【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
基于MEMS芯片的露点检测装置,包括散热片,固定在散热片上的制冷机,贴合在制冷机上表面的镜面,其特征在于:所述基于MEMS芯片的露点检测装置还包括:透明板阵列以及支撑板,所述支撑板通过微机械加工工艺制备在镜面上,所述透明板阵列通过微机械加工工艺制备在支撑板上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘清惓,谢钟镭,邓俊,张加宏,
申请(专利权)人:南京信息工程大学,
类型:发明
国别省市:
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