依照了本发明的实施例提供了一种测量仪器，该仪器包括图像获取系统１１０、光学导引引擎１２０、运算引擎１３０和显示器１４０。光学导引引擎１２０可通信地耦合到图像获取系统１１０。运算引擎１３０可通信地耦合到光学导引引擎１２０。显示器１４０可通...

本发明公开了一种用于测量沿第一方向的位移的干涉仪系统，包括：（１）安装到台的测量脊镜（例如波罗棱镜），所述台可以沿所述第一方向平移；（２）偏振束分光器，其具有（ａ）与所述测量脊镜相对的第一表面和（ｂ）与所述第一表面相反的第二表面；（３）...

本发明提供了一种使引入位移测量的非线性误差最小的干涉仪。在一种实施例中，通过在参考光束和测量光束各自通往检测器的大部分光路上将它们隔离开来，并通过对输入干涉仪的每个光束使用单独的分振幅非偏振分束器，减小了非线性误差。此外，干涉仪可调整到...

本发明提供了至少两个分立的四分之一波片用作位移测量干涉仪中的平面反射镜或反射器，其中所述波片具有共同的或基本共同的反射表面几何形状。多个几何上匹配的分立匹配四分之一波片减小了提供给干涉仪的输入光束与由干涉仪提供的输出测量光束之间的倾斜量...

本发明公开了一种用于对从测量信号中生成的干涉仪位置数据进行非线性补偿的方法，包括基于接收到的数字位置值来生成第一组非线性参数。该方法包括感知是否存在低速状况。如果存在低速状况，则基于估计出的测量信号的幅度来更新非线性参数中的第一个。如果...

本发明公开了一种ｘ光检查系统。该ｘ光检查系统包括ｘ光源、轴上ｘ光传感器、至少一个离轴ｘ光传感器、支架和累积电路。所述轴上ｘ光传感器被配置用于捕获来自ｘ光源的辐射的轴上图像。ｘ光源与轴上ｘ光传感器相分离，并且ｘ光源和轴上ｘ光传感器被放置在...

本发明公开了一种光学干涉仪，包括单件式光学元件，所述单件式光学元件具有偏振分束器和至少一个基本平行所述偏振分束器的反射表面。本发明的光学干涉仪，不再受到介质折射率会随温度、压力、湿度和介质的含量而变化从而使ＯＰＬ发生变化的影响，因此，能...

本发明提供了干涉仪和相应的系统，具有几个方面。在第一个方面，提供了一种适于将分离的第一光束和第二光束接收于其中的干涉仪，该干涉仪包括对于第一光束和第二光束基本等效的分离的第一光路和第二光路。在第二个方面，提供了一种适于将第一光束和第二光...

本发明公开了一种干涉仪，所述干涉仪采用第一测量通道和第二测量通道，对于沿垂直和水平方向的测量可以获得大的动态范围，其中第一测量通道对于一路径进行的包括分别与光学器件－物体间隔平行和垂直的分量的测量具有大的动态范围，第二测量通道只对垂直分...

本发明公开了用于测量位移的一种装置和方法，包括将光束导向干涉仪核心，所述干涉仪核心将光束分为第一成分光束和第二成分光束。第一成分光束大致以Ｌｉｔｔｒｏｗ角导向衍射光栅。衍射光由干涉仪核心接收并与第二成分光束合并。对合并的第一成分光束和第...

一种冷却风扇（１００、３００、７００、９００），其具有一种可以防止物体撞击到冷却风扇（１００、３００、７００、９００）的叶片（１１２、３１２、７１２、９１２）的结构。冷却风扇（１００、３００、７００、９００）包括与冷却风扇（１００、３０...

本发明涉及用于真空系统的差动泵浦的真空分隔器。真空分隔器布置在涡轮分子泵的转子叶片与由多个真空腔形成的真空歧管之间。第一连接孔穿过所述真空分隔器并允许气体从所述多个真空腔的第一真空腔到达所述涡轮分子泵。第二连接孔穿过所述真空分隔器并允许...

本发明公开了一种用于调整润滑物保持盘的方向的装置及方法。该装置包括被构造用于保持真空泵及润滑物保持盘的操作箱。可旋转组件配合润滑物保持盘并抬起盘的后端以允许润滑物由盘的前端排出。

一种用于操作家电的方法包括：（１）接通家电；（２）利用光学运动传感器确定家电是否正在以足够的速度移动；以及（３）如果家电没有以足够的速度移动，则切断家电。一种家电包括用于检测该家电的运动的光学运动传感器和耦合到光学运动传感器的控制器，其...

以非常快的沉积率使非晶态硅薄膜层沉积在基质上，同时又使该薄膜保持质优的方法。确定了在工艺操作室内的等离子体容积。也确定了引入该室的混合气体的总流率。总流率是混合气体中各个气体的流率之和。其次，确定了包括等离子体容积和总流率的工艺参数。然...

本发明公开了一种阵列单元，其包括承载着多个化学阵列的基片表面，每个阵列包括多个特征，并且每个阵列都被表面能突变区所包围，以维持被施加到阵列上的分离的液体样品之间的分离，其中基片表面在承载阵列的连续区域上是物理上不间断的。本发明还提供了阵...

一种产品（１００）包括衬底（１０１）和在衬底（１０１）的表面（１０３）中和／或上形成的多个测试结构（１０２），其中测试结构（１０２）按照能够表示产品（１００）几何特性的互相之间预定的空间关系进行定位。

本发明公开了利用颜色传感器的墨水和介质感测。打印设备包括控制器、光发射器和颜色传感器。控制器控制打印功能。光发射器将光发射到被馈送进打印设备的介质上。颜色传感器检测从介质反射的来自光发射器的光。颜色传感器生成被控制器利用的反馈信号。

本发明公开了一种多功能喷墨打印系统，包括：介质传输组件，用于将打印介质路由通过所述多功能喷墨打印系统；托架组件，用于保持打印头组件并且横穿所述打印介质；扫描组件，连接到所述托架组件，并且用于保持扫描头并横穿扫描介质；以及单个的电机，可操...

本发明公开了用于将阵列基底和流体相接触的装置以及用于清洗阵列基底的新方法。在一种实施方式中，所述装置包括界定出清洗腔的室体、与清洗腔流体连通的流体入口、与清洗腔流体连通的排空口、适于引导气流到阵列基底表面上方的气体入口以及与清洗腔可操作...