本发明提供了多羟基酚化合物及其制备方法、重氮萘醌磺酸酯及其制备方法和光刻胶组合物。该多羟基酚化合物具有如下式(I)所示结构。采用本申请提供的多羟基酚化合物作为中间体制备得到的重氮萘醌磺酸酯作为光敏剂应用于光刻胶组合物中，得到的光刻胶不仅...

本发明提供了一种硫酯类化合物及其制备方法、碱可溶性树脂、感光性树脂组合物及其应用。该硫酯类化合物具有如下通式I：其中，m为1或2，q为0～2中的任意一个整数，p为0～10中的任意一个整数，R1选自C6～C30的取代或非取代的芳基、C4～...

本发明提供了一种肟酯光引发剂、其制备方法及应用。该肟酯光引发剂具有通式(I)所示结构，其中，R1、R2分别独立地选自取代或未取代的C1～C20的烷基、取代或未取代的C3～C20的环烷基、取代或未取代的C6～C20的芳基、取代或未取代的C...

本发明提供了一种负性聚酰亚胺光刻胶、凹凸图案的制备方法及半导体装置。按重量份计，负性聚酰亚胺光刻胶包括100份聚酰亚胺前驱体、0.5～20份光引发剂和100～2000份溶剂；其中聚酰亚胺前驱体具有通式(I)所示结构，其X、Y、R均具有特...

本发明提供了一种聚酰亚胺前驱体、光刻胶组合物及其应用。该聚酰亚胺前驱体具有通式(I)所示结构，其中R选自CH3CH＝CHC(＝O)OCH2CH2*；X具有结构式I～VIII所示结构中的任意一种；Y具有结构式1～5所示结构中的任意一种；m...

本发明提供了一种肟酯类化合物、含其光引发剂、光固化树脂组合物及应用。该肟酯类化合物具有式(I)～(IV)中任一项所示的结构：本申请提供的具有上述式(I)至式(IV)结构的肟酯类化合物具有稳定的结构，不易产生小分子碎片，且抗氧阻聚性能优异...

本发明提供了一种萘系增感剂其制备方法以及光固化组合物和光固化产品，该萘系增感剂具有以下结构式I所示结构：其中，R1、R2相互独立地选自取代或未取代的C1‑

本发明提供了一种光固化组合物及光刻胶。该光固化组合物包括树脂A、树脂B及交联剂；其中，树脂A为含有环氧基团的树脂；树脂B为含有式所示糠酯结构的丙烯酸酯聚合物。本发明在现有的光刻胶配方基础上，额外添加含有上述糠酯结构的丙烯酸酯聚合物作为第...

本发明公开一种低粘度氧杂环丁烷类聚合物及其制备方法和应用，以及包含其的能量固化组合物。所述氧杂环丁烷类聚合物由式(I)和式(Ⅱ)所示的化合物反应制备而成，其综合应用性能优异，且柔韧性佳。且柔韧性佳。且柔韧性佳。

本发明提供了一种有机磷类引发剂及其制备方法、光固化组合物。有机磷类引发剂，其具有通式I所示结构。其中，R1表示C1‑

本发明提供了一种肟磺酸酯光酸、含其的抗蚀剂组合物、电子器件及应用。该肟磺酸酯光酸包括：式(A1)所示的化合物和/或式(A2)所示的化合物，其中L选自以下基团去掉两个氢原子获得的残基：噻吩、苯并噻吩、噻吩并噻吩、吡咯、吡咯烷、吡咯烷酮、吡...

本发明提供了一种制备酰基氧化膦光引发剂并联产取代氧杂环丁烷类化合物的方法。上述方法包括以下步骤：步骤S1，将具有通式(III)结构的苯基二卤化膦和具有通式(IV)结构的3

本发明提供了一种有机磷类大分子类引发剂及其制备方法、光固化组合物。该有机磷类大分子类引发剂，其具有以下结构。其中，R1表示氢或C1‑

本发明公开一种感光度高，溶解性和化学稳定性更具优势的i线肟磺酸酯类光产酸剂，含有该光产酸剂的抗蚀剂组合物及其应用，所述肟磺酸酯类光产酸剂具有通式(I)所示结构。酸酯类光产酸剂具有通式(I)所示结构。酸酯类光产酸剂具有通式(I)所示结构。

本发明公开一种感光度高，溶解性、热稳定性和化学稳定性更具优势的肟磺酸酯类光产酸剂，含有该光产酸剂的抗蚀剂组合物及其应用，所述肟磺酸酯类光产酸剂具有通式(I)所示结构。构。构。

本发明公开一种感光度高，溶解性、热稳定性和化学稳定性更具优势的肟磺酸酯类光产酸剂，含有该光产酸剂的抗蚀剂组合物及其应用，所述肟磺酸酯类光产酸剂具有通式(I)所示结构：构：构：

本发明提供了一种肟磺酸酯化合物、含其的抗蚀剂组合物、电子器件及应用。肟磺酸酯化合物包括通式(A)所示的化合物。通式(A)所示化合物属于非离子型光产酸剂，具有吸光性基团和产酸性基团，磺酸酯基与肟结构直接相连，在活性能量射线照射下能够发生N

本发明提供了一种肟磺酸酯光产酸剂、含其的抗蚀剂组合物、电子器件及应用。肟磺酸酯光产酸剂包括通式(A)所示的化合物。本申请中通式(A)所示的化合物属于非离子型光产酸剂，具有吸光性基团和产酸性基团，磺酸酯基与肟结构直接相连，在活性能量射线照...

本发明公开一种具有式(I)所示结构的低粘度氧杂环丁烷类含氟聚合物及其制备方法和应用，以及包含其的能量固化组合物，式(I)中R1代表氟代烷基，所述聚合物的重均分子量在300

本发明提供了一种多支化聚合物、碱可溶性树脂及光固化组合物。该多支化聚合物由包括含芴结构的聚合物和多官能环氧化合物的物质聚合而成，多支化聚合物的内核结构由多官能环氧化合物提供，多支化聚合物的外侧支链由含芴结构的聚合物提供，含芴结构的聚合物...