等离子体辅助热处理制造技术

本发明专利技术提供了用于等离子体辅助热处理的方法和装置。该方法可以包括在等离子体催化剂（７０）存在的情况下通过使气体受到电磁辐射在腔（１４）中激发热处理等离子体，通过将该物体暴露与等离子体中加热该物体，以及维持将物体暴露于等离子体中足够长的时间周期，以改变该物体的至少一种材料特性。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种热处理物体的方法，该方法包括：在等离子体催化剂存在的情况下，通过使气体受到频率小于大约３３３ＧＨｚ的电磁辐射在腔中激发热处理等离子体；通过将所述物体暴露于所述等离子体来加热所述物体；以及维持将所述物体暴露于所述等 离子体中足够长的第一时间周期，以改变所述物体的至少一种材料特性。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：S库马尔，D库马尔，ML大多尔蒂，
申请(专利权)人：BTU国际公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]