行夹持固定，通过上述夹持方式，可以保证板材固定的牢固性和水平度，同时避免对板材造成损坏。
[0024]底板1边缘周向设置有隔挡板11，且底板1上嵌设有若干个磁块10，盖板2与底板1磁吸固定。盖板2盖合时通过隔挡板11进行限位隔挡，磁吸方式进行盖板2与底板1的固定，便于固定和拆卸。通槽21的横截面积小于盖板2的横截面积，且盖板2盖住板材的四周。通过
盖板2的盖合保证了夹具的整体性，盖合后仅有板材漏出，保证夹具表面的水平度，避免了其它部件对测试的影响，提升测试结果的准确性。
[0025]支撑件包括对称设置在夹持槽3两侧支撑台4，支撑台4包括竖直设置的连接板41和垂直于连接板41设置的支撑板42，连接板41与夹持槽3的内壁贴合固定。通过支撑板42对板材进行支撑，连接板41的设置避免板材与夹持槽3侧壁接触，避免夹持槽3对板材造成磨损。
[0026]夹持槽3一侧设置有一侧设有缺口的缺口槽5，缺口槽5内设置有滑槽6，夹持件7设置在滑槽6内，夹持件7包括滑动夹板71、第一螺栓72和第二螺栓73，滑动夹板71上设置有螺纹孔，第一螺栓72和第二螺栓73均一侧位于螺纹孔内、一侧位于滑槽6外。滑动夹板71朝向夹持槽3，且滑动夹板71上设置有一水平部，水平部压在板材上表面。
[0027]板材放入夹持槽3后，通过推动滑动夹板71使滑动夹板71的水平部压在板材上方，并用滑动夹板71的侧边将板材顶住。然后拧紧第一螺栓72和第二螺栓73，使第一螺栓72与第二螺栓73紧固在滑槽6外，进而实现滑动夹板71的固定。
[0028]夹持槽3两侧连通设置有第一凹槽8，底板1两侧设置有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试板夹具，其特征在于：包括底板和盖板，所述底板中心位置设置有用于放置板材的夹持槽，所述夹持槽内设置有支撑件，所述夹持槽一侧设置有夹持件，所述夹持件活动设置且沿伸入或离开所述夹持槽方向运动；所述盖板盖合在所述底板上，且所述盖板中心位置设置有与板材对应的通槽。2.根据权利要求1所述的一种测试板夹具，其特征在于：所述支撑件包括对称设置在所述夹持槽两侧支撑台，所述支撑台包括竖直设置的连接板和垂直于所述连接板设置的支撑板，所述连接板与所述夹持槽的内壁贴合固定。3.根据权利要求1所述的一种测试板夹具，其特征在于：所述夹持槽一侧设置有一侧设有缺口的缺口槽，所述缺口槽内设置有滑槽，所述夹持件设置在所述滑槽内，所述夹持件包括滑动夹板、第一螺栓和第二螺栓，所述滑动夹板上设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵耀辉，王彪，宋恺，
申请(专利权)人：合肥清溢光电有限公司，
类型：新型
国别省市：