等离子体辅助处理多个工件的方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了在生产线中用于等离子体辅助处理多个工件的方法及装置。在一个实施例中，该方法可以包括将工件（３２０）放置在可动运载部分上，将输送装置（３１０）上的运载部分移入辐射区域，使气体流入辐射区域，激发辐射区域中的气体以形成等离子体（例如，通过在等离子体催化剂存在的情况下使气体受到电磁辐射的方式），维持等离子体一段足够长的时间以至少部分地等离子体处理辐射区域中的至少一个工件（３２０），并且推进输送装置（３１０）将至少一个等离子体处理过的工件移出辐射区域。本发明专利技术还提供了各种类型的等离子体催化剂。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种等离子体辅助处理多个工件的方法，该方法包括：将所述多个工件中的每一个放置在多个可动运载部分上；将位于输送装置上的每个所述可动运载部分顺序移入辐射区域；使气体流入所述辐射区域；激发所述辐射区域中的所述气体以 形成等离子体；维持所述等离子体一段足够长的时间以至少部分地等离子体处理所述辐射区域中的至少一个所述工件；以及推进所述输送装置以将至少一个等离子体处理过的工件移出所述辐射区域。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：ML大多尔蒂，D库马尔，S库马尔，
申请(专利权)人：BTU国际公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]