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本发明公开了基于MEMS芯片的露点检测装置，属于大气检测的技术领域。露点检测装置包括：散热片，固定在散热片上的制冷机，贴合在制冷机上表面的镜面，通过微机械工艺加工在镜面上方透明板阵列，透明板阵列与镜面之间的支撑物，所述透明板阵列、支撑物均为...
该专利属于南京信息工程大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京信息工程大学授权不得商用。

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