圆锥环形波动微机械陀螺及其制备方法技术

本发明专利技术公开一种圆锥环形波动微机械陀螺及其制备方法，包括：基底；金属圆锥环谐振子；设在金属圆锥环谐振子的内壁上的压电薄膜，该压电薄膜含有驱动电极；两个均布于金属圆锥环谐振子圆锥环周围的检测电极；两个均布于金属圆锥环谐振子圆锥环周围的平衡电极；四个均布于金属圆锥环谐振子圆锥环周围的监测电极；金属圆锥环谐振子与八个电极形成八个以空气作为介电质的电容。本发明专利技术利用圆锥环的四波腹振动模态进行工作，对驱动电极施加交流电压，由逆压电效应产生振动，带动圆锥环谐振子在驱动模态振动。当存在输入角速度时，圆锥环谐振子的振型向检测模态转变，利用检测电极与金属圆锥环谐振子形成的电容间隙的变化，处理得到输入角速度信号。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种圆锥环形波动微机械陀螺，其特征在于包括：一个基底；一个设置在所述基底上的金属圆锥环谐振子；一层设在所述金属圆锥环谐振子的内壁上的压电薄膜，该压电薄膜含有驱动电极；两个均布于所述金属圆锥环谐振子圆锥环周围的检测电极；两个均布于所述金属圆锥环谐振子圆锥环周围的平衡电极；以及四个均布于所述金属圆锥环谐振子圆锥环周围的监测电极；其中：两个所述检测电极、两个所述平衡电极间隔设置在四个所述监测电极之间，这八个电极与所述金属圆锥环谐振子形成了八个电容，八个电极与所述金属圆锥环谐振子分别作为电容极板，空气充当介电质。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张卫平，许仲兴，成宇翔，关冉，张弓，唐健，陈文元，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：