具有改良老化性能的角速度传感器制造技术

描述了一种具有改良老化和磁滞性能的角速度传感器。该传感器可以是通过驱动电路驱动的环型电路，所述传感器还包括具有相应信号敏感元件的初级和次级部分。初级敏感元件信号的增益和所述传感器的所述初级部分的电容相对于所述次级敏感元件的增益和所述传感器的所述次级部分的电容而被控制。控制电子元件被提供以使来自各个通道的相关信号匹配。通过这种方式，克服了用于形成所述传感器的材料的温度磁滞和老化的影响。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及传感器。更特别的但不仅仅涉及诸如惯性传感器的传感器，例如，科里奥利(coriolis)陀螺仪，其中线速度分量被首先建立并且依赖科里奥利力的速度是该速度的函数。
技术介绍
许多惯性传感器的类型是已知的。例如，包含MEMS型环的角速度传感器是已知的并且这样的实例可以在GB2322196中看到。在这样的角速度传感器中，振动平面环或类环状结构被公开。该类环状结构通过合适的支持座悬浮在空间中以用于检测转角度速度、线性加速度和角加速度。旋转速度通过检测科里奥利力耦合的振动被感知，然而线性加速度和角加速度通过的整个环或类环状结构在其底座中的横向的、纵向的和摇摆的运动而被感知。 这些传感器被要求源自激励(stimuli)的准确的测量信号，所述激励也被传感器控制。在科里奥利陀螺仪的情况下，线速度被转换器(transducer)设置和控制并且速率响应也被‘类似的’转换器测量。通常MEMS环型结构由晶体硅形成并且包含由锆钛酸铅(PZT)材料形成的转换器。当在低成本MEMS传感器应用中被用做转换器技术时，在信号电平方面(以及因此的信噪比水平)PZT材料有显著的效益。然而PZT与其他的转换器技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·德斯顿，K·汤森德，C·P·费尔，
申请(专利权)人：硅石传感系统有限公司，
类型：
国别省市：