传感器制造技术

描述一种惯性传感器，其中通过控制电子装置驱动共振元件共振。该控制电子装置包括振荡器。提供一种电路以使振荡器的频率匹配于共振元件的输出的频率，以便将传感器的启动操作的时间缩短到最小并去除了给定传感器与控制电子装置的频率匹配的需求。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及传感器。更具体地，但不唯一地涉及诸如惯性传感器的传感器，例如加速度计和陀螺仪，其中微电子机械系统(MEMS)传感器的共振频率必须与所关联的控制电子装置相匹配。
技术介绍
已知多种类型的惯性传感器。包含环形共振器(resonator ring)类型的MEMS传感器的角速度传感器是已知的且这种示例可以在例如GB2322196中看到。在这种角速度传感器中公开了振动平面环(vibrate planar ring)或类环结构。类环结构通过合适的支撑座悬在空间中以用于检测旋转速度、线性加速度和角加速度。通过检测由科里奥利(Coriolis)力所力耦的振动感测旋转速度，而线性加速度和角加速度通过在其底座中的整个环或类环结构横向的、纵向的及摇摆的运动而被感测。为了实现该目的，通过由控制电子装置产生的合适的驱动信号驱动MEMS共振器共振。但是，对于控制电子装置的频率必须以合适的公差(tolerance)匹配于MEMS共振器的共振频率。由于MEMS共振器的‘Q’因数，远离共振频率时信号可用性非常小。MEMS传感器和控制电子装置(ASIC) 二者的过程公差(process toleranc本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.04.08 GB 1005875.81.一种惯性传感器，该惯性传感器包含具有共振频率的元件，该元件由合适的驱动装置驱动以共振，所述传感器还包含电子控制装置，该电子控制装置包括能够以可变频率振荡的振荡器，其中所述传感器还包含比较器装置，该比较器装置用于将所述元件的输出的频率与所述振荡器的频率比较，以及在达到预定频率时锁定所述振荡器的所述频率。2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其中所述预定频率基本上与所述元件的所述共振频率相同。3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·德斯顿，D·贝斯里，K·汤森德，
申请(专利权)人：硅石传感系统有限公司，
类型：
国别省市：