【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微电子机械系统设计及加工领域，具体涉及到一种射流角速度传感器及其制备工艺。
技术介绍
射流角速度传感器通常是利用科里奥利力改变气流速度分布的原理来检测角速度的，在传感器的检测腔内对称地放置两根热敏电阻丝，热敏电阻丝接入一个惠斯登电桥，在压电驱动或静电驱动下，腔体内部的气体能够循环起来，而且检测腔内的气体始终是朝一个方向流动的。当无角速度输入时，检测腔内的气体速度呈对称的抛物线分布；当有角速度输入时，科里奥利力会使检测腔内的气体速度分布偏离于抛物线分布，偏离的方向和程度取决于输入角速度的矢量特性。这种新的不对称分布造成了一对热敏电阻丝不同程度的冷却，电阻阻值因此会发生不同程度的变化，从而引起电桥输出电压的变化。目前国内和国外的射流角速度传感器均是用传统的机械加工方法制成的，如北京信息工程学院研制的射流角速度传感器，参考文献“压电射流角速率传感器”任宏超，张福学，《传感器技术》，1998年第17卷第1期。该射流角速度传感器内的循环气流是压电泵激励产生的气体层流束，体积较大，在很大程度上限制了其应用。微型化的射流角速度传感器的研究尚未见报道。专利技术内...
【技术保护点】
一种射流角速度传感器，包括：振动腔和检测腔，振动腔内气体被驱动可循环，循环气体流到检测腔内始终沿一个方向流动，所述检测腔内对称地放置两根热敏电阻丝，并将这两根热敏电阻丝接入一个惠斯登电桥，其特征在于：振动腔为两个，在每个振动腔两侧分别设有两个整流腔，被驱动的气体经整流腔流入检测腔，每个整流腔为一个狼牙棒流体二极管，所述流体二极管是由若干有规律排列的狼牙棒形挡板组成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨楷，周健，闫桂珍，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。