正交环型压电加速度计制造技术

本发明专利技术提供了一种压电加速度计，其敏感元件是轴对称的，包括四个弹性臂、一个质量块和一基座，弹性臂呈折环形或弧形，四个弹性臂两两相对构成一个正交环形对称结构将质量块与基座连接起来，所述弹性臂本身由压电材料制成或者在其上对称地粘贴有压电片。该加速度计可以进行三轴测量，并且由于结构的对称性，测量轴向加速度时，横向加速度的响应被减掉；测量横向加速度时，轴向加速度响应被减掉，因此通道间的干扰被抑制到最小。本发明专利技术的三向加速度计具有灵敏度高、横向干扰小、制作工艺较简单的特点，可广泛应用于工业生产、科学研究和国防领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于传感器和换能器
，具体涉及到一种压电加速度计。
技术介绍
传感器技术是现代科技的前沿技术，是现代信息技术的三大支柱之一，其水平的高低是衡量一个国家科技发展水平的重要标志之一，加速度计作为一种传感器被广泛地应用于航空航天、汽车工业、自动化控制、机器人、生物医学以及军事领域。加速度计按传感的敏感材料来分可以分为压电式、电容式、动圈式、压阻式、隧道式、扭摆式、力平衡式、谐振式、光纤、温度效应等加速度计；按感应的方向可以分为单轴加速度计和多轴加速度计。尽管加速度计的种类很多，但是压电加速度计目前依然占主要地位。压电加速计的基本原理是牛顿力学，主要是利用了压电材料的压电效应，它的特点是：高Q值、低阻尼、高的输出阻抗、温度范围广。所谓压电效应是指某些晶体在受到外力作用而发生形变时，在它的某些表面上会出现电荷。压电加速度计的敏感单元是在基座上通过弹性元件连接质量块，弹性元件由压电材料构成或在其上附有压电材料，当外界的加速度作用在基座上时，质量块会受到惯性力的作用，并产生相应的振动，弹性元件在质量块的作用下会发生形变，同时也会使压电材料发生形变，压电材料因为压电效应而产生电压。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电加速度计，包括敏感单元、电极引线、前置放大电路、外壳底座、外壳和输出电缆，其特征在于：所述敏感单元是轴对称的，其又包括四个弹性臂、一个质量块和一基座，弹性臂呈折环形或弧形，四个弹性臂两两相对构成一个正交环形对称结构将质量块与基座连接起来，所述弹性臂本身由压电材料制成或者在其上对称地粘贴有压电片。

【技术特征摘要】
1.一种压电加速度计，包括敏感单元、电极引线、前置放大电路、外壳底座、外壳和输出电缆，其特征在于：所述敏感单元是轴对称的，其又包括四个弹性臂、一个质量块和一基座，弹性臂呈折环形或弧形，四个弹性臂两两相对构成一个正交环形对称结构将质量块与基座连接起来，所述弹性臂本身由压电材料制成或者在其上对称地粘贴有压电片。2.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于：所述弹性臂为半圆环形。3.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于：所述弹性臂构成的正交环形对称结构位于基座之上，而质量块位于正交环形对称结构另一端的外侧或内侧。4.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于：所述弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：李朝晖，喻飞雄，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]