【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种圆环波动微机械陀螺,其特征在于包括:一基底;一位于所述基底上的金属圆环谐振子;一层位于所述金属圆环谐振子内的基底上的压电薄膜,该压电薄膜含有驱动电极;两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的检测电极;两个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的平衡电极;以及四个均布于所述金属圆环谐振子圆环周围的监测电极;其中:两个所述检测电极、两个所述平衡电极间隔设置在四个所述监测电极之间,这八个电极与所述金属圆环谐振子形成了八个以空气作为介电质的电容,使用这八个电容来监测、检测和平衡该陀螺的工作状态。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张卫平,许仲兴,成宇翔,关冉,张弓,唐健,陈文元,
申请(专利权)人:上海交通大学,
类型:发明
国别省市:
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