【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
并且，本专利技术涉及具有压电体膜的喷墨头和使用该头形成图像的方法具有该压电体膜的角速度传感器和使用该传感器测定角速度的方法以及具有该压电体膜的压电发电元件和使用该元件的发电方法。
技术介绍
锆钛酸铅(PZT =Pb(ZrxTih)OyO <x< I)是能够蓄积大的电荷的代表性的强介电材料。PZT被使用于电容器和薄膜存储器。PZT具有基于强介电性的焦电性和压电性。PZT具有高压电性能。通过组成的调整或者元素的添加，能够容易地控制PZT的机械品质系数 Qm。这能够将PZT应用于传感器、致动器、超声波电机、滤波电路和起振器。但是，PZT含有大量的铅。近年来，由于来自废弃物的铅的溶出，可能对生态系统和环境造成严重的损害。因此，在国际上也开始限制铅的使用。所以要求与PZT不同的不含铅的强介电材料(非铅强介电材料)。现在正在开发的非铅(Iead-free)强介电材料的一个例子是由铋(Bi)、钠(Na)、钡(Ba)和钛(Ti)构成的钙钛矿型复合氧化物[(Bia5Naa5) PyBay=TiCV图12表示专利文献I的图I。图12所示的压电元件具备基板11、电极层12...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.06.30 JP 2010-1487281.一种使用角速度传感器测定角速度的方法，其特征在于，包括 准备包括具有振动部的基板和与所述振动部接合的压电体膜的所述角速度传感器的工序(a)， 其中，所述压电体膜具备第一电极、压电体层和第二电极， 所述压电体层被夹在所述第一电极与所述第二电极之间， 所述第一电极具备具有(OOl)取向的电极层， 所述压电体层具备具有(001)取向的(NaxBiy) TiO0.5x+L5y+2 — BaTiO3层，其中O.30 彡 X 彡 O. 46,0. 51 ^ y ^ O. 62， 所述第一电极和第二电极的任一个构成包含驱动电极和传感电极的电极组； 通过将驱动电压经由从所述第一电极和第二电极的另一个电极以及所述驱动电极施加到所述压电体层，使所述振动部振动的工序(b );和 经由所述另一个电极和所述传感电极，对因施加在振动中的所述振动部的角速度而在所述振动部产生的变形进行测定，由此获得所述施加的角速度的值的工序(C)， 因所述变形而产生的应变量B和所述第一与第二电极之间的电场A满足以下的等式 B = cA (c是常数)。2.如权利要求I所述的压电体膜，其特征在于 所述基板的材料是Si、玻璃或陶瓷。3.如权利要求2所述的压电体膜，其特征在于 所述基板的材料是Si。4.一种角速度传感器，其包括具有振动部的基板和与所述振动部接合的压电体膜，所述角速度传感器的特征在于 所述压电体膜具备第一电极、压电体层和第二电极， 所述压电体层夹在所述第一电极与所述第二电极之间， 所述第一电极具备具有(001)取向的电极层， 所述压电体层具备具有(001)取向的(NaxBiy) TiO0.5x+L5y+2 — BaTiO3层，其中O.30 彡 X 彡 O. 46,0. 51 ^ y ^ O. 62。5.一种使用喷墨头形成图像的方法，其特征在于，包括 准备所述喷墨头的工序(a)， 其中，所述喷墨头具有 压电体膜，其具有被第一电极和第二电极夹着的压电体层； 与所述压电体膜接合的振动层；和 压力室部件，其具有收纳墨水的压力室，并且与所述振动层的与所述压电体膜所接合的面相反一侧的面接合， 所述振动层与所述压电体膜接合，使得所述振动层响应基于压电效应的所述压电体膜的变形而在该振动层的膜厚方向上位移， 所述振动层和所述压力室部件相互接合，使得所述压力室的容积响应所述振动层的位移而变化，并且所述压力室内的墨水响应所述压力室的容积的变化而被排出， 所述第一电极具备具有(001)取向的电极层， 所述压电体层具备由具有(001)取向的(NaxBiy) TiO0.5x+L5y+2 —...
【专利技术属性】
技术研发人员：张替贵圣，田中良明，足立秀明，藤井映志，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：
国别省市：
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