高温超导射频量子干涉仪探头，包括磁通聚焦器，共面谐振器，ＳＱＵＩＤ器件，微波耦合环，所述磁通聚焦器、共面谐振器均为超导薄膜，所述ＳＱＵＩＤ器件位于所述磁通聚焦器上方，其特征在于：　　　　所述共面谐振器是由三条不闭合的环线构成的空心共面谐...

高温超导射频量子干涉仪系统，包括探头和射频工作电路，其特征在于：所述探头包括超导薄膜磁通聚焦器，超导薄膜共面谐振器，超导量子干涉仪器件，微波耦合环；所述超导量子干涉仪器件位于所述磁通聚焦器上方；所述共面谐振器是由三条不闭合的环线构成的空...

本实用新型是硅／硅键合质量测试仪。硅／硅直接键合技术广泛地应用于ＳＯＩ（在绝缘层上的硅）材料的制造、不同材料之间的连接及体硅微机械传感器与执行器的制造。硅片键合界面空洞的检测是关键技术之一。本实用新型采用普通ＣＣＤ摄像仪，普通光源，配以...

本发明涉及一种用外加信号来抵消电磁信号测量中的外界周期性干扰的方法。通过将信号发生器或程序产生的信号与测量信号叠加来抵消测量仪器输出中的外界周期性干扰信号。既能消除这些外界周期干扰，又不损失信号的部分有用频谱，也不使信号产生失真。可应用...

高温超导射频量子干涉仪探头，包括磁通聚焦器，共面谐振器，ＳＱＵＩＤ器件，微波耦合环，所述磁通聚焦器、共面谐振器均为超导薄膜，所述ＳＱＵＩＤ器件位于所述磁通聚焦器上方，其特征在于： 所述共面谐振器是由三条不闭合的环线构成的空心共面谐...

本发明涉及一种磁共振成像体腔射频线圈，它包括：一操作杆；一滑筒，其可滑动地套设在操作杆上；一第一、第二弹杆，其分别对称地设置在操作杆的两侧，且其一端固定在操作杆的前端部，另一端固定在滑筒上，当滑筒相对操作杆头部移动时，第一、第二弹杆向两...

本实用新型公开了一种微型射流角速率传感器，包括有底座、盖体、两热敏电阻、谐振驱动器和检测热敏电阻用的检测电路，底座和薄膜盖之间形成空腔，空腔被分为振动腔、检测腔、两个对称的微型射流泵、集流腔和尾气腔，振动腔的气体出口即为微型射流泵的气体...

本发明是一种横向检测式陀螺，它是利用科立奥利力检测角速度的一种仪器。本发明立足于半导体的版图设计，在横向检测式微硅陀螺质量块上的四角处配置对称的八根梁，使得驱动与检测两方向的固有频率完全一致，以使得该陀螺的性能最佳。它是随着硅微机械加工...

本发明涉及一种ＭＥＭＳ压阻式伺服加速度传感器。包括三片硅片，三片硅片组成上硅帽、中间硅片和下硅帽的三明治结构，上下两层硅帽上均设反馈电极，中间硅片上设梁式结构，梁上设压敏电阻，组成惠斯登电桥来检测加速度信号，信号调制电路将电桥产生的输出...

一种高灵敏度谐振加速度计芯片，包括基片、质量块、音叉、力学放大系统、驱动电极及敏感电极，其特征在于：所述的质量块为回形，在其中心为两个平行音叉，每一音叉的中部两侧设有相互并列的梳状驱动电极和敏感电极，每一音叉的一端通过一个边锚点与基片连...

本发明提供了一种射流角速度传感器及其制备工艺，属于微电子机械系统设计及加工领域。该传感器包括两个振动腔、四个整流腔和一个检测腔，振动腔内气体被驱动可循环，在每个振动腔两侧分别设有两个整流腔，被驱动的气体经整流腔流入检测腔，循环气体在检测...

本发明涉及一种梳齿电容式Ｚ轴加速度计及其制备方法，所述梳齿电容式Ｚ轴加速度计包括玻璃衬底，可动电极，固定电极，支撑梁和锚点，所述两固定电极的一端分别连接在所述玻璃衬底上，所述可动电极不等高梳齿插设在两侧的所述固定电极之间，形成两组敏感电...

高精度隧道式加速度计，包括玻璃衬底，玻璃衬底上有驱动电极和隧尖对应电极，玻璃衬底通过锚点与分布于质量块四周的支撑梁固定连接，质量块与支撑梁固定连接，隧尖位于质量块正中央下方，其特征在于，隧尖为圆锥型；支撑梁的厚度小于质量块厚度。

本发明提供一种基于ＭＥＭＳ的高精度三维微组装方法及其组装件，该方法包括：在衬底上设置一与待装配芯片相匹配的微夹具，并分别在衬底和待装配芯片相应位置上设置对准件和对准配件以及焊料凸点；在微夹具内注入液体，将待装配芯片倒扣在微夹具中，利用对...

本发明涉及一种水平轴微机械陀螺及其制备方法，其特征在于：它包括外框，内框，驱动电极，驱动反馈电极，驱动模态弹性梁，检测电极，检测模态弹性梁和锚点，所述驱动电极和驱动反馈电极均采用两组横向梳齿电容，所述外框通过驱动模态的弹性梁与所述固定在...

本发明涉及一种电容式全解耦水平轴微机械陀螺，其特征在于：它包括玻璃衬底，驱动电容、驱动反馈电容、检测电容、驱动质量块、不对称质量块和检测质量块；驱动质量块位于中央，驱动质量块的两端分别通过横向设置的驱动模态弹性梁连接固定在玻璃衬底上的锚...

本发明提供了一种压电加速度计，其敏感元件是轴对称的，包括四个弹性臂、一个质量块和一基座，弹性臂呈折环形或弧形，四个弹性臂两两相对构成一个正交环形对称结构将质量块与基座连接起来，所述弹性臂本身由压电材料制成或者在其上对称地粘贴有压电片。该...

本发明涉及一种三维锥束ＣＴ图像重建的处理系统，包括相互连接的锥束Ｘ射线扫描装置和图像重建装置，锥束Ｘ射线扫描装置包括平台和相对设置于平台两侧的Ｘ射线源和面探测器，Ｘ射线源由互相连接的Ｘ射线发生器和准直器组成；图像重建装置包括数据采集器，...

本发明涉及如ＳＥＱ　　ＩＤ　　ＮＯ：２所示氨基酸序列的多肽或如ＳＥＱ　　ＩＤ　　ＮＯ：２的９－２７位氨基酸所示的多肽（统称ＣＫＬＦ１　　Ｃ末端多肽），以及编码ＣＫＬＦ１　　Ｃ末端多肽的多核苷酸，含有所述多核苷酸的基因工程载体和宿主细胞。...

本发明提供一种高灵敏度薄膜应力测试方法，该方法将测试范围集中在衬底的局部，减小该局部基底的厚度，并设计固定的支撑结构；通过测量薄膜淀积前后局部基底的弯曲曲率，得到淀积在基底上的薄膜应力。本发明利用局部基底弯曲来检测薄膜的残余应力，其结构...