温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种射流角速度传感器及其制备工艺，属于微电子机械系统设计及加工领域。该传感器包括两个振动腔、四个整流腔和一个检测腔，振动腔内气体被驱动可循环，在每个振动腔两侧分别设有两个整流腔，被驱动的气体经整流腔流入检测腔，循环气体在检测腔内...
该专利属于北京大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。