圆环波动微机械陀螺及其制备方法技术

技术编号:8451564 阅读:163 留言:0更新日期:2013-03-21 07:28
本发明专利技术公开一种圆环波动微机械陀螺及其制备方法,包括:基底;金属圆环谐振子;位于所述金属圆环谐振子内的基底上的压电薄膜;两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的检测电极;两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的平衡电极;以及四个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的监测电极;八个电极与金属圆环谐振子形成八个以空气作为介电质的电容。本发明专利技术利用圆环的四波腹振动模态进行工作,对压电薄膜层驱动电极施加交流电压,由逆压电效应产生振动,带动圆环谐振子在驱动模态振动。当存在输入角速度时,圆环谐振子的振型向检测模态转变,利用检测电极与谐振子之间的间隙发生变化,经外围电路检测电容变化,处理得到输入角速度信号。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种圆环波动微机械陀螺,其特征在于包括:一基底;一位于所述基底上的金属圆环谐振子;一层位于所述金属圆环谐振子内的基底上的压电薄膜,该压电薄膜含有驱动电极;两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的检测电极;两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的平衡电极;以及四个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的监测电极;其中:两个所述检测电极、两个所述平衡电极间隔设置在四个所述监测电极之间,这八个电极与所述金属圆环谐振子形成了八个以空气作为介电质的电容,使用这八个电容来监测、检测和平衡该陀螺的工作状态。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张卫平许仲兴成宇翔关冉张弓唐健陈文元
申请(专利权)人:上海交通大学
类型:发明
国别省市:

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