一种高产酸的肟磺酸酯类光产酸剂制造技术

本发明专利技术公开一种感光度高，溶解性、热稳定性和化学稳定性更具优势的肟磺酸酯类光产酸剂，含有该光产酸剂的抗蚀剂组合物及其应用，所述肟磺酸酯类光产酸剂具有通式(I)所示结构：构：构：

【技术实现步骤摘要】
一种高产酸的肟磺酸酯类光产酸剂


[0001]本专利技术属于感光材料
，具体涉及一种在300
‑
450nm波长范围内高产酸的肟磺酸酯类光产酸剂、含有该光产酸剂的抗蚀剂组合物及其应用。

技术介绍

[0002]光产酸剂是化学增幅型光致抗蚀剂的关键组成之一，其结构和性能对光刻图像有较大影响。非离子i线光产酸剂主要是磺酸酯类。其中，肟磺酸酯类光产酸剂在半导体领域中用作光引发剂已被广泛知悉，如JP2000066385A、JP2016169173A、CN1989455B、CN101473268A、CN112010788A等专利文献中公开了多种不同的肟磺酸酯光产酸剂。这些技术中很少能将光敏感区涵盖i
‑
g线，或在i
‑
g线的产酸率较低。随着对高精细化图案的要求，对于光产酸剂，须具有溶解性高、产酸率高、热稳定性匹配和化学稳定性好等条件。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种感光度高，溶解性、热稳定性和化学稳定性更具优势的肟磺酸酯类光产酸剂，含有该光产酸剂的抗蚀剂组合物及其应用。
[0004]为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供一种肟磺酸酯类光产酸剂，具有如下通式(I)所示结构：
[0005][0006]其中，
[0007]R1表示C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷基、C3‑
C
20
的环烷基、C1‑
C
20
的直链状或支链状的氟代烷基、C3‑
C
20
的氟代环烷基、C6‑
C
18
的取代或未取代的芳基、樟脑基、樟脑醌基或叠氮萘酮基团；
[0008]R2与R2’
可相同，也可不同，各自独立地选自下列基团：氢，卤素，C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷基，C3‑
C
20
的环烷基，C2‑
C
20
的直链状或支链状的链烯基，C2‑
C
20
的直链状或支链状的炔基，C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷氧基，C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷硫基，C1‑
C
20
的直链状或支链状的卤代烷基，C1‑
C
20
的直链状或支链状的羟基取代烷基，C2‑
C
20
的直链状或支链状的羟基烷氧基取代烷基，被C6‑
C
10
的芳基或芳氧基取代的C1‑
C
20
烷基，被1个以上的
‑
O
‑
、
‑
S
‑
、
‑
O
‑
CO
‑
或
‑
CO
‑
O
‑
中断的C2‑
C
20
的直链状或支链状的烷基或烷氧基，取代或未取代的C6‑
C
10
芳基，C6‑
C
20
的芳基硫基，含有N、O和/或S的C2‑
C
20
的杂环基团；或者R2，R2’
彼此相连以形成环；
[0009]R3选自下列基团：
[0010]R4表示：C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷基或卤代烷基；被1个以上的
‑
O
‑
、
‑
CO
‑
、
‑
S
‑
、
‑
O
‑
CO
‑
或
‑
CO
‑
O
‑
中断的C2‑
C
20
的直链状或支链状的烷基或卤代烷基；C3‑
C
20
的环烷
基；(C6～C
20
)芳基(C1～C
10
)烷基，任选地，C6～C
20
芳基中的至少一个氢可被C1～C6的烷基所取代；C1～C
10
的烷氧基取代的C6～C
20
芳基，任选地，所述(C1～C
10
)烷氧基中的
‑
CH2‑
可被
‑
O
‑
、
‑
CO
‑
所取代；C2‑
C
20
的直链状或支链状的炔基；C2‑
C
20
的直链状或支链状的链烯基或环状烯基；含有N、O和/或S的C2‑
C
20
的脂环族或芳香族杂环基团，任选地，脂环族或芳香族杂环基团上的至少一个氢可被C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷基或氯代烷基、C3‑
C
20
的环烷基、酰基、C2‑
C
20
的直链状或支链状的炔基所取代；C6‑
C
30
芳基，任选地，芳基上的氢原子可被C1‑
C
10
的直链状或支链状的烷基、C1‑
C
10
的直链状或支链状的卤代烷氧基、C6‑
C
12
的芳基所取代；
[0011]R5表示：C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷基；C3‑
C
20
的环烷基，任选地，环烷基中的氢原子可被C1‑
C6烷基所取代；被1个以上的
‑
O
‑
、
‑
CO
‑
中断的C2‑
C
20
的直链状或支链状的烷基；C6‑
C
30
芳基，任选地，芳基上的氢原子可被C1‑
C
10
的直链或支链烷基、卤素、C1‑
C
10
的直链或支链卤代烷氧基、C6‑
C
12
的芳基所取代；C2‑
C
20
的直链状或支链状的炔基；(C6～C
20
)芳基(C1～C
10
)烷基，任选地，C6～C
20
的芳基中的至少一个氢可被C1～C6的烷基或C1～C
10
的烷氧基所取代，(C1～C
10
)烷基中的
‑
CH2‑
可被
‑
O
‑
、
‑
CO
‑
所取代；C2‑
C
20
的直链状或支链状的链烯基；含有N、O和/或S的C2‑
C
20
的脂环族或芳香族杂环基团，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种肟磺酸酯类光产酸剂，具有如下通式(I)所示结构：其中，R1表示C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷基、C3‑
C
20
的环烷基、C1‑
C
20
的直链状或支链状的氟代烷基、C3‑
C
20
的氟代环烷基、C6‑
C
18
的取代或未取代的芳基、樟脑基、樟脑醌基或叠氮萘酮基团；R2与R2’
可相同，也可不同，各自独立地选自下列基团：氢，卤素，C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷基，C3‑
C
20
的环烷基，C2‑
C
20
的直链状或支链状的链烯基，C2‑
C
20
的直链状或支链状的炔基，C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷氧基，C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷硫基，C1‑
C
20
的直链状或支链状的卤代烷基，C1‑
C
20
的直链状或支链状的羟基取代烷基，C2‑
C
20
的直链状或支链状的羟基烷氧基取代烷基，被C6‑
C
10
的芳基或芳氧基取代的C1‑
C
20
烷基，被1个以上的
‑
O
‑
、
‑
S
‑
、
‑
O
‑
CO
‑
或
‑
CO
‑
O
‑
中断的C2‑
C
20
的直链状或支链状的烷基或烷氧基，取代或未取代的C6‑
C
10
芳基，C6‑
C
20
的芳基硫基，含有N、O和/或S的C2‑
C
20
的杂环基团；或者R2，R2’
彼此相连以形成环；R3选自下列基团：R4表示：C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷基或卤代烷基；被1个以上的
‑
O
‑
、
‑
CO
‑
、
‑
S
‑
、
‑
O
‑
CO
‑
或
‑
CO
‑
O
‑
中断的C2‑
C
20
的直链状或支链状的烷基或卤代烷基；C3‑
C
20
的环烷基；(C6～C
20
)芳基(C1～C
10
)烷基，任选地，C6～C
20
芳基中的至少一个氢可被C1～C6的烷基所取代；C1～C
10
的烷氧基取代的C6～C
20
芳基，任选地，所述(C1～C
10
)烷氧基中的
‑
CH2‑
可被
‑
O
‑
、
‑
CO
‑
所取代；C2‑
C
20
的直链状或支链状的炔基；C2‑
C
20
的直链状或支链状的链烯基或环状烯基；含有N、O和/或S的C2‑
C
20
的脂环族或芳香族杂环基团，任选地，脂环族或芳香族杂环基团上的至少一个氢可被C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷基或氯代烷基、C3‑
C
20
的环烷基、酰基、C2‑
C
20
的直链状或支链状的炔基所取代；C6‑
C
30
芳基，任选地，芳基上的氢原子可被C1‑
C
10
的直链状或支链状的烷基、C1‑
C
10
的直链状或支链状的卤代烷氧基、C6‑
C
12
的芳基所取代；R5表示：C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷基；C3‑
C
20
的环烷基，任选地，环烷基中的氢原子可被C1‑
C6烷基所取代；被1个以上的
‑
O
‑
、
‑
CO
‑
中断的C2‑
C
20
的直链状或支链状的烷基；C6‑
C
30
芳基，任选地，芳基上的氢原子可被C1‑
C
10
的直链或支链烷基、卤素、C1‑
C
10
的直链或支链卤代烷氧基、C6‑
C
12
的芳基所取代；C2‑
C
20
的直链状或支链状的炔基；(C6～C
20
)芳基(C1～C
10
)烷基，任选地，C6～C
20
的芳基中的至少一个氢可被C1～C6的烷基或C1～C
10
的烷氧基所取代，(C1～C
10
)烷基中的
‑
CH2‑
可被
‑
O
‑
、
‑
CO
‑
所取代；C2‑
C
20
的直链状或支链状的链烯基；含有N、O和/或S的C2‑
C
20
的脂环族或芳香族杂环基团，任选地，脂环族或芳香族杂环基团上的至少一个氢可被C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷基、被1个以上的
‑
O
‑
、
‑
CO
‑
、
‑
S
‑
、
‑
O
‑
CO
‑
或
‑
CO
‑
O
‑
中断的C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷基、C3‑
C
20
的环烷基、C2‑
C
20
的直链状或支链状的链烯基，C2‑
C
20
的直链状或支链状的炔基所取代；
R6、R6’
可相同也可不同，各自独立地选自下列基团：氢；C1‑
C
20
的直链状或支链状的烷基；C7‑
C
30
芳基，任选地，芳基上的氢原子可被C1‑
C
10
的直链或支链烷基、C1‑
C
10
的直链或支链烷氧基、C6‑
C
12
的芳基所取代；或者R6、R6’
彼此相连以形成环。2.根据权利要求1所述的肟磺酸酯类光产酸剂，其特征在于：R1表示C1‑
C
10
的直链状或支链状的烷基、C3‑
C
10
的环烷基、C1‑
C8的直链状或支链状的氟代烷基、C3‑
C
10
的氟代环烷基、氟代苯基、被C1‑
C4的烷基或氟代烷基取代的苯基、樟脑基、樟脑醌基或叠氮萘酮基团。3.根据权利要求1或2所述的肟磺酸酯类光产酸剂，其特征在于：R1表示C1‑
C8的直链状或支链状的烷基、C1‑
C8的直链状或支链状的全氟代烷基、全氟代苯基、被C1‑
C4的烷基或全氟代烷基取代的苯基、樟脑基、樟脑醌基或叠氮萘...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱晓春，龚艳，姜超，徐丽萍，
申请(专利权)人：常州强力电子新材料股份有限公司常州强力光电材料有限公司，
类型：发明
国别省市：