提供了用于在单阶段工艺中同时在太阳能电池晶片的相应面上扩散不同类型的掺杂剂的方法。优选地通过移印将掺杂剂以湿化学形式施加到晶片的相应面。掺杂材料可以被施加到整个晶片表面或其有效区域，或可以被施加成图案以适合所预期的太阳能构造。在典型实施...

一种用于制品和材料的热处理的熔炉系统被公开，所述熔炉系统特别适于处理用于平板电脑的触控屏和用于构造太阳能电池的硅晶圆。所述系统利用工件的微波和辐射加热的混合以提供工件的受控加热。多个接收器置于熔炉腔室中。多个微波源设置成在腔室中提供微波...

本发明提供了一种红外线焙烧炉，其包括外壳集成冷却系统，以在冷却过程中提供作为第一步的高性能的冷却。所述冷却系统包括冷却歧管，该冷却歧管被集成到外壳中并由与邻近的焙烧区相同的材料制成。因为冷却系统由与外壳其余部分相同的材料制成，所述冷却系...

本发明涉及一种红外线炉系统，其可以调整工件在炉的相应区段中花费的时间的量，而同时使所使用的炉的占据面积、即占地空间的量最小化。各个实施方式允许优化每个区段的所需的热持续期，这然后也使得在每个区段内的加热和/或冷却曲线最优化。设有传输传送...

微波能被用作快速热处理半导体硅晶片的辐射源。一方面，由微波调制器材料形成的杂化材料被用来在硅晶片上提供温度均匀性，并且避免由于热应力的发展而导致硅晶片的裂缝或断裂。另一方面，所产生的微波大气压力等离子体被用来直接或间接地加热该硅晶片。

本发明提供了用于激发、调节和维持等离子体（６１５）以实现各种涂覆处理的方法和装置。在一个实施例中，在等离子体催化剂（２４０）存在于底座（２４５）中的情况下，通过使气体受到由电极（２７０）和电源（２７５）提供的大量电磁辐射，在具有壁（２３...

本发明提供了用于一个或多个部件的等离子体辅助连接的方法和装置。连接过程可包括例如在腔中相互接近地放置至少第一和第二连接区域，在等离子体催化剂存在的情况下，通过使气体受到电磁辐射在所述腔内形成等离子体，以及维持所述等离子体至少直到所述第一...

本发明提供了在生产线中用于等离子体辅助处理多个工件的方法及装置。在一个实施例中，该方法可以包括将工件（３２０）放置在可动运载部分上，将输送装置（３１０）上的运载部分移入辐射区域，使气体流入辐射区域，激发辐射区域中的气体以形成等离子体（例...

本发明为各种等离子体加工和处理提供了用于等离子体激发、调节和维持等离子体的方法和装置。在一个实施例中，在惰性或活性等离子体存在的情况下，通过使多模处理腔中的气体受到频率介于大约１ＭＨｚ和大约３３３ＧＨｚ的电磁辐射来激发等离子体。例如，惰...

本发明提供了用于使物体表面至少部分消除结晶而激发、调节和维持等离子体的方法和装置。在一个实施例中，提供了通过形成等离子体（例如使气体受到一定的电磁辐射，可选择在等离子体催化剂存在的情况下）并将物体表面暴露在等离子体中来使物体表面消除结晶...

本发明提供了使用多个辐射源的等离子体辅助方法和装置。在一个实 施例中，在惰性或活性等离子体催化剂存在的情况下，通过使处理腔中的 气体受到频率低于约333GHz的电磁辐射来激发等离子体。使用控制器来 延迟一个辐射源相对于另一个辐射源的激活。

本发明提供了等离子体辅助发动机排气处理的方法和装置。在一个实施例中，发动机排气处理系统包括至少一个管道，该管道包括入口部分（２１５）、出口部分（２１６）、中间部分（２０５）和至少一个等离子体腔（２１０）。该入口部分设置成与发动机气缸（５...

本发明提供了用于等离子体辅助热处理的方法和装置。该方法可以包括在等离子体催化剂（７０）存在的情况下通过使气体受到电磁辐射在腔（１４）中激发热处理等离子体，通过将该物体暴露与等离子体中加热该物体，以及维持将物体暴露于等离子体中足够长的时间...

一种在烘炉（１０）中使用的微波加热源（１６）和对流／辐射加热源（１８）的组合以及用于粘合剂去除和材料如陶瓷材料以及产品、ＬＴＣＣ间隔、固体氧化物燃料电池以及粉末金属的烧结的方法。优选为，所述的微波加热源（１６）是使用可变的或者多频率微波...

本发明公开了一种烹饪食物的方法。食物被放置在微波空腔中并且暴露于微波产生的等离子体。这样，在保持食物的风味、品质、色泽、气味和口味的同时，可以非常快速地烹饪食物。

本发明提供一种以低于５００美元／千瓦电能的成本方便地制备固体氧化物燃料电池（ＳＯＦＣ）的方法。所述方法包括：形成电极层和在所述电极层上沉积电解质材料。所形成的结构是电极－电解质双层。将第二电极设置在该双层上以形成包括设置在两电极之间的电...

本发明提供了等离子体辅助气体产生的方法和装置。在一个实施例中，包括至少一种原子或分子种类的气体流入腔（３０５）。使该气体受到频率小于约３３３ＧＨｚ（可选地在等离子体催化剂存在的情况下）的电磁辐射，在腔（３０５）中形成等离子体（３１０）。...

一种连续推进炉（１０）包括一形成有运行气体隔板的产品承载组件（３６）。该产品承载组件（３６）包括一设置用来在其上放置产品的推进板（３８）和一从该推进板向上的气体隔板（４６）。该气体隔板的周边的尺寸和结构制成为可装配在位于炉内加热室之间的...

一种连续式推进炉（１０）包括一个产品运载部件（３６），该产品运载部件包括一个移动式的隔气板（４６）。该产品运载部件包括一个能够接收产品的板（３８）和一个从该板向上延伸的隔气板。该隔气板周边的尺寸和结构被加工成能够装配到炉各个腔室之间的通...

一种模块式炉子（１０），其由至少一个模块（１２）构成，模块具有框架（１４）、安装在框架上的可拆卸盖子（１８）、位于框架上的外侧盖板（２０）和紧固在模块内部的绝热壳（３２）。输送组件（２６）延伸穿过模块。模块中布置着多个处理段（４０），例...